透明导电性薄膜的制作方法

技术特征：
1.一种透明导电性薄膜，在透明塑料薄膜基材上的至少一面侧层叠铟-锡复合氧化物的透明导电膜，基于以下的输入载荷试验的透明导电膜的输入开始载荷为3g以上且15g以下，进而，基于以下的笔输入稳定性试验的透明导电性薄膜的失压时间为0.00毫秒以上且0.40毫秒以下，在输入载荷试验方法中，将尺寸为220mm
×
135mm的透明导电性薄膜用作一个面板，作为另一个面板，使用包含铟-锡复合氧化物薄膜的透明导电性薄膜a，该铟-锡复合氧化物薄膜是在尺寸为232mm
×
151mm的玻璃基板上通过溅射法形成的，厚度为20nm且氧化锡含量为10质量％，在带铟-锡复合氧化物薄膜的玻璃基板即ito玻璃的透明导电性薄膜a侧，以4mm间距的正方格子状配置纵60μm
×
横60μm
×
高5μm的环氧树脂，以作为点间隔件，接下来，以ito玻璃的四角的角的任意一个为起点，在ito玻璃的透明导电性薄膜a侧粘贴厚度为105μm且宽度为6mm的双面胶带，使得能够形成190mm
×
135mm的长方形，接下来，在粘贴于ito玻璃的双面胶带上粘贴透明导电性薄膜的透明导电膜b侧，层叠成透明导电性薄膜a与透明导电膜b面对，此时，透明导电性薄膜的一个短边侧从ito玻璃露出，接下来，用测试器连接ito玻璃和透明导电性薄膜，接下来，从透明导电性薄膜侧利用聚缩醛制的笔施加载荷，将由测试器计测出的电阻值稳定时的载荷值设为输入开始载荷，该笔的前端的形状为0.8mmr，用笔施加载荷的位置是由四个点间隔件包围的中心区域，计算3点处的输入开始载荷的平均值，在笔输入稳定性试验方法中，将尺寸为220mm
×
135mm的透明导电性薄膜用作为一个面板，作为另一个面板，使用包含铟-锡复合氧化物薄膜的透明导电性薄膜a，该铟-锡复合氧化物薄膜是在尺寸为232mm
×
151mm的玻璃基板上通过溅射法形成的，厚度为20nm且氧化锡含量为10质量％，在带铟-锡复合氧化物薄膜的玻璃基板即ito玻璃的透明导电性薄膜a侧，以4mm间距的正方格子状配置纵60μm
×
横60μm
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高5μm的环氧树脂，以作为点间隔件，接下来，以ito玻璃的四角的角的任意一个为起点，在ito玻璃的透明导电性薄膜a侧粘贴厚度为105μm、宽度为6mm的双面胶带，使得能够形成190mm
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135mm的长方形，接下来，在粘贴于ito玻璃的双面胶带上粘贴透明导电性薄膜的透明导电膜b侧，层叠成透明导电性薄膜a与透明导电膜b面对，此时，透明导电性薄膜的一个短边侧从ito玻璃露出，接下来，在ito玻璃和透明导电性薄膜连接恒压电源，接下来，连接能够计测ito玻璃与透明导电性薄膜的电压的记录仪，接下来，对恒压电源施加6v，用记录仪以0.02毫秒为单位开始计测电压，接下来，从透明导电性薄膜侧利用聚缩醛制的笔以每秒5次的速度施加50g的载荷，该笔的前端的形状为0.8mmr，用笔施加载荷的位置是由四个点间隔件包围的中心区域，从记录仪中取出用笔对透明导电性薄膜施加载荷时的电压的时间变化的数据，以笔从透明导电性薄膜开始离开、电压从6v减少时为起点，测定电压成为5v为止的时
间，记录为失压时间。2.根据权利要求1所述的透明导电性薄膜，其中，下述的薄膜硬挺度试验的硬挺度为0.23n
·
cm以上且0.90n
·
cm以下，进而透明导电性薄膜的导电面的下述的平均最大峰高满足下述式(2-1)以及式(2-2)，进而由下述的接触面积率评价计算出的值满足式(2-3)，在薄膜硬挺度试验方法中，从透明导电性薄膜采集20mm
×
250mm的试验片，以透明导电层为上地将试验片配置在表面平滑的水平台上，此时仅将试验片的20mm
×
20mm的部分放置在水平台上，将20mm
×
230mm放置成露出到水平台的外部，此外在试验片的20mm
×
20mm的部分上放置重物，此时，选择重物的重量、尺寸，以使得试验片与水平台之间不产生间隙，接下来，通过标尺读取水平台的高度与薄膜的前端的高度之差即δ，接下来，将数值代入以下的式(1)来计算硬挺度，式(1)(g
×
a
×
b
×
l4)
÷
