晶圆切片夹持设备的制作方法

技术特征：
1.一种晶圆切片夹持设备，其特征在于，包括装夹架(1)，所述装夹架(1)上设置工件载台(6)，所述工件载台(6)的两侧相对设置装夹臂(5)，所述装夹臂(5)关于工件载台(6)轴向对称设置，所述装夹臂(5)与装夹架(1)的侧部转动连接，所述装夹臂(5)设置驱动组件，所述驱动组件驱动装夹臂(5)同步相向运动。2.根据权利要求1所述的晶圆切片夹持设备，其特征在于：所述相对的两个装夹臂(5)为一组，所述装夹臂(5)在工件载台(6)的侧部设置为多组，所述位于工件载台(6)同侧的装夹臂(5)通过长轴(4)连接，所述长轴(4)水平设置，所述长轴(4)的表面套设有齿轮，所述长轴(4)与驱动组件的输出轴齿轮传动。3.根据权利要求2所述的晶圆切片夹持设备，其特征在于：所述长轴(4)的表面套设的齿轮为从动锥齿轮(13)，所述驱动组件包括动力箱(7)和电机(8)，所述动力箱(7)设置在装夹架(1)的底部，所述动力箱(7)的内部设置立轴，所述立轴的顶端延伸至动力箱(7)的上方，所述立轴的顶端设置主动锥齿轮(15)，所述主动锥齿轮(15)和从动锥齿轮(13)啮合传动；所述电机(8)设置在动力箱(7)外壁上,所述电机(8)的输出轴延伸至动力箱(7)的内部，所述电机(8)输出轴与立轴的底端连接。4.根据权利要求3所述的晶圆切片夹持设备，其特征在于：所述驱动组件还包括设置在动力箱(7)内部的蜗轮旋转单元，所述蜗轮旋转单元包括蜗杆和蜗轮主体，所述蜗杆与电机输出轴连接，所述蜗轮主体与蜗杆啮合传动，所述立轴的底端与蜗轮主体连接。5.根据权利要求4所述的晶圆切片夹持设备，其特征在于：所述蜗轮旋转单元在动力箱(7)内设置两组，所述两组蜗轮旋转单元在动力箱(7)内关于装夹架(1)的两侧左右镜像设置，所述两组蜗轮旋转单元分别位于装夹臂(5)下方，所述驱动组件还包括转动安装在动力箱(7)内部的第一转轴(9)和第二转轴(11)，所述第一转轴(9)和第二转轴(11)的一端分别与两组蜗轮旋转单元蜗杆的端部连接，所述第一转轴(9)相对于蜗杆的另一端设置主动齿盘(10)，所述第二转轴(11)相对于蜗杆的另一端设置从动齿盘(12)，所述主动齿盘(10)和从动齿盘(12)啮合传动，所述两组蜗轮旋转单元通过主动齿盘(10)和从动齿盘(12)的齿轮传动进行同步相向转动。6.根据权利要求4所述的晶圆切片夹持设备，其特征在于：所述工件载台(6)的顶部设置有与硅晶棒弧度相匹配的下凹部(601)。7.根据权利要求5所述的晶圆切片夹持设备，其特征在于：所述装夹臂(5)的上端设置用于夹持晶圆切片的弧形内凹部(501)。8.根据权利要求6所述的晶圆切片夹持设备，其特征在于：所述装夹架(1)的端部设置支块(2)，所述支块(2)与长轴(4)端部通过轴承(3)连接。

技术总结
本实用新型涉及晶圆切片辅助用具技术领域，具体为一种晶圆切片夹持设备，包括装夹架，装夹架上设置工件载台，工件载台的两侧相对设置装夹臂，装夹臂关于工件载台轴向的中心线对称设置，装夹臂与装夹架的侧部转动连接，装夹臂设置驱动组件，驱动组件驱动装夹臂同步相向运动。本实用新型通过设置有长轴和装夹臂等相互配合的结构，在硅晶棒的外周面形成装夹点，当硅晶棒的端部被切片机切片时，硅晶棒无晃动、震动，克服切片平面出现偏移的现象，提高晶圆的切片质量。圆的切片质量。圆的切片质量。


技术研发人员：徐雪宁
受保护的技术使用者：陕西质子精密光学有限公司
技术研发日：2022.10.11
技术公布日：2023/3/3