热传导真空量规组件的制作方法

技术特征：
1.一种热传导真空量规组件，其包括：本体，所述本体限定用于接收工作气体的内部室，其中所述本体由具有面向外的壁表面和相对的面向内的壁表面的壁限定；设置在所述室内的加热器元件；与所述本体热连通的热补偿元件；以及与所述本体热连通的热均衡元件；其中所述本体由具有第一热导率的材料制成，并且所述热均衡元件由具有第二热导率的材料制成，所述第二热导率高于所述第一热导率。2.根据权利要求1所述的组件，其中所述热均衡元件至少部分地环绕所述内部室并与所述本体热接触。3.根据权利要求2所述的组件，其中所述热均衡元件至少部分地环绕所述面向外的壁表面。4.根据权利要求3所述的组件，其中所述热均衡元件形成围绕所述本体的外部套筒。5.根据权利要求3所述的组件，其中所述热均衡元件包括沿着所述本体延伸的至少一个条带。6.根据任一前述权利要求所述的组件，其中所述第二热导率是所述第一热导率的至少10倍。7.根据任一前述权利要求所述的组件，其中所述本体由不锈钢制成，并且所述热均衡元件由铝制成。8.根据任一前述权利要求所述的组件，其中所述热补偿元件位于限定在所述壁中的腔内。9.根据任一前述权利要求所述的组件，其进一步包括安装到所述热补偿元件的电连接构件，其中所述电连接构件的第一部分的至少一些被所述热均衡元件环绕，并且所述电连接构件的第二部分从所述本体凸出出来。10.根据任一前述权利要求所述的组件，其中：所述本体沿着纵向轴线在基部与顶部之间延伸，并且具有在所述基部与所述顶部之间延伸的侧壁；并且所述热均衡元件至少部分地环绕所述侧壁，并且沿着所述纵向轴线轴向地延伸。11.根据权利要求10所述的组件，其中所述本体包括邻接所述热均衡元件的径向延伸的凸肩。12.根据权利要求10或11所述的组件，其中所述基部限定与所述室流体连通的入口通道，并且包括径向延伸的凸缘，所述径向延伸的凸缘中具有用于接纳密封件的凹口。13.根据任一前述权利要求所述的组件，其中所述加热器元件是由电源加热的灯丝。14.一种热传导真空量规，其包括：根据任一前述权利要求所述的组件；以及壳体，所述壳体接纳并且至少部分地环绕所述本体和所述热均衡元件。15.根据权利要求14所述的真空量规，其中所述壳体包括用于提供对所述加热器元件和所述热补偿元件的电气控制的控制电路。

技术总结
本公开内容涉及一种热传导真空量规组件。所述组件包括：本体，所述本体限定用于接收工作气体的内部室；以及设置在所述室内的加热器元件。所述本体由具有面向外的壁表面和相对的面向内的壁表面的壁限定。热补偿元件和热均衡元件与所述本体热连通。所述本体由具有第一热导率的材料制成，并且所述热均衡元件由具有第二热导率的材料制成，所述第二热导率高于所述第一热导率。本公开内容还涉及一种包括所述组件的热传导真空量规。件的热传导真空量规。件的热传导真空量规。


技术研发人员：G
受保护的技术使用者：爱德华兹有限公司
技术研发日：2021.12.10
技术公布日：2023/8/29