检查装置以及检查方法与流程

技术特征：
1.一种检查装置，包括：工作台，配置基板；第一光源，照射第一光；第二光源，照射波长不同于所述第一光的第二光；光学部件，配置在所述第一光源与所述第二光源之间，从而选择性地使所述第一光的光路径或者所述第二光的光路径朝向所述工作台；拍摄部，拍摄照射了所述第一光的所述基板和照射了所述第二光的所述基板；以及处理部，从拍摄照射了所述第一光的所述基板获得的第一图像数据中去除拍摄照射了所述第二光的所述基板获得的第二图像数据，从而生成检查数据。2.根据权利要求1所述的检查装置，还包括：控制部，控制所述光学部件的旋转，所述控制部根据所述第一光源和所述第二光源的工作时序来使所述光学部件旋转。3.根据权利要求2所述的检查装置，其中，所述控制部构成为控制所述第一光源和所述第二光源的操作，所述控制部在所述第一光源开启时关闭所述第二光源，在所述第二光源开启时关闭所述第一光源，并且在所述光学部件旋转时关闭所述第一光源和所述第二光源。4.根据权利要求1所述的检查装置，其中，所述第一光具有可见光波段的波长，并且所述第二光具有紫外线波段的波长。5.根据权利要求1所述的检查装置，还包括：第一滤波器，配置在所述第一光源与所述光学部件之间，从而使第一波段的光透过。6.根据权利要求5所述的检查装置，其中，所述第一滤波器是能够拆装的。7.根据权利要求1所述的检查装置，还包括：第二滤波器，配置在所述第二光源与所述光学部件之间，从而使第二波段的光透过，所述第二滤波器是激发滤波器。8.根据权利要求1所述的检查装置，还包括：辐射滤波器，在所述光学部件与所述拍摄部之间被配置成能够移动，在所述第一光源开启时，所述辐射滤波器不配置在所述光学部件与所述拍摄部之间，并且在所述第二光源开启时，所述辐射滤波器配置在所述光学部件与所述拍摄部之间。9.根据权利要求1所述的检查装置，其中，所述光学部件包括第一面以及与所述第一面对置的第二面，所述第一光中的至少一部分在所述光学部件的所述第一面被反射而朝向所述基板，并且所述第二光中的至少一部分在所述光学部件的所述第二面被反射而朝向所述基板。10.根据权利要求1所述的检查装置，还包括：判断部，比较所述检查数据与基准数据来判断是否不良。11.根据权利要求1所述的检查装置，其中，所述检查数据是从所述基板的多个区域之中的一个区域获得的数据。12.根据权利要求11所述的检查装置，其中，提供多个所述检查数据，
多个所述检查数据与所述多个区域分别一对一地对应，所述检查装置还包括：判断部，彼此比较多个所述检查数据来判断是否不良。13.一种检查方法，包括：利用第一光源向检查对象照射可见光波段的第一光的步骤；利用拍摄部拍摄照射了所述第一光的所述检查对象来生成第一图像数据的步骤；利用第二光源向所述检查对象照射紫外线波段的第二光的步骤；利用所述拍摄部拍摄照射了所述第二光的所述检查对象来生成第二图像数据的步骤；从所述第一图像数据中去除所述第二图像数据来生成检查数据的步骤；以及根据所述检查数据判断所述检查对象是否不良的步骤。14.根据权利要求13所述的检查方法，其中，所述检查对象是包括发光元件的显示面板，所述发光元件吸收所述第二光而发光。15.根据权利要求13所述的检查方法，其中，向所述检查对象照射所述第一光的步骤包括：将所述第一光提供至使第一波段的光透过的第一滤波器的步骤；以及利用光学部件控制透过了所述第一滤波器的所述第一光的路径来使其朝向所述检查对象的步骤。16.根据权利要求15所述的检查方法，其中，向所述检查对象照射所述第二光的步骤包括：使所述光学部件旋转的步骤；将所述第二光提供至使第二波段的光透过的第二滤波器的步骤；以及利用所述光学部件控制透过了所述第二滤波器的所述第二光的路径来使其朝向所述检查对象的步骤。17.根据权利要求16所述的检查方法，其中，所述光学部件包括第一面以及与所述第一面对置的第二面，所述第一光中的至少一部分在所述光学部件的所述第一面被反射而朝向所述检查对象，并且所述第二光中的至少一部分在所述光学部件的所述第二面被反射而朝向所述检查对象。18.根据权利要求15所述的检查方法，其中，生成所述第一图像数据的步骤包括：使辐射滤波器移动以便所述辐射滤波器不会配置在所述光学部件与所述拍摄部之间的步骤；以及由所述拍摄部拍摄照射了所述第一光的所述检查对象的步骤，生成所述第二图像数据的步骤包括：使所述辐射滤波器移动以便所述辐射滤波器配置在所述光学部件与所述拍摄部之间的步骤；以及利用所述拍摄部，在所述拍摄部与所述检查对象之间夹着所述辐射滤波器的情况下，拍摄照射了所述第二光的所述检查对象的步骤。19.根据权利要求13所述的检查方法，其中，根据所述检查数据判断所述检查对象是否不良的步骤包括：
提供作为标准的基准数据的步骤；以及比较所述基准数据与所述检查数据的步骤。20.根据权利要求13所述的检查方法，其中，根据所述检查数据判断所述检查对象是否不良的步骤包括：从所述检查对象的多个区域提取多个检查数据的步骤；以及将所述多个检查数据彼此比较的步骤。

技术总结
提供一种检查装置以及检查方法。检查装置可以包括工作台、第一光源、第二光源、光学部件、拍摄部和处理部。在所述工作台可以配置基板。所述第一光源可以照射第一光。所述第二光源可以照射第二光。所述光学部件可以配置在所述第一光源与所述第二光源之间，并且可以使所述第一光的光路径或者所述第二光的光路径朝向所述工作台。所述拍摄部可以拍摄照射了所述第一光和所述第二光的所述基板。所述处理部可以从照射所述第一光获得的第一图像数据中去除照射所述第二光获得的第二图像数据来生成检查数据。检查数据。检查数据。


技术研发人员：李炯珍
受保护的技术使用者：三星显示有限公司
技术研发日：2022.06.07
技术公布日：2023/2/17