显示面板及其制作方法、显示装置与流程

技术特征：
1.一种显示面板，其特征在于，所述显示面板包括薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括有源部以及与所述有源部搭接的源极和漏极；所述显示面板还包括：基板；第一金属层，设置于所述基板上，包括所述源极和所述漏极；有源层，设置于所述第一金属层远离所述基板的一侧，包括所述有源部，所述有源部包括导体子层与半导体子层；其中，所述导体子层包括间隔设置的第一导体子部与第二导体子部，所述半导体子层至少连接于所述第一导体子部与所述第二导体子部之间。2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述有源部包括源极接触区、漏极接触区以及位于所述源极接触区和所述漏极接触区之间的沟道区，所述导体子层还包括设置于所述第一导体子部与所述第二导体子部之间并位于所述沟道区内的隔断槽，且所述半导体子层至少填充于所述隔断槽内。3.根据权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述第一导体子部延伸至所述源极接触区，所述第二导体子部延伸至所述漏极接触区，且所述源极与位于所述源极接触区内的所述第一导体子部电性连接，所述漏极与位于所述漏极接触区内的所述第二导体子部电性连接。4.根据权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述隔断槽沿第一方向上的长度小于所述源极接触区与所述漏极接触区之间的间距，所述第一方向为所述源极接触区指向所述漏极接触区的方向。5.根据权利要求4所述的显示面板，其特征在于，所述隔断槽沿所述第一方向上的长度小于或等于3微米。6.根据权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述薄膜晶体管还包括栅极，所述显示面板还包括设置于所述有源层远离所述第一金属层一侧的第二金属层，且所述第二金属层包括所述栅极，所述栅极位于所述有源部远离所述基板的一侧，所述隔断槽在所述基板上的正投影位于所述栅极在所述基板上的正投影的覆盖范围以内。7.根据权利要求6所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板还包括设置于所述有源层远离所述基板一侧的层间介质层以及第三金属层，所述层间介质层覆盖所述有源层以及所述第二金属层，所述第三金属层位于所述层间介质层远离所述第二金属层的一侧；其中，所述第三金属层包括第一电极件，所述第一电极件穿过所述层间介质层与所述薄膜晶体管电性连接。8.根据权利要求7所述的显示面板，其特征在于，所述隔断槽在所述基板上的正投影位于所述第一电极件在所述基板上的正投影的覆盖范围以内。9.根据权利要求7所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板还包括设置于所述层间介质层和所述第三金属层之间的水氧阻挡层，且所述隔断槽在所述基板上的正投影位于所述水氧阻挡层在所述基板上的正投影的覆盖范围以内。10.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述第一金属层还包括遮光部，且所述遮光部位于所述有源部和所述基板之间。11.根据权利要求10所述的显示面板，其特征在于，所述源极的一端连接于所述有源
部，另一端连接于所述遮光部，且所述源极的材料与所述遮光部的材料相同。12.一种显示面板的制作方法，其特征在于，所述显示面板包括薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括有源部以及与所述有源部搭接的源极和漏极；所述显示面板的制作方法包括以下步骤：提供基板；在所述基板上形成第一金属层，所述第一金属层包括所述源极和所述漏极；在所述第一金属层远离所述基板的一侧形成有源层，所述有源层包括所述有源部，所述有源部包括导体子层与半导体子层，其中，所述导体子层包括间隔设置的第一导体子部与第二导体子部，所述半导体子层至少连接于所述第一导体子部与所述第二导体子部之间。13.一种显示装置，其特征在于，所述显示装置包括如权利要求1至11任一项所述的显示面板以及装置主体，且所述显示面板与所述装置主体组合为一体。

技术总结
本发明公开了一种显示面板及其制作方法、显示装置。该显示面板包括薄膜晶体管，薄膜晶体管包括有源部以及与有源部搭接的源极和漏极；显示面板还包括基板、第一金属层以及有源层：第一金属层设置于基板上，包括源极和漏极；有源层设置于第一金属层远离基板的一侧，包括有源部，有源部包括导体子层与半导体子层；其中，导体子层包括间隔设置的第一导体子部与第二导体子部，半导体子层至少连接于第一导体子部与第二导体子部之间。本发明可以通过导体子层的精确光刻得到更小尺寸的沟道，以得到具有超短沟道的薄膜晶体管，有效提高薄膜晶体管的电流通过能力和迁移率，并减小薄膜晶体管的尺寸，提高显示面板的分辨率。提高显示面板的分辨率。提高显示面板的分辨率。


技术研发人员：周楷 罗传宝
受保护的技术使用者：TCL华星光电技术有限公司
技术研发日：2022.10.25
技术公布日：2022/11/22