信息处理装置、程序和恢复辅助方法与流程

1.本发明涉及信息处理装置、程序和恢复辅助方法。


背景技术：

2.以往，已知有例如能够根据业务数据的产生而每天将备份数据更新为最新状态，并且在因操作失误等导致数据消失或发生灾害时等能够迅速恢复的远程备份系统(例如，参照专利文献1)。
3.现有技术文献
4.专利文献
5.专利文献1：日本特开2008-204036号公报


技术实现要素：

6.发明要解决的技术问题
7.本发明提供辅助热处理装置的恢复的技术。
8.用于解决技术问题的技术方案
9.本发明的一方式为一种信息处理装置，其包括：运转状况数据收集部，其构成为能够收集设置于制造工厂的多个热处理装置的运转状况数据；运转状况数据保存部，其构成为能够按照每个所述热处理装置保存上述运转状况数据；和运转状况数据提供部，其构成为能够在上述多个热处理装置的运转强制停止了的情况下，提供保存在上述运转状况数据保存部中的每个上述热处理装置的上述运转状况数据的一览信息作为辅助上述多个热处理装置的恢复的信息。
10.发明效果
11.依照本发明，能够提供辅助热处理装置的恢复的技术。
附图说明
12.图1是本实施方式涉及的信息处理系统的一例的构成图。
13.图2是计算机的一例的硬件构成图。
14.图3是本实施方式涉及的信息处理装置的一例的功能框图。
15.图4是本实施方式涉及的信息处理装置的处理的一例的流程图。
16.图5是本实施方式涉及的运转状况数据的一例的构成图。
17.图6是本实施方式涉及的信息处理装置的处理的一例的流程图。
18.图7是本实施方式涉及的信息处理装置的处理的一例的流程图。
19.附图标记说明
20.1信息处理系统
21.10热处理装置
22.12装置控制器
23.14信息处理装置
24.16信息处理终端
25.18、20网络
26.52运转状况数据收集部
27.54运转状况数据保存部
28.56运转状况数据提供部。
具体实施方式
29.以下，参照附图，对用于实施本发明的方式进行说明。
30.＜系统构成＞
31.图1是本实施方式涉及的信息处理系统的一例的构成图。图1所示的信息处理系统1具有设置于制造工厂2的热处理装置10和装置控制器12。此外，信息处理系统1具有信息处理装置14，其设置在即使在制造工厂2发生了热处理装置10强制停止那样的灾害(例如地震、停电等)的情况下也能够继续运转的环境。能够设置信息处理装置14的环境例如为距制造工厂2足够距离的远距离地点等。
32.此外，信息处理系统1具有信息处理终端16，其供使设置于制造工厂2的热处理装置10恢复的操作者、或者向操作者发出指示使热处理装置10恢复的管理者等操作。
33.热处理装置10、装置控制器12、信息处理装置14和信息处理终端16经由互联网和lan(local area network，局域网)等网络18及20可通信地连接。此外，即使在制造工厂2发生灾害而网络18无法使用的情况下，信息处理装置14和信息处理终端16也能够经由网络20进行通信。
34.热处理装置10为半导体制造装置和成膜装置等，从装置控制器12接受遵循方案的控制命令，并执行方案的处理。方案的处理进度以被称为步骤的控制单位来进行管理。方案的处理进度例如用步骤序号和步骤名等表示。
35.此外，热处理装置10可以如图1所示搭载有装置控制器12，只要可通信地连接，也可以不一定搭载有装置控制器12。装置控制器12是具有控制热处理装置10的计算机结构的控制器。装置控制器12按照方案输出控制热处理装置10的控制部件的控制命令。
36.另外，装置控制器12具有从操作者接受对热处理装置10的指示，并且向操作者提供与热处理装置10有关的信息的人机接口(mmi)的功能。
37.在没有发生灾害的平常时，装置控制器12定期(例如每10秒)向信息处理装置14发送表示热处理装置10的运转状况的数据(运转状况数据)。运转状况数据是包含热处理装置10执行中的方案的识别信息、表示执行中的方案的处理进度的步骤的识别信息和步骤的执行状态信息等的信息。
38.在因发生灾害而造成停电时，热处理装置10失去电源而执行中的方案的处理中断。此外，装置控制器12失去电源而不再能向信息处理装置14发送热处理装置10的运转状况数据。
