真空电容器的制作方法

本发明涉及电容器，特别涉及一种真空电容器。

背景技术：

1、真空电容器是一种以陶瓷为绝缘外壳，以真空为介质，采用高导无氧铜材料为电极的电容器。与其他电容器相比，它具有耐压高、承载电流大、高频损耗低、瞬时过载后可自愈等优点，特别适合高频高压应用领域。真空电容器目前已广泛应用于广播发射、医疗核磁共振、高频加热、半导体刻蚀、等离子清洗等设备中，真空电容器在这些高频设备中与高频电感组成谐振电路，完成高频阻抗匹配，实现射频功率的稳定传输。

2、真空电容器包括两组被密封在真空中的电极，电极作为真空电容器的关键零件，其对真空电容器的性能、成本及生产效率有着至关重要的影响。当前真空电容器的电极主要有圆筒形和螺旋形两种形式。

3、对于圆筒形电极，通常采用无氧铜带料借助冲压机并利用模具冲压制成。由于每个圆筒形电极都是由多个不同直径的电极环组成，因此需要大量的引伸模具(包括凹模和凸模)，并且需要经过多次引伸、变薄和退火工序。如此复杂的加工工艺，不仅使得电极的制造成本居高不下，同时也导致生产效率极为低下。

4、螺旋形电极则是通过将金属带料固定在定位零件上绕制而成。然而，此类电极对专用绕制设备以及定位零件的精度要求达到了极高的程度。为了满足这种高精度要求，定位零件的采购成本以及设备采购成本都相应大幅提高。高精度的绕制设备和定位零件不仅价格昂贵，而且一旦设备或定位零件出现磨损或精度下降，就可能影响电极的绕制质量，进而影响真空电容器的整体性能。

5、综上所述，传统采用圆筒形电极和螺旋形电极的真空电容器在制造过程中存在工艺复杂、成本高、效率低等诸多问题，难以满足当前市场对真空电容器在成本、生产周期等方面不断提高的要求。因此，迫切需要一种新的真空电容器结构来克服这些缺陷，以提升产品在市场上的竞争力。

技术实现思路

1、本发明所要解决的问题是提供一种真空电容器，以克服传统采用圆筒形电极和螺旋形电极的真空电容器在制造过程中存在工艺复杂、成本高、效率低的缺陷。

2、本发明为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种真空电容器，包括：两个电极盘、直接或者间接地连接于两个所述电极盘并且在其内部配置有真空腔室的绝缘外壳，以及分别固定于两个所述电极盘彼此相对的内端面且容置于所述真空腔室中的两个电极组，两个所述电极组均包括多个片状的间隔排列分布的电极片，同时两个所述电极组的电极片相互平行地延伸至彼此之中且互不接触，使得两个所述电极组的电极片沿着排列方向呈交替分布。

3、作为本发明的进一步改进，两个所述电极盘彼此相对的内端面上均间隔排列设有多个定位槽，两个所述电极组各自的多个所述电极片分别固定于对应的所述电极盘上的多个所述定位槽内。

4、作为本发明的进一步改进，两个所述电极组均还包括若干定位条，并且对于任意一个所述电极组而言，相邻两个所述电极片之间均通过所述定位条进行固定，以使多个所述电极片互相平行且等间距分布。

5、作为本发明的进一步改进，两个所述电极盘分别固定于所述绝缘外壳的两端，且两个所述电极盘上均设有用于将所述真空电容器固定于外部的工作位置上同时实现电性连接的安装结构。

6、作为本发明的进一步改进，所述安装结构包括设置在所述电极盘上的连接头和/或第一安装孔。

7、作为本发明的进一步改进，所述安装结构均包括安装板，所述安装板固定于所述电极盘的外端面，且所述安装板设有向外伸出于所述绝缘外壳的插接部，所述插接部上设有第二安装孔。

