微镜器件及光扫描装置的制作方法

技术特征：
1.一种微镜器件，其具备：反射镜部，形成有反射入射光的反射面；第1支承部，在第1轴上与所述反射镜部连接，且以能够使所述反射镜部围绕所述第1轴摆动的方式支承所述反射镜部，所述第1轴位于所述反射镜部静止时包含所述反射面的平面内；一对可动框，与所述第1支承部连接，并且隔着所述第1轴对置；第2支承部，在第2轴上与所述可动框连接，且以能够使可动部围绕所述第2轴摆动的方式支承所述可动部，所述可动部包含所述反射镜部、所述第1支承部及所述可动框，所述第2轴在所述反射镜部静止时包含所述反射面的平面内、与所述第1轴正交；驱动部，配置成包围所述可动部，在所述第2轴上在与所述第2支承部之间存在空隙；连结部，连结所述第2支承部与所述驱动部；及固定框，与所述驱动部连接，且配置成包围所述驱动部，在所述反射镜部围绕所述第1轴转动而转动角度的绝对值大于0度的状态下，当在与所述第1轴正交且包含所述第2轴的平面上，将在所述第2支承部的表面上包含所述第2支承部的各端点的直线与所述第2轴的交点和静止时的所述第2支承部的所述反射镜部侧的端部之间的距离设为a，将所述第2支承部在所述第2轴方向上的总长度设为l时，满足2/3＜a/l的关系。2.根据权利要求1所述的微镜器件，其中，所述驱动部具有压电元件。3.根据权利要求1所述的微镜器件，其中，所述驱动部具备：一对第1致动器，隔着所述第2轴对置，且具有压电元件；及一对第2致动器，配置成包围所述第1致动器，隔着所述第1轴对置，且具有压电元件。4.根据权利要求3所述的微镜器件，其中，所述第2致动器使所述反射镜部围绕所述第1轴摆动，所述第1致动器使所述可动部围绕所述第2轴摆动。5.根据权利要求1至4中任一项所述的微镜器件，其中，距离a及总长度l满足2/3＜a/l＜6/5的关系。6.一种光扫描装置，其具备：权利要求1至4中任一项所述的微镜器件；及处理器，驱动所述驱动部，所述光扫描装置中，所述处理器通过对所述驱动部赋予驱动信号，使所述反射镜部分别围绕所述第1轴及所述第2轴摆动。

技术总结
本发明涉及微镜器件及光扫描装置，其能够抑制由轴间串扰引起的共振频率的位移。微镜器件具备反射镜部、将反射镜部支承为能够围绕第1轴摆动的第1支承部、隔着第1轴对置的一对可动框、将可动部支承为能够围绕第2轴摆动的第2支承部、配置成包围可动部且在第2轴上在与第2支承部存在空隙的驱动部、连结第2支承部与驱动部的连结部及固定框，在反射镜部围绕第1轴的转动角度的绝对值大于0度的状态下，当在与第1轴正交且包含第2轴的平面上，将在第2支承部表面上包含第2支承部各端点的直线与第2轴的交点和静止时第2支承部的反射镜部侧的端部之间的距离设为A，将第2支承部在第2轴方向上的总长度设为L时，满足2/3＜A/L的关系。满足2/3＜A/L的关系。满足2/3＜A/L的关系。


技术研发人员：青岛圭佑
受保护的技术使用者：富士胶片株式会社
技术研发日：2022.08.30
技术公布日：2023/3/10