一种加热装置的制作方法

1.本实用新型涉及加热设备技术领域，特别涉及一种加热装置。


背景技术：

2.在半导体生产加工过程中，需涉及到半导体产品的清洗环节，为了保证产品质量，清洗溶液的温度必须满足规定的工艺要求，而行业内一般要求清洗溶液的温差需控制在正负1.5℃内。
3.当前，对清洗溶液的温度控制一般采用加热炉直接加热的方式进行，即加热炉直接与盛装清洗溶液的容器的底部接触以对其加热，但是上述加热方式会导致清洗溶液的底部温度上升较快，其它位置的温度上升较慢，使得不同位置的温度不同，从而不能对清洗溶液的温度进行精确控制。
4.因此，如何能够对清洗溶液的温度进行精确控制，进而提高产品质量是本领域技术人员亟需解决的技术问题。


技术实现要素：

5.有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种加热装置，能够对清洗溶液的温度进行精确控制，进而提高产品质量。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
7.一种加热装置，包括第一容器、第二容器和热源，所述第一容器用于盛放待加热溶液，所述第一容器置于所述第二容器内，所述第一容器与所述第二容器之间具有用于容纳导热介质的容纳空间，所述导热介质能够与所述第一容器的多个不同位置相接触；
8.所述热源能够将热量传递至所述导热介质，并通过所述导热介质将所述热量分别传递至所述待加热溶液的不同位置，以将所述待加热溶液加热至预设温度。
9.优选的，所述导热介质为固态物，所述固态物能够贴紧于所述第一容器的外表面。
10.优选的，所述导热介质为柔性导热垫。
11.优选的，所述导热介质为液态物，所述液态物能够与所述第一容器的外表面相接触。
12.优选的，所述导热介质的高度至少为所述待加热溶液的高度的二分之一。
13.优选的，还包括进液输送管道和出液输送管道，所述进液输送管道与所述出液输送管道的一端分别与所述热源相连，所述进液输送管道与所述出液输送管道的另一端分别与所述导热介质相连通。
14.优选的，还包括设置于所述进液输送管道或所述出液输送管道内的泵浦。
15.优选的，还包括保温件，所述保温件均设置于所述进液输送管道与所述出液输送管道上。
16.优选的，还包括用于检测所述待加热溶液的温度的温度传感器，所述温度传感器与所述热源电连接。
17.优选的，所述热源为加热器。
18.由以上技术方案可以看出，当进行待加热溶液加热时，开启热源，热源将热量传递至导热介质，通过导热介质将热量传递至第一容器的多个不同位置，通过第一容器再将热量传递至待加热溶液的多个不同位置，从而将待加热溶液加热至预设温度。
19.和现有技术相比，由于本实用新型所公开的加热装置对待加热容器的加热位置增多，可实现从不同的方位对待加热溶液进行分别加热，使得待加热溶液的温度得到均匀控制，因此上述加热装置能够实现对待加热溶液的温度的精确控制，从而有效提高了产品质量。
附图说明
20.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见的，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
21.图1为本实用新型实施例所公开的加热装置的整体结构示意图；
22.其中，各部件名称如下：
23.100、第一容器；200、第二容器；300、热源；400、导热介质；500、进液输送管道；600、出液输送管道；700、保温件；800、温度传感器。
具体实施方式
24.为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面接合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步的详细说明，请参考图1。
25.本实用新型实施例所公开的加热装置，包括第一容器100、第二容器200和热源300，其中，第一容器100用于盛放待加热溶液，第一容器100置于第二容器200内，第一容器100与第二容器200之间具有用于容纳导热介质400的容纳空间，导热介质400能够与第一容器100的多个不同位置相接触，热源300能够将热量传递至导热介质400，并通过导热介质400将热量分别传递至待加热溶液的不同位置，以将待加热溶液加热至预设温度。
26.当进行待加热溶液加热时，开启热源300，热源300将热量传递至导热介质400，通过导热介质400将热量传递至第一容器100的多个不同位置，通过第一容器100再将热量传递至待加热溶液的多个不同位置，从而将待加热溶液加热至预设温度。