8、作为本发明的进一步改进，两个所述电极组的电极片尺寸相同；或者两个所述电极组的电极片尺寸不同，但对于任意一个所述电极组而言，其包含的多个所述电极片尺寸相同。

9、作为本发明的进一步改进，两个所述电极组的电极片均采用金属带料冲压成型。

10、作为本发明的进一步改进，两个所述电极组在所述真空腔室中的相对位置可调节，以改变两个所述电极组之间的耦合面积。

11、作为本发明的进一步改进，真空电容器还包括基座、波纹管和传动机构，两个所述电极盘分别为动子盘和定子盘，所述定子盘和所述基座分别固定于所述绝缘外壳的两端，所述动子盘位于所述绝缘外壳内并与所述传动机构连接，所述波纹管密封连接于所述基座和所述动子盘之间，所述传动机构用于在外部动力装置的驱动下带动所述动子盘及固定于所述动子盘上的所述电极组做轴向移动。

12、本发明的有益效果是：本发明提供一种真空电容器，通过采用多个片状的间隔排列分布的电极片，能够大大简化制造工艺，减少了生产过程中的材料浪费和因工艺复杂导致的产品报废率，同时极大地降低了设备采购成本，使得真空电容器的制造成本和生产周期大幅下降，且产品体积能够做到更小，满足用户对真空电容器小型化和低成本的要求。

1.一种真空电容器，包括两个电极盘(3)、直接或者间接地连接于两个所述电极盘(3)并且在其内部配置有真空腔室(101)的绝缘外壳(1)，以及分别固定于两个所述电极盘(3)彼此相对的内端面且容置于所述真空腔室(101)中的两个电极组(2)，其特征在于：两个所述电极组(2)均包括多个片状的间隔排列分布的电极片(201)，同时两个所述电极组(2)的电极片(201)相互平行地延伸至彼此之中且互不接触，使得两个所述电极组(2)的电极片(201)沿着排列方向呈交替分布。

2.根据权利要求1所述的真空电容器，其特征在于：两个所述电极盘(3)彼此相对的内端面上均间隔排列设有多个定位槽(301)，两个所述电极组(2)各自的多个所述电极片(201)分别固定于对应的所述电极盘(3)上的多个所述定位槽(301)内。

3.根据权利要求1所述的真空电容器，其特征在于：两个所述电极组(2)均还包括若干定位条(202)，并且对于任意一个所述电极组(2)而言，相邻两个所述电极片(201)之间均通过所述定位条(202)进行固定，以使多个所述电极片(201)互相平行且等间距分布。

4.根据权利要求1所述的真空电容器，其特征在于：两个所述电极盘(3)分别固定于所述绝缘外壳(1)的两端，且两个所述电极盘(3)上均设有用于将所述真空电容器固定于外部的工作位置上同时实现电性连接的安装结构。

5.根据权利要求4所述的真空电容器，其特征在于：所述安装结构包括设置在所述电极盘(3)上的连接头(302)和/或第一安装孔(303)。

6.根据权利要求4所述的真空电容器，其特征在于：所述安装结构均包括安装板(4)，所述安装板(4)固定于所述电极盘(3)的外端面，且所述安装板(4)设有向外伸出于所述绝缘外壳(1)的插接部(401)，所述插接部(401)上设有第二安装孔(4011)。

7.根据权利要求1所述的真空电容器，其特征在于：两个所述电极组(2)的电极片(201)尺寸相同；或者两个所述电极组(2)的电极片(201)尺寸不同，但对于任意一个所述电极组(2)而言，其包含的多个所述电极片(201)尺寸相同。

8.根据权利要求1所述的真空电容器，其特征在于：两个所述电极组(2)的电极片(201)均采用金属带料冲压成型。

9.根据权利要求1所述的真空电容器，其特征在于：两个所述电极组(2)在所述真空腔室(101)中的相对位置可调节，以改变两个所述电极组(2)之间的耦合面积。

10.根据权利要求9所述的真空电容器，其特征在于：还包括基座(5)、波纹管(6)和传动机构，两个所述电极盘(3)分别为动子盘和定子盘，所述定子盘和所述基座(5)分别固定于所述绝缘外壳(1)的两端，所述动子盘位于所述绝缘外壳(1)内并与所述传动机构连接，所述波纹管(6)密封连接于所述基座(5)和所述动子盘之间，所述传动机构用于在外部动力装置的驱动下带动所述动子盘及固定于所述动子盘上的所述电极组(2)做轴向移动。