39.信息处理装置14在平常时定期从制造工厂2的装置控制器12收集热处理装置10的运转状况数据并保存。另外，信息处理装置14保存的热处理装置10的运转状况数据是从装置控制器12接收到的最近的热处理装置10各自的运转状况数据。
40.因而，即使制造工厂2因发生灾害而停电，热处理装置10的运转强制停止了，在信息处理装置14中也保存有从装置控制器12接收到的最近的热处理装置10的运转状况数据。
41.信息处理装置14能够向操作者或管理者提供灾害发生前从装置控制器12接收到的最近的热处理装置10的运转状况数据的一览信息，作为辅助设置于制造工厂2的多个热处理装置10的恢复的信息。关于提供辅助设置于制造工厂2的多个热处理装置10的恢复的信息，既可以通过在信息处理装置14的显示器等显示来进行，也可以通过在信息处理终端16的显示器等显示来进行。
42.像这样，通过参照灾害发生前信息处理装置14从装置控制器12接收到的最近的热处理装置10的运转状况数据的一览信息，操作者或管理者能够容易地确认制造工厂2的多个热处理装置10在灾害发生时正在执行的方案的处理。此外，通过确认制造工厂2的多个热处理装置10在灾害发生时正在执行的方案的处理，操作者或管理者能够容易地对因发生灾害而运转强制停止了的多个热处理装置10的恢复的优先级做出判断。
43.另外，图1的信息处理系统1为一例，根据用途、目的当然存在多种多样的系统构成例。例如信息处理系统1中，各个热处理装置10的装置控制器12可以采用合并到多个热处理装置10用的装置控制器的构成或进一步分割的构成等各种各样的构成。
44.＜硬件构成＞
45.图1所示的信息处理系统1的装置控制器12、信息处理装置14和信息处理终端16例如通过图2所示那样的硬件结构的计算机来实现。图2是计算机的一例的硬件构成图。
46.图2的计算机500包括输入装置501、输出装置502、外部i/f(接口)503、ram(random access memory，随机存取存储器)504、rom(read only memory，只读存储器)505、cpu(central processing unit，中央处理器)506、通信i/f507和hdd(hard disk drive，硬盘驱动器)508等，分别通过总线b相互连接。另外，输入装置501和输出装置502也可以采用在必要时连接使用的方式。
47.输入装置501为键盘、鼠标、触摸面板等，用于供操作者等输入各操作信号。输出装置502为显示器等，显示计算机500的处理结果。通信i/f507是将计算机500与网络18或20连接的接口。hdd508是存储有程序、数据的非易失性的存储装置的一例。
48.外部i/f503是与外部装置的接口。计算机500能够经由外部i/f503进行sd(secure digital，安全数字)存储卡等存储介质503a的读取和/或写入。rom505是存储有程序、数据的非易失性的半导体存储器(存储装置)的一例。ram504是暂时保存程序、数据的易失性的半导体存储器(存储装置)的一例。
49.cpu506是通过从rom505、hdd508等存储装置将程序、数据读出到ram504上并执行处理，而实现计算机500整体的控制、功能的运算装置。
50.图1的装置控制器12、信息处理装置14和信息处理终端16能够利用图2的计算机500的硬件构成等而实现各种功能。
51.＜功能构成＞
52.本实施方式涉及的信息处理系统1的信息处理装置14例如通过如图3所示的功能块来实现。图3是本实施方式涉及的信息处理装置的一例的功能框图。另外，图3的功能框图省略了对于本实施方式的说明而言不必要的构成的图示。
53.图3的信息处理装置14通过执行信息处理装置14用的程序(例如恢复辅助软件等)
而实现收集设定保存部50、运转状况数据收集部52、运转状况数据保存部54、运转状况数据提供部56、操作接受部60和输出控制部62。
54.收集设定保存部50保存信息处理装置14用于收集设置于制造工厂2的多个热处理装置10的运转状况数据所必须的收集设定。收集设定包含用于与装置控制器12进行通信的通信设定、运转状况数据的收集时机设定等信息。
55.运转状况数据收集部52定期收集设置于制造工厂2的多个热处理装置10的运转状况数据，并保存在运转状况数据保存部54中。运转状况数据保存部54定期保存设置于制造工厂2的多个热处理装置10的运转状况数据。
