用于电连接的连接器的制作方法

技术特征：
1.一种连接器，用于电连接，其中，包括至少一个导电部，上述导电部包括：中心导电部，包含第一弹性物质，能够沿着上下方向导电；以及第一周边部，包含第二弹性物质，沿着上述上下方向包围上述中心导电部，在上述导电部的上述上下方向上的加压状态下，上述第一弹性物质与上述第二弹性物质具有不同的膨胀率。2.如权利要求1所述的连接器，其中，在第一温度范围内的上述加压状态下，上述第一弹性物质及上述第二弹性物质中的一个的膨胀率小于另一个的膨胀率，在比上述第一温度范围低的第二温度范围内的上述加压状态下，上述第一弹性物质及上述第二弹性物质中的一个的膨胀率大于另一个的膨胀率。3.如权利要求2所述的连接器，其中，在上述第一温度范围内的加压状态下或上述第二温度范围内的加压状态下，上述中心导电部及上述第一周边部以不同程度膨胀。4.如权利要求1所述的连接器，其中，上述第一弹性物质及上述第二弹性物质中的一个包含氧化铁、氮化硼及氮化铝中的一种及硅橡胶，上述第一弹性物质及上述第二弹性物质中的另一个包含氟及硅橡胶。5.如权利要求1所述的连接器，其中，上述中心导电部包含以能够沿着上述上下方向导电的方式接触并通过上述第一弹性物质维持上述上下方向的多个第一导电性物质，上述第一周边部包含以能够沿着上述上下方向导电的方式接触并通过上述第二弹性物质维持上述上下方向的多个第二导电性物质。6.如权利要求1所述的连接器，其中，上述导电部还包括第二周边部，上述第二周边部沿着上述上下方向包围上述第一周边部，并且包含上述第一弹性物质。7.如权利要求6所述的连接器，其中，上述第二周边部包含以能够沿着上述上下方向导电的方式接触并通过上述第一弹性物质维持上述上下方向的多个第三导电性物质。8.如权利要求1所述的连接器，其中，还包括：支撑部，与上述中心导电部的下端部相结合，沿着上述上下方向支撑上述导电部；以及绝缘膜，与上述第一周边部的上端部相结合。9.如权利要求1所述的连接器，其中，包括多个上述导电部，多个上述导电部通过作为空心空间的间隙来沿着与上述上下方向正交的水平方向隔开。10.一种连接器，用于电连接，其中，包括至少一个导电部，上述导电部包括：中心导电部，包含第一弹性物质，能够沿着上下方向导电；以及第一周边部，包含第二弹性物质，沿着上述上下方向包围上述中心导电部，上述连接器包括绝缘部，上述绝缘部具有能够使上述导电部沿着上述上下方向插入的
至少一个贯通孔，上述绝缘部包含上述第一弹性物质，在上述导电部的上述上下方向上的加压状态下，上述第一弹性物质与上述第二弹性物质具有不同的膨胀率。11.如权利要求10所述的连接器，其中，在第一温度范围内的上述加压状态下，上述第一弹性物质及上述第二弹性物质中的一个的膨胀率小于另一个的膨胀率，在比上述第一温度范围低的第二温度范围内的上述加压状态下，上述第一弹性物质及上述第二弹性物质中的一个的膨胀率大于另一个的膨胀率。12.如权利要求11所述的连接器，其中，在上述第一温度范围内的加压状态下或上述第二温度范围内的加压状态下，上述中心导电部及上述第一周边部以不同程度膨胀。13.如权利要求10所述的连接器，其中，上述第一弹性物质及上述第二弹性物质中的一个包含氧化铁、氮化硼及氮化铝中的一种及硅橡胶，上述第一弹性物质及上述第二弹性物质中的另一个包含氟及硅橡胶。14.如权利要求10所述的连接器，其中，上述中心导电部包括以能够沿着上述上下方向导电的方式接触并通过上述第一弹性物质维持上述上下方向的多个第一导电性物质，上述第一周边部包括以能够沿着上述上下方向导电的方式接触并通过上述第二弹性物质维持上述上下方向的多个第二导电性物质。15.如权利要求10所述的连接器，其中，上述绝缘部包括贯通部，上述贯通部沿着上述上下方向包围上述第一周边部，在内周面限定上述贯通孔，上述贯通部包含上述第二弹性物质。16.如权利要求10所述的连接器，其中，在上述贯通孔的内周面与上述第一周边部的外周面之间形成通过上述内周面的至少一部分与上述外周面的至少一部分形成的作为空心空间的间隙。17.如权利要求10所述的连接器，其中，还包括：支撑部，与上述中心导电部的下端部相结合，沿着上述上下方向支撑上述中心导电部；以及绝缘膜，与上述第一周边部的上端部相结合。18.一种连接器，用于电连接，其中，包括至少一个导电部和绝缘部，上述导电部包含：多个第一导电性物质，以能够沿着上下方向导电的方式接触；以及第一弹性物质，沿着上述上下方向维持上述第一导电性物质，上述绝缘部具有能够使上述导电部沿着上述上下方向插入的至少一个贯通孔，并且包含第二弹性物质，在上述导电部的上述上下方向上的加压状态下，上述第一弹性物质与上述第二弹性物质具有不同的膨胀率。19.如权利要求18所述的连接器，其中，在第一温度范围内的上述加压状态下，上述第一弹性物质及上述第二弹性物质中的一个的膨胀率小于另一个的膨胀率，在比上述第一温
度范围低的第二温度范围内的上述加压状态下，上述第一弹性物质及上述第二弹性物质中的一个的膨胀率大于另一个的膨胀率。20.如权利要求18所述的连接器，其中，上述第一弹性物质及上述第二弹性物质中的一个包含氧化铁、氮化硼及氮化铝中的一种及硅橡胶，上述第一弹性物质及上述第二弹性物质中的另一个包含氟及硅橡胶。21.如权利要求18所述的连接器，其中，在上述导电部的外周面与上述贯通孔的内周面之间形成通过上述外周面的至少一部分与上述内周面的至少一部分形成的作为空心空间的间隙。

技术总结
本发明提供配置于检查装置与受检设备之间的用于电连接的连接器。用于电连接的连接器包括沿着上下方向传输信号的至少一个导电部。导电部包括中心导电部及第一周边部，上述中心导电部包含第一弹性物质并可沿着上下方向导电，上述第一周边部包含第二弹性物质并沿着上下方向包围中心导电部。在导电部的上下方向上的加压状态下，第一弹性物质与第二弹性物质具有不同的膨胀率。有不同的膨胀率。有不同的膨胀率。


技术研发人员：郑永倍 朴晶默 金贤永 金俊用 郑友镕 李埈湖 金冈德 朴勇奎
受保护的技术使用者：株式会社ISC
技术研发日：2021.05.25
技术公布日：2023/2/3