一种MPCVD设备专用水冷式天线的制作方法

一种mpcvd设备专用水冷式天线
技术领域
1.本实用新型涉及mpcvd的微波模式转化器技术领域，尤其涉及一种mpcvd设备专用水冷式天线。


背景技术：

2.mpcvd装置是用来批量生长单晶、多晶金刚石的一种设备，化学气相沉积(cvd)技术被广泛应用于金刚石、类金刚石、氧化硅、非晶硅等薄膜、晶体的制备，cvd法具有沉积温度低、薄膜成分易控、均匀性好等优势。
3.在mpcvd装置上设置有微波模式转化器，微波模式转化器是一种高功率微波发生装置，进而能够在反应腔内形成等离子体，然而在微波转化的过程中，天线上会产生大量的热能，进而会影响转化器的正常工作，因此对微波模式转化器的天线进行散热变得十分重要。


技术实现要素：

4.本实用新型提供了一种mpcvd设备专用水冷式天线，用以解决现有技术中转化器产生微波时产生的热能影响转化器作业的问题。
5.为解决上述问题，本实用新型提供了一种mpcvd设备专用水冷式天线，包括基座，所述基座上开设有冷凝室，所述冷凝室内固定设置有天线安装座，所述冷凝室上设置有进水接头和出水接头，所述进水接头和所述出水接头均与所述冷凝室连通设置。
6.在一种可能的实施方式中，优选的，所述冷凝室内设置有阻水壁，所述阻水壁设置于所述天线安装座与所述基座之间，所述进水接头与所述冷凝室在所述阻水壁的一侧连通，所述出水接头与所述冷凝室在所述阻水壁的另一侧连通。
7.在一种可能的实施方式中，优选的，所述冷凝室上盖设有固定封盘，所述固定封盘与所述基座之间设置有第一密封圈，所述固定封盘与所述天线安装座之间设置有第二密封圈。
8.在一种可能的实施方式中，优选的，所述冷凝室的底部基板上开设有环流槽。
9.在一种可能的实施方式中，优选的，所述基座一端呈锥形结构设置，所述天线安装座上开设有安装孔，所述安装孔贯穿所述锥形结构开设，所述安装孔用于安装微波模式转化器的天线。
10.在一种可能的实施方式中，优选的，所述水冷式天线还包括安装支架，所述基座固定设置于所述安装支架上，所述安装支架用于固定安装到微波模式转化器上。
11.本实用新型的有益效果是：本实用新型提出一种mpcvd设备专用水冷式天线，包括基座，在基座上开设有冷凝室，通过冷凝室内冷水的环流动作对产生热能的天线进行散热，进而减少热量对转化器的影响，同时该装置结构简单，实用性强，散热效果好，能够有效的提高转化器的作业稳定性。
附图说明
12.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
13.图1示出了水冷式天线的整体结构示意图；
14.图2示出了水冷式天线去掉固定封盘后的结构示意图；
15.图3示出了天线安装座设置于冷凝室内的结构示意图；
16.图4示出了水冷式天线设置于安装支架上的结构示意图。
17.主要元件符号说明：
18.100-基座；110-冷凝室；111-天线安装座；1110-安装孔；112-阻水壁；113-环流槽；120-进水接头；130-出水接头；140-固定封盘；150-第一密封圈；160-第二密封圈；170-锥形结构；200-安装支架；300-天线。
具体实施方式
19.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
20.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
21.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
22.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
23.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
24.请参阅图1和图2，本实用新型提供一种mpcvd设备专用水冷式天线(以下简称水冷式天线)，该水冷式天线包括基座100，在基座100上开设有冷凝室110，在冷凝室110内设置有天线安装座111，天线安装座111上设置有天线300，同时在基座100上设置有进水接头120和出水接头130，进水接头120和出水接头130均与冷凝室110连通设置。
25.可以理解的是，该水冷式天线运用水冷结构对天线300进行散热时，将天线300安装到天线安装座111上，同时开启进水接头120和出水接头130，进一步的在冷凝室110内形成水流，进而通过冷凝室110内冷水的环流动作对产生热能的天线300进行散热，进而减少热量对转化器的影响，同时该水冷式天线的结构简单、实用性强、散热效果好，能够有效的提高转化器的作业稳定性。
26.请参阅图2和图3，在上述方案的基础上，优选的，在冷凝室110内设置有阻水壁112，阻水壁112将冷凝室110进行隔断，同时进水接头120与冷凝室110在阻水壁112的一侧连通，出水接头130与冷凝室110在阻水壁112的另一侧连通，进而进水接头120与出水接头130之间的水流能够在冷凝室110内形成环流动作，使得散热的效果会更好。
27.优选的，在冷凝室110上盖设有固定封盘140，固定封盘140盖设于冷凝室110上(可通过螺栓方式进行固定)，并且在固定封盘140与基座100之间设置第一密封圈150，在固定封盘140与天线安装座111之间设置有第二密封圈160，进而能够有效提升冷凝室110的封闭性，避免了水流外溢的情况。
28.优选的，在冷凝室110的底部基板上开设有环流槽113，环流槽113的开设能够增加水流与天线安装座111之间的接触面积，也可以说能够增加对天线300的热交换面积，环流槽113的开设不仅能够增加水流的环流动作，同时还能够有效提升对天线300的散热效果。
29.请参阅图1和图4，在上述方案的基础上，该水冷式天线还包括安装支架200，基座100固定设置于安装支架200上，安装支架200用于将水冷式天线固定安装到微波模式转化器上。
30.同时，基座100的一端呈锥形结构170设置，在天线安装座111上开设有安装孔1110，安装孔1110用于安装天线300，安装孔1110贯穿锥形结构170开设。
31.可以理解的是，水冷式天线在使用时，将天线300安装到天线安装座111上，天线300穿出锥形结构170设置，这样能够增加基座100与天线300之间的热交换面积，增加了散热效果的同时还能够提高天线300的安装稳定性。
32.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
33.尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。