8δ(n/cm)其中，g＝重力加速度，a＝试验片的短边的长度，b＝试验片的比重，l＝试验片的长度，δ＝水平台的高度与薄膜的前端的高度之差，在平均最大峰高评价中，平均最大峰高为5点的最大峰高的平均，5点的选择方法如下：首先选择任意的1点a，接下来，相对于a在薄膜的长度md方向的上下游1cm处选择各1点、共计2点，接下来，相对于a在薄膜的宽度td方向的左右1cm处选择各1点、共计2点，最大峰高由iso 25178规定，使用三维表面形状测定装置伯特扫描(菱化系统公司制造，r5500h-m100(测定条件：wave模式、测定波长560nm、物镜10倍))，求出最大峰高，此外，通过四舍五入将小于1nm的值舍去，在接触面积率评价中，对于透明导电性薄膜的导电面，使用三维表面形状测定装置伯特扫描(菱化系统公司制造，r5500h-m100(测定条件：wave模式、测定波长560nm、物镜50倍))，在测定长度100μm～200μm的范围内，依据jis b 0601-2001测定算术平均粗糙度ra，其中，测定ra，以使得满足“rp-平均高度-ra≤0.20μm”和“(rp-平均高度)
÷
ra≤5.0”中的任一者或两者，进而满足rsm≤30μm，在此，rp、rsm依据jis b 0601-2001进行测定，平均高度是测定长度中的高度的平均值，在不满足所述条件的情况下，在不同的点进行再测定，接下来，对于相同的透明导电性薄膜的导电面，使用三维表面形状测定装置伯特扫描(菱化系统公司制造，r5500h-m100(测定条件：wave模式、测定波长560nm、物镜10倍))，进一步使用该测定装置中的粒子解析，以“ra-15nm-平均高度”为阈值求出截面积的总和，将截面积的总和除以测定视野的面积所得的值再乘以100的值作为接触面积率，式(2-1)平均最大峰高(μm)≥4.7
×
硬挺度-1.8式(2-2)0.005(μm)≤平均最大峰高(μm)≤12.000(μm)式(2-3)接触面积率(％)≥32.6
×
硬挺度 17.2。3.根据权利要求2所述的透明导电性薄膜，其中，
所述平均最大峰高评价中的最大峰高的最大值超过所述平均最大峰高的1.0倍且为1.4倍以下，并且，所述平均最大峰高评价中的最大峰高的最小值为所述平均最大峰高的0.6倍以上且1.0倍以下。4.根据权利要求1～3中任一项所述的透明导电性薄膜，其中，透明导电膜的厚度为10nm以上且100nm以下。5.根据权利要求1～4中任一项所述的透明导电性薄膜，其中，透明导电膜中所含的氧化锡的浓度为0.5质量％以上且40质量％以下。6.根据权利要求1～5中任一项所述的透明导电性薄膜，其中，在透明导电膜与透明塑料薄膜基材之间具有固化型树脂层，进而，在透明塑料薄膜基材的与所述透明导电膜相反的一侧具有功能层。7.根据权利要求1～6中任一项所述的透明导电性薄膜，其中，在透明塑料薄膜基材的至少一侧还具有易粘接层。8.根据权利要求7所述的透明导电性薄膜，其中，易粘接层配置在透明塑料薄膜基材与固化型树脂层之间、或者透明塑料薄膜基材与功能层之间的至少一方的位置。9.根据权利要求1～8中任一项所述的透明导电性薄膜，其中，基于以下的笔滑动耐久性试验的透明导电膜的透明导电膜的导通电阻为10kω以下，在笔滑动耐久性试验中，将透明导电性薄膜用作一个面板，作为另一个面板，使用包含铟-锡复合氧化物薄膜的透明导电性薄膜a，该铟-锡复合氧化物薄膜是在玻璃基板上通过溅射法形成的，厚度为20nm且氧化锡含量为10质量％，隔着直径30μm的环氧珠配置该2个面板，以使透明导电性薄膜对置，制作出触摸面板，接下来，对聚缩醛制的笔施加2.5n的载荷，该笔的前端的形状为0.8mmr，在触摸面板上进行5万次往复的直线滑动试验，此时的滑动距离为30mm，滑动速度为180mm/秒，在该滑动耐久性试验后，测定以笔载荷0.8n按压了滑动部时的导通电阻，该导通电阻是作为可动电极的薄膜电极与固定电极接触时的电阻值。10.根据权利要求1～9中任一项所述的透明导电性薄膜，其中，在透明导电膜的表面的依据jis k5600-5-6：1999的附着性试验中，透明导电膜的残留面积率为95％以上。

技术总结
提供一种使用于触摸面板时的轻快的操作性、优异的笔输入稳定性以及优异的笔滑动耐久性的透明导电性薄膜。一种透明导电性薄膜，为在透明塑料薄膜基材上的至少一面侧层叠铟-锡复合氧化物的透明导电膜的透明导电性薄膜，其中，基于输入载荷试验的透明导电膜的输入开始载荷为3g以上且15g以下，进而，基于笔输入稳定性试验的透明导电性薄膜的失压时间为0.00毫秒以上且0.40毫秒以下。秒以上且0.40毫秒以下。秒以上且0.40毫秒以下。


技术研发人员：多多见央 高桥知大
受保护的技术使用者：东洋纺株式会社
技术研发日：2021.07.12
技术公布日：2023/2/3