56.运转状况数据提供部56向操作信息处理装置14或信息处理终端16的操作者或管理者提供运转状况数据的一览信息，作为辅助制造工厂2的多个热处理装置10的恢复的信息。
57.例如在制造工厂2因发生灾害而停电，热处理装置10的运转强制停止了的情况下，操作者或管理者能够在信息处理装置14或信息处理终端16显示制造工厂2的多个热处理装置10的运转状况数据的一览信息。操作者或管理者无需为了确认灾害发生时正在执行的方案的处理，而靠近制造工厂2的多个热处理装置10进行确认。
58.操作者或管理者能够通过参照显示在信息处理装置14或信息处理终端16的制造工厂2的多个热处理装置10的运转状况数据的一览信息，确认各个热处理装置10在灾害发生时正在执行的方案的处理，判断各个热处理装置10的恢复的优先级。
59.操作接受部60从操作者或管理者等使用者接受操作。输出控制部62根据从操作者或管理者等使用者接受的操作，将信息显示输出在信息处理装置14或信息处理终端16的显示器等中。输出控制部62既可以将信息邮件输出，也可以印刷输出。
60.例如输出控制部62将灾害发生前从装置控制器12接收到的最近的热处理装置10的运转状况数据的一览信息信息显示输出在处理装置14或信息处理终端16的显示器等中。
61.＜处理＞
62.在没有发生灾害的平常时，信息处理装置14按照图4所示的顺序执行处理。图4是本实施方式涉及的信息处理装置的处理的一例的流程图。制造工厂2的多个热处理装置10从各个装置控制器12接受遵循方案的控制命令，且不同步地执行方案的处理(工艺)。
63.在步骤s10中，信息处理装置14的运转状况数据收集部52从收集设定保存部50读出收集设定。在步骤s12中，运转状况数据收集部52基于包含在所读出的收集设定中的运转状况数据的收集时机设定，判断是否为运转状况数据的收集时机。
64.运转状况数据收集部52反复进行步骤s12的处理，直至判断为运转状况数据的收集时机为止。此外，在判断为运转状况数据的收集时机时，运转状况数据收集部52进行步骤s14的处理。
65.在步骤s14中，运转状况数据收集部52根据收集设定收集设置于制造工厂2的多个热处理装置10的运转状况数据。收集到的多个热处理装置10的运转状况数据在步骤s16中被保存在运转状况数据保存部54中。
66.保存在运转状况数据保存部54的多个热处理装置10的运转状况数据例如为图5所示那样的构成。图5是本实施方式涉及的运转状况数据的一例的构成图。作为项目，图5的运转状况数据含有装置名、工艺种类、执行状态、执行方案名、执行子方案名、执行步骤名、步
骤经过时间和数据收集结果。
67.装置名为热处理装置10的识别信息的一例，例如为热处理装置10的名称。工艺种类表示热处理装置10执行的工艺的种类。执行状态为步骤的执行状态信息的一例，表示执行中、暂时停止中、处理准备中等执行状态。执行方案名为执行中的方案的识别信息的一例，例如为执行中的方案的名称。执行子方案名为执行中的子方案的识别信息的一例，例如为执行中的子方案的名称。执行步骤名为执行中的步骤的识别信息的一例，例如为执行中的步骤的步骤序号和步骤名等。步骤经过时间表示从步骤开始起的经过时间。数据收集结果表示数据收集的成功或失败。
68.运转状况数据也可以还具有数据收集日期和时间、方案开始日期和时间、步骤开始时刻、加热器温度或晶舟升降机(boat elevator)位置作为项目，但为了减轻网络负担，优选为用于判断恢复的优先级所必须的最小必要限度的项目。
69.在步骤s18中，运转状况数据收集部52判断是否停止运转状况数据的收集。运转状况数据收集部52反复进行步骤s12～s18的处理，直至判断为停止运转状况数据的收集为止。在判断为停止运转状况数据的收集时，运转状况数据收集部52结束图4的流程图的处理。
70.根据图4的流程图的处理，信息处理装置14在没有发生灾害的平常时，能够定期收集并保持制造工厂2的多个热处理装置10的例如图5所示的运转状况数据。
71.例如在制造工厂2因发生灾害而停电时，制造工厂2的多个热处理装置10的运转强制停止了。信息处理装置14中例如如图5所示保存有运转强制停止了的多个热处理装置10的最近的运转状况数据。
