基于失效率的过程窗口的制作方法

技术特征：
1.一种具有指令的非暂时性计算机可读介质，所述指令在由计算机执行时使所述计算机执行用于确定图案化过程的过程窗口的方法，所述方法包括：获得被印制于衬底上的多个特征的测量数据；以及基于与一特征组相关联的所述测量数据来产生所述特征组的基础失效率模型，所述特征组中的特征是不同的，其中，所述基础失效率模型被配置成根据所述特征组的失效率识别过程窗口。2.根据权利要求1所述的计算机可读介质，还包括基于指标将所述多个特征分组为包括所述组的多个组。3.根据权利要求2所述的计算机可读介质，其中，所述指标包括：(a)所述特征中的每个特征的过程窗口，其中，所述过程窗口是与相应特征相关联的过程变量的函数；和(b)与所述相应特征相关联的特性参数。4.根据权利要求2所述的计算机可读介质，其中，所述过程变量包括与用于所述图案化过程的设备相关联的焦距值和剂量值，并且其中，所述特性参数包括所述相应特征的临界尺寸(cd)值。5.根据权利要求2所述的计算机可读介质，其中，将所述特征分组包括：对于所述特征中的每个特征，获得所述相应特征的平均cd值以及位于所述相应特征的过程窗口的边缘处的与所述平均cd相关联的多个剂量值和焦距值以作为指标值，以及基于所述特征的所述指标值将所述特征聚类至所述特征组中，其中，特定组内的特征具有位于第一阈值内的指标值。6.根据权利要求1所述的计算机可读介质，其中，获得所述多个特征的所述测量数据包括：获得具有被印制于所述衬底上的所述特征的图像，以及分析所述图像以选择满足指定准则的特征作为所述多个特征。7.根据权利要求6所述的计算机可读介质，其中，所述指定准则包括特征在所述衬底上的出现次数低于第一阈值，或所述特征在所述图像中的一图像中的出现次数低于第二阈值。8.根据权利要求1所述的计算机可读介质，其中，产生用于所述特征组的所述基础失效率模型包括：获得所述特征组的平均cd；将所述特征组的局部cd均一性(lcdu)数据确定为与所述特征组相关联的所述测量数据；基于所述lcdu数据来获得：(i)所述特征组的cd的概率密度函数，所述概率密度函数被定义为所述平均cd、所述图案化过程的剂量值、以及所述图案化过程的剂量值的方差的函数；和(ii)所述图案化过程的基于所述特征组中的特征的失效率测量结果的cd极限；基于所述cd极限和所述cd的所述概率密度函数来确定所述特征组的估计失效率；以及产生所述基础失效率模型，所述基础失效率模型识别与所述剂量值相关的所述过程窗口，使得所述特征组的估计失效率小于预定阈值。9.根据权利要求1所述的计算机可读介质，还包括：使用所述基础失效率模型和所述特定特征的特性数据产生用于特定特征的特定于特
征的失效率模型，其中，所述特定于特征的失效率模型识别特定于特征的过程窗口，使得所述特定特征的估计失效率低于指定阈值。10.根据权利要求9所述的计算机可读介质，其中，产生所述特定于特征的失效率模型包括：接收与所述特定特征相关联的测量数据，其中，所述测量数据包括所述特定特征的针对多个剂量值和焦距值的cd值；从所述测量数据确定指定指标值，其中，所述指定指标值被确定为指定平均cd值以及位于与所述特定特征相关联的过程窗口的边缘处的与所述指定平均cd值相关联的多个剂量值和焦距值的函数；以及从数据库选择指定基础失效率模型，所述指定基础失效率模型的指标值匹配所述指定指标值。11.根据权利要求9所述的计算机可读介质，还包括：从所述指定基础失效率模型获得cd的基础概率密度函数；以及基于所述指定平均cd值来调整所述基础概率密度函数的平均cd以产生经调整的概率密度函数。12.根据权利要求11所述的计算机可读介质，还包括：获得所述特定特征的cd的场间cd变化、场内cd变化、概率密度函数中的至少一个以作为cd轮廓数据；以及将所述经调整的概率密度函数与所述cd轮廓数据做卷积以产生与所述特定特征相关联的经卷积的概率密度函数。13.根据权利要求12所述的计算机可读介质，还包括：基于第一cd极限、第二cd极限和所述经卷积的概率密度函数来确定所述特定特征的估计失效率；以及产生被配置成识别所述特定于特征的过程窗口的所述特定于特征的失效率模型。14.根据权利要求9所述的计算机可读介质，还包括：基于与所述指定特征相关的所述过程窗口来调整所述图案化过程的一个或更多个设备，以最小化与所述指定特征相关联的失效率。15.根据权利要求1所述的计算机可读介质，其中，获得所述测量数据包括：获得所述特征的第一组过程窗口，其中，所述第一组过程窗口表示所述特征的针对第一组剂量值和焦距值的第一特性参数，其中，所述第一组过程窗口包括所述特征中的第一特征的第一过程窗口；基于所述第一组过程窗口来获得用于所述特征的多个过程窗口指标；以及基于所述过程窗口指标中的一个或更多个对所述特征分级，并且其中，获得用于所述第一特征的所述过程窗口指标包括：获得所述特征的第二组过程窗口，其中，所述第二组过程窗口包括所述第一特征的第二过程窗口，其中，所述第二组过程窗口作为(i)与所述特征相关联的第二特性参数和(ii)与所述第二特性参数相关联的第二组剂量值和焦距值的函数；利用所述第一过程窗口和所述第二过程窗口执行叠置操作以产生经叠置的过程窗口，其中，所述经叠置的过程窗口为所述第一过程窗口和所述第二过程窗口在曲线图上的形状
的相交区；以及基于所述经叠置的过程窗口来获得用于所述第一特征的所述过程窗口指标。

技术总结
本文中描述一种用于基于失效率来确定图案化过程的过程窗口的方法。所述方法包括：(a)获得被印制于衬底上的多个特征；(b)基于指标将所述特征分组为多个组；和(c)基于与特征组相关联的测量数据来产生所述特征组的基础失效率模型，其中，所述基础失效率模型识别与所述特征组的所述失效率相关的所述过程窗口。所述方法还包括使用所述基础失效率模型产生用于特定特征的特定于特征的失效率模型，其中，所述特定于特征的失效率模型识别特定于特征的过程窗口，使得所述特定特征的估计失效率低于指定阈值。于指定阈值。于指定阈值。


技术研发人员：蒋爱琴 苏达沙南
受保护的技术使用者：ASML荷兰有限公司
技术研发日：2021.06.17
技术公布日：2023/3/3