喷墨印刷装置的制作方法

技术特征：
1.一种喷墨印刷装置，包括：气流工作台，在第一方向上延伸；印刷头单元，位于所述气流工作台上方；以及电场生成单元，在所述第一方向上移动并且在所述气流工作台上提供电场。2.如权利要求1所述的喷墨印刷装置，其中，所述印刷头单元包括印刷头，以及所述印刷头包括喷嘴，所述喷嘴喷射包括偶极的墨水。3.如权利要求2所述的喷墨印刷装置，其中，所述印刷头将所述墨水喷射到生成有所述电场的所述气流工作台上。4.如权利要求1所述的喷墨印刷装置，其中，所述气流工作台包括形成在所述气流工作台的顶表面上的多个气孔，以及所述气孔中的至少一些将所述空气喷射到所述气流工作台上。5.如权利要求1所述的喷墨印刷装置，还包括：衬底传送单元，在所述气流工作台上方在所述第一方向上传送目标衬底。6.如权利要求5所述的喷墨印刷装置，其中，所述衬底传送单元包括第一衬底传送器，所述第一衬底传送器设置成在垂直于所述第一方向的第二方向上邻近所述气流工作台的第一侧。7.如权利要求6所述的喷墨印刷装置，其中，所述第一衬底传送器还包括夹具，以及所述夹具通过在所述夹具和所述目标衬底之间生成负压而将所述目标衬底吸附到所述夹具的一个表面上。8.如权利要求6所述的喷墨印刷装置，其中，所述衬底传送单元还包括第二衬底传送器，所述第二衬底传送器设置成邻近所述气流工作台的、与所述气流工作台的所述第一侧相对的第二侧。9.如权利要求5所述的喷墨印刷装置，其中，所述电场生成单元在与所述衬底传送单元一起移动的同时在所述目标衬底上生成电场。10.如权利要求1所述的喷墨印刷装置，其中，所述电场生成单元包括探针单元和驱动所述探针单元的探针驱动设备。11.一种喷墨印刷装置，包括：气流工作台，包括装载部和印刷部，所述装载部在第一方向上顺序地布置并且目标衬底在所述装载部中对准，所述印刷部将墨水喷射到所述目标衬底上，所述气流工作台在所述第一方向上延伸；印刷头单元，位于所述印刷部上方；以及电场生成单元，设置在所述气流工作台的一侧，并且当在所述第一方向上移动的同时在所述目标衬底上生成电场。12.如权利要求11所述的喷墨印刷装置，还包括：衬底传送单元，在所述气流工作台上方在所述第一方向上传送所述目标衬底。13.如权利要求12所述的喷墨印刷装置，其中，所述衬底传送单元设置成在垂直于所述第一方向的第二方向上邻近所述气流工作台的第一侧。
14.如权利要求13所述的喷墨印刷装置，其中，所述衬底传送单元还包括夹具，以及所述夹具通过在所述夹具和所述目标衬底之间生成负压，将所述目标衬底的表面吸附到所述夹具的、与所述目标衬底的所述表面相面对的表面上。15.如权利要求12所述的喷墨印刷装置，其中，所述电场生成单元在与所述衬底传送单元一起移动的同时在所述目标衬底上生成电场。16.如权利要求12所述的喷墨印刷装置，其中，所述电场生成单元包括探针单元和驱动所述探针单元的探针驱动设备。17.如权利要求11所述的喷墨印刷装置，其中，所述气流工作台包括通过将所述空气喷射到所述气流工作台上而提升所述目标衬底的多个气孔。18.如权利要求11所述的喷墨印刷装置，还包括：对准检查单元，设置在所述装载部上方。19.如权利要求11所述的喷墨印刷装置，还包括：第一引导单元，在所述第一方向上延伸，并且设置成在垂直于所述第一方向的第二方向上靠近所述气流工作台的第一侧并且与所述气流工作台的所述第一侧隔开，其中，所述电场生成单元包括设置在所述第一引导单元上的第一基础衬底、设置在所述第一基础衬底上的探针单元、以及在所述第一基础衬底上与所述探针单元间隔开的探针驱动设备。20.如权利要求19所述的喷墨印刷装置，还包括：第二引导单元，在所述第一方向上延伸并且设置在所述第一引导单元和所述气流工作台之间；以及衬底传送单元，沿所述第二引导单元在所述气流工作台上方传送所述目标衬底，其中，所述衬底传送单元包括设置在所述第二引导单元上的第二基础衬底以及设置在所述第二基础衬底上并固定所述目标衬底的夹具。21.如权利要求19所述的喷墨印刷装置，还包括：夹具，设置在所述第一基础衬底上并且在所述第一方向上传送所述目标衬底。

技术总结
提供了一种喷墨印刷装置。喷墨印刷装置包括：气流工作台，其在第一方向上延伸；印刷头单元，其位于气流工作台上方；以及电场生成单元，其在第一方向上移动并且在气流工作台上方提供电场。供电场。供电场。


技术研发人员：李炳哲 郑兴铁 许明洙 郭珍午 李度宪
受保护的技术使用者：三星显示有限公司
技术研发日：2021.06.04
技术公布日：2023/3/3