多轴惯性力传感器的制作方法

技术特征：
1.一种多轴惯性力传感器，其特征在于，包括：安装件(101、159、172)，具有设置面(106、165、178)；多个模块(102、103、129、130)，配置在所述安装件的所述设置面上，并且具有相对于所述设置面倾斜的倾斜面(107、112、133、138)；以及多个传感器(104、105、131、132)，分别配置在所述多个模块的所述倾斜面上，并且检测与主轴对应的惯性力，所述多个模块具有在与所述多个模块中的至少一个模块或多个模块接触时相对地确定与接触对象之间的位置的定位部(127)，所述多个模块通过组装成基于所述定位部相互确定了相对位置的状态及所述倾斜面分别朝向不同的方向的状态来构成基座(128)，所述多个传感器通过分别配置在所述基座的所述倾斜面上从而所述主轴分别朝向不同的方向，并且分别检测与所述主轴对应的所述惯性力的向量分量。2.根据权利要求1所述的多轴惯性力传感器，其特征在于，所述基座通过将所述多个模块配置成以所述安装件的所述设置面中的基准点为基准的点对称来构成。3.根据权利要求1或2所述的多轴惯性力传感器，其特征在于，在将与所述倾斜面垂直的方向定义为z轴时，所述多个传感器是所述主轴与所述z轴平行地配置且检测绕z轴的角速度作为所述惯性力的单轴陀螺仪传感器。4.根据权利要求1或2所述的多轴惯性力传感器，其特征在于，在将与所述倾斜面垂直的方向定义为z轴时，所述多个传感器是所述主轴与所述z轴平行地配置且检测z轴方向的加速度作为所述惯性力的单轴加速度传感器。5.根据权利要求1～4中任一项所述的多轴惯性力传感器，其特征在于，所述多个模块具有与所述倾斜面连接的三角形状的端面(108、109、113、114、134、135、139、140)、以及与所述倾斜面及所述端面连接的侧面(110、111、115、116、136、137、141、142)，所述基座被组装成，所述多个模块中的一个模块的所述倾斜面与另一个模块的所述倾斜面相面对；或者被组装成，所述一个模块的所述端面与所述另一个模块的所述端面相面对；或者被组装成，所述一个模块的所述侧面与所述另一个模块的所述侧面相面对；或者被组装成，所述一个模块的所述倾斜面与所述另一个模块的所述端面相面对；或者被组装成，所述一个模块的所述倾斜面与所述另一个模块的所述侧面相面对；或者被组装成，所述一个模块的所述端面与所述另一个模块的所述侧面相面对。6.根据权利要求5所述的多轴惯性力传感器，其特征在于，所述多个模块彼此无间隙地组装。7.根据权利要求1～4中任一项所述的多轴惯性力传感器，其特征在于，所述多个模块具有与所述倾斜面连接的三角形状的端面(108、109、113、114、134、135、139、140)、以及与所述倾斜面及所述端面连接的侧面(110、111、115、116、136、137、141、142)，所述基座被组装成所述多个模块中的一个模块的所述端面与另一个模块的所述侧面
相面对，或者所述一个模块的所述侧面与所述另一个模块的所述侧面相面对，由此构成山形形状的所述基座。8.根据权利要求1～4中任一项所述的多轴惯性力传感器，其特征在于，所述多个模块具有与所述倾斜面连接的三角形状的端面(108、109、113、114、134、135、139、140)、以及与所述倾斜面及所述端面连接的侧面(110、111、115、116、136、137、141、142)，所述基座被组装成所述多个模块中的一个模块的所述侧面与另一个模块的所述侧面接触，由此构成长方体状的所述基座。9.根据权利要求5～8中任一项所述的多轴惯性力传感器，其特征在于，所述多个模块的所述端面是直角等腰三角形的形状。10.根据权利要求9所述的多轴惯性力传感器，其特征在于，所述倾斜面是与所述直角等腰三角形的斜边对应的面。11.根据权利要求1～10中任一项所述的多轴惯性力传感器，其特征在于，所述多个模块全部形成为相同的形状。12.根据权利要求1～11中任一项所述的多轴惯性力传感器，其特征在于，所述多个模块具有用于在与所述多个模块中的至少一个模块或多个模块接触时与所述接触对象连结的连结部(155)。13.根据权利要求1～12中任一项所述的多轴惯性力传感器，其特征在于，所述多个模块具有设置在所述倾斜面上的电子部件(117)。

技术总结
多轴惯性力传感器包括安装件(101、159、172)、多个模块(102、103、129、130)及多个传感器(104、105、131、132)。各模块具有相对地确定与接触对象之间的位置的定位部(127)。各模块通过组装成基于定位部相互确定了相对位置的状态及各倾斜面(107、112、133、138)分别朝向不同的方向的状态来构成基座(128)。各传感器通过分别配置在基座的各倾斜面上而使主轴分别朝向不同的方向，且分别检测与主轴对应的惯性力的向量分量。力的向量分量。力的向量分量。


技术研发人员：明石照久 原田翔太 畑良幸
受保护的技术使用者：株式会社电装
技术研发日：2021.10.14
技术公布日：2023/7/20