72.能够设置信息处理装置14的环境例如是距制造工厂2足够的距离的远距离地点等，因此，信息处理装置14和信息处理终端16不会受停电等的影响。即使在制造工厂2发生灾害而网络18无法使用时，信息处理装置14和信息处理终端16也能够经由网络20通信。
73.使设置于制造工厂2的热处理装置10恢复的操作者或者向操作者发出指示而使热处理装置10恢复的管理者操作信息处理装置14或信息处理终端16，进行设置于制造工厂2的热处理装置10的运转状况数据的一览信息的参照请求。
74.信息处理装置14按照例如图6所示的流程执行处理。图6是本实施方式涉及的信息处理装置的处理的一例的流程图。
75.运转状况数据提供部56反复进行步骤s30的处理，直至从操作者或管理者接受到设置于制造工厂2的热处理装置10的运转状况数据的一览信息的参照请求为止。此外，当从操作者或管理者接受到参照请求时，运转状况数据提供部56进行步骤s32的处理。
76.在步骤s32中，运转状况数据提供部56从运转状况数据保存部54读出有参照请求的制造工厂2的多个热处理装置10的例如图5所示的运转状况数据。在步骤s34中，运转状况数据提供部56通过对在步骤s32中读出的运转状况数据的一览信息进行显示输出等，向操作者或管理者提供辅助有参照请求的制造工厂2的多个热处理装置10的恢复的信息。
77.参照了例如图5所示的运转状况数据的一览的操作者或管理者能够确认与各个记录对应的热处理装置10在因发生灾害而运转强制停止时正在执行的方案、该方案的处理进度和执行状态。
78.图5的装置名“toola”的热处理装置10在运转被强制停止时热处理为执行中，操作
者或管理者能够判断出在处理腔室中充满气体的可能性较高。
79.为了恢复例如图5的装置名“toola”的热处理装置10，为应对气体泄漏等的可能性需要防毒面具的装备等，且处理腔室中的晶片能够再利用的可能性低，因此恢复的优先级低。
80.图5的装置名“toolc”的热处理装置10在运转被强制停止时热处理为准备中，操作者或管理者能够判断出在处理腔室充满气体的可能性低。
81.为了恢复例如图5的装置名“toolc”的热处理装置10，气体泄漏等的可能性低，不需要防毒面具的装备等，且处理腔室中的晶片能够再利用的可能性高，因此恢复的优先级高。
82.像这样，参照了图5所示的运转状况数据的一览的操作者或管理者能够根据图5的运转状况数据的一览信息容易地判断出设置于制造工厂2的多个热处理装置10的恢复的优先级。通过遵循判断出的恢复的优先级，操作者或管理者能够迅速对应，能够缩短至使制造工厂2恢复并再次运转的时间，将损失控制在最小限度。
83.图6的流程图的处理是操作者或管理者根据图5示出的运转状况数据的一览而判断设置于制造工厂2的多个热处理装置10的恢复的优先级的处理。信息处理装置14也可以根据例如图5所示的运转状况数据的一览来判断设置于制造工厂2的多个热处理装置10的恢复的优先级，并提供给操作者或管理者。
84.图7是本实施方式涉及的信息处理装置的处理的一例的流程图。步骤s50～s52的处理与图6的步骤s30～s32同样。在步骤s54中，运转状况数据提供部56基于步骤s52中读出的运转状况数据的一览信息，基于预先设定的规则表等判断有参照请求的制造工厂2的多个热处理装置10的恢复的优先级。
85.规则基准例如以如下那样设定：将能够回收可再利用的晶片的可能性高的热处理装置10的优先级判断为高，将能够回收可再利用的晶片的可能性低的热处理装置10的优先级判断为低。此外，规则基准设定为例如将气体泄漏的可能性高的热处理装置10的优先级判断为低，将气体泄漏的可能性低的热处理装置10的优先级判断为高。
86.在步骤s56中，信息处理装置14能够通过将运转状况数据的一览信息和步骤s54中判断出的制造工厂2的多个热处理装置10的恢复优先级显示输出等，而向操作者或管理者提供辅助制造工厂2的多个热处理装置10的恢复的信息。
87.依照本实施方式涉及的信息处理系统1，能够提供即使在制造工厂2发生了热处理装置10强制停止的灾害或事故等的情况下，也辅助制造工厂2的热处理装置10的恢复的技术。
88.以上，对本发明优选的实施例进行了详细的说明，但本发明不限于上述实施例，能够在不脱离本发明的范围内，对上述实施例施加各种变形和替换。