27.和现有技术相比，由于本实用新型实施例所公开的加热装置对待加热容器的加热位置增多，可实现从不同的方位对待加热溶液进行分别加热，使得待加热溶液的温度得到均匀控制，因此上述加热装置能够实现对待加热溶液的温度的精确控制，从而有效提高了产品质量。
28.本实用新型实施例对第一容器100和第二容器200的具体设置关系不进行具体限定，只要满足本实用新型使用要求的结构均在本实用新型的保护范围之内。
29.其中，第一容器100可以直接设置于第二容器200的底端面上，第二容器200也可以通过连接件设置于第二容器200的底端面上，本实用新型实例对此不进行具体限定，
30.本实用新型实施例对导热介质400的具体形态不进行限定，只要满足本实用新型
使用要求的形态均在本实用新型的保护范围之内。
31.其中，本实用新型实施例所公开的导热介质400可以为固态物，可以为液态物，当然也可以为其它形态，只要满足本实用新型使用要求的形态均在本实用新型的保护范围之内。
32.作为优选实施例，本实用新型实施例所公开的导热介质400优选为固态物，当导热介质400为固态物时，固态物能够贴紧于待加热容器的外表面。当开启加热，加热导热介质400时，导热介质400将热量通过待加热容器间接传递至待加热溶液。
33.本实用新型实施例对固态物的具体结构不进行限定，固态物可以为柔性，也可以为刚性，只要满足本实用新型使用要求的结构均在本实用新型的保护范围之内。
34.作为优选实施例，本实用新型实施例所公开的固态物优选为柔性导热垫，如此设置，可以使得固态物与待加热容器的外表面更好的贴合，从而能够对待加热溶液进行更均匀加热。
35.作为另一优选实施例，本实用新型实施例所公开的导热介质400优选为液态物，其中液态物能够与待加热容器的外表面相接触。
36.其中，液态物可以为水，也可以为其它液体，只要满足本实用新型使用要求的结构均在本实用新型的保护范围之内。其中，本实用新型实施例所公开的液态物优选为水。
37.当导热介质400为液态物时，导热介质400的高度优选至少为待加热溶液的高度的二分之一，如此设置，可以增大导热面积，不仅使得待加热溶液的升温速度提高，而且还能进一步控制待加热溶液的温度的均匀性。
38.为了能够进一步对待加热溶液的温度进行精确控制，本实用新型实施例所公开的加热装置，还包括进液输送管道500和出液输送管道600，其中，进液输送管道500与出液输送管道600的一端分别与热源300相连，进液输送管道500与出液输送管道600的另一端分别与导热介质400相连通。
39.当启动热源300，将导热介质400加热，导热介质400从进液输送管道500进入第一容器100与第二容器200之间的容纳空间内，将热量传递至第一容器100，通过第一容器100将待加热溶液进行加热。
40.为了实现导热介质400的循环，本实用新型实施例所公开的加热装置，还包括设置于进液输送管道500或出液输送管道600内的泵浦。通过泵浦可使得导热介质400通过进液输送管道500和出液输送管道600在容纳空间与热源300之间进行循环。
41.为了减少热量损失，本实用新型实施例所公开的加热装置，其中，保温件700均设置于进液输送管道500与出液输送管道600上。
42.其中，保温件700可以为保温棉，可以为保温带，也可以为其它结构材质，只要满足本实用新型使用要求的结构均在本实用新型的保护范围之内。
43.为了对温度进行实施检测，本实用新型实施例所公开的加热装置，还包括用于检测待加热溶液的温度的温度传感器800，温度传感器800与热源300电连接。
44.如此设置，温度传感器800检测待加热容器的温度，并将检测结果传输给热源300，热源300根据检测结果自动开启加热或停止按钮，以使得待加热溶液的温度在预设温度范围内。
45.当然，本实用新型实施例对热源300的具体种类不进行限定，热源300可以为燃气
炉、燃油炉、热泵、太阳能等很多种类，只要满足本实用新型使用要求的种类均在本实用新型的保护范围之内。
46.作为优选实施例，本实用新型实施例所公开的热源300优选采用加热器。
47.当热源300为加热器时，加热器上有实时显示的温度，可设定温度的上下限值，当温度传感器800反馈的温度低于设定温度的下限值时，加热器自动开启加热功能；当温度传感器800反馈的温度高于设定温度的上限值时，加热器自动开启停止功能，以使得待加热溶液的温度在预设温度范围内。
48.在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
49.除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
50.对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。