气体扩散装置及包含气体扩散装置的晶圆容器的制作方法

技术特征：
1.一种气体扩散装置，其特征在于，该气体扩散装置包含：至少一多孔管，具有一纵向空间，该纵向空间具有一封闭端与一开口端；以及至少一套环，该套环连接于该开口端用以缓冲该多孔管组装至一晶圆容器的一底部上的对应耦合结构，以避免该开口端破裂。2.如权利要求1所述的气体扩散装置，其特征在于，该多孔管的一水平截面形状为具有一长轴与一短轴的椭圆形或狭长形，或为具有一直径的圆形。3.如权利要求1所述的气体扩散装置，其特征在于，该底部的耦合结构界定一贯穿通道，该贯穿通道允许一气体进入该纵向空间。4.如权利要求1所述的气体扩散装置，其特征在于，该多孔管或该套环为耐热材质所制，该耐热材质选自peek、htpc、fkm、pps、ppo、氯化聚醚、pob、torlon、ep、pf、pei、pi、lcp、以及以上的至少两种的组合组成的群组。5.如权利要求3所述的气体扩散装置，其特征在于，该贯穿通道具有一中心轴，且该中心轴位于该纵向空间内。6.如权利要求1所述的气体扩散装置，其特征在于，当该多孔管组装至该晶圆容器中，该多孔管的一侧面面向一晶圆容器中的多个晶圆，且该侧面形成有多个凹槽，每一凹槽的水平高度界于该晶圆容器中两相邻晶圆之间。7.如权利要求1所述的气体扩散装置，其特征在于，该多孔管是由能拆卸的一顶盖、一塔及一开口端组装而成。8.一种气体扩散装置，安装于具有一容置空间的一晶圆容器，其特征在于，该气体扩散装置包含：一缓冲气室，配置于该晶圆容器的一底部，该底部设置有至少一耦合结构，且该耦合结构界定具有一中心轴的一贯穿通道，该缓冲气室具有至少一进气通道，该进气通道、该缓冲气室、该贯穿通道及该容置空间彼此之间相连通；以及至少一多孔管，具有一纵向空间，该多孔管安装至该晶圆容器的该耦合结构，该多孔管的该纵向空间与该缓冲气室相通，该缓冲气室提供一气体通过该多孔管进入该容置空间，且该气体的一进气中心轴与该耦合结构的一中心轴为同轴。9.如权利要求8所述的气体扩散装置，其特征在于，该耦合结构为该晶圆容器的该底部延伸而成，该多孔管的一开口端具有一中心轴，该多孔管的该纵向空间具有一中心轴，该耦合结构的该中心轴、该多孔管的该开口端的该中心轴与该进气中心轴为同轴。10.如权利要求8所述的气体扩散装置，其特征在于，该耦合结构为该晶圆容器的该底部延伸而成，该多孔管的一开口端具有一中心轴，该多孔管的该纵向空间具有一中心轴，该耦合结构的该中心轴、该多孔管的该开口端的中心轴与该进气中心轴为同轴，而该多孔管的该纵向空间的中心轴偏置于该耦合结构的中心轴、该多孔管的该开口端的中心轴与该进气中心轴。11.如权利要求8所述的气体扩散装置，其特征在于，该多孔管的该纵向空间具有一封闭端与一开口端，而该开口端套接于对应的该耦合结构，使该气体经该缓冲气室内并通过该开口端进入该纵向空间。12.如权利要求8所述的气体扩散装置，其特征在于，该多孔管的一水平截面形状为具有一长轴与一短轴的椭圆形或狭长形，或为具有一直径的圆形。
13.如权利要求12所述的气体扩散装置，其特征在于，该气体扩散装置还包含：一第一套环，设置于开口端内，该第一套环位于该开口端与该耦合结构之间。14.如权利要求13所述的气体扩散装置，其特征在于，该气体扩散装置还包含：一第二套环，设置于该耦合结构时，该第二套环位于该第一套环及该耦合结构之间，以加强气密。15.如权利要求13所述的气体扩散装置，其特征在于，该第一套环的材质较该多孔管的材质柔软，以避免该开口端破裂。16.如权利要求14所述的气体扩散装置，其特征在于，该第二套环与多孔管烧结或黏合为一体，以避免该开口端破裂。17.如权利要求15所述的气体扩散装置，其特征在于，该耦合结构、该多孔管、该第一套环及/或该第二套环为耐热材质所制，该耐热材质选自peek、htpc、fkm、pps、ppo、氯化聚醚、pob、torlon、ep、pf、pei、pi、lcp、以及以上的至少两种的组合组成的群组。18.如权利要求8所述的气体扩散装置，其特征在于，该气体扩散装置还包含：一气流导引件，邻近设置于该多孔管的一侧，该气流导引件用以调节该气体的气流方向进入该容置空间。19.如权利要求8所述的气体扩散装置，其特征在于，该气体扩散装置还包含：至少一进气模组，连通耦接该缓冲气室，该进气模组具有该进气中心轴，为供应单一进气方向的该气体经该进气通道进入该缓冲气室。20.一种气体扩散装置，安装于具有一容置空间的一晶圆容器，其特征在于，该气体扩散装置包含：一气匣，配置于该晶圆容器的一底部以界定一缓冲气室，该底部设置有至少两个耦合结构，且每一个该耦合结构界定具有一中心轴的一贯穿通道，该缓冲气室具有至少一进气通道，该进气通道、该缓冲气室、贯穿通道及该容置空间彼此之间相连通；以及至少两个多孔管，每一个多孔管具有一纵向空间，至少该两个多孔管分别安装至该晶圆容器的对应耦合结构，两个该多孔管的该纵向空间与该缓冲气室相通，该缓冲气室提供一气体通过至少两个该多孔管进入该容置空间。21.如权利要求20所述的气体扩散装置，其特征在于，至少两个该耦合结构为该晶圆容器的该底部延伸而成，每一个多孔管的该纵向空间的一开口端具有一中心轴，该纵向空间具有具有一中心轴，每一个该贯穿通道的该中心轴、每一个该多孔管的该开口端的该中心轴、每一个该多孔管的该纵向空间的该中心轴与该气体通过的一进气中心轴为同轴。22.如权利要求20所述的气体扩散装置，其特征在于，至少两个该耦合结构为该晶圆容器的该底部延伸而成，每一个多孔管的一开口端具有一中心轴，每一个该多孔管的该纵向空间具有一中心轴，每一个该贯穿通道的该中心轴、每一个该多孔管的该开口端的该中心轴与该气体通过的一进气中心轴为同轴，而每一个该多孔管的该纵向空间的该中心轴偏置于该贯穿通道的该中心轴、该多孔管的该开口端的该中心轴与该进气中心轴。23.如权利要求20所述的气体扩散装置，其特征在于，至少两个该耦合结构为该晶圆容器的该底部延伸而成，每一个多孔管的该纵向空间的一开口端具有一中心轴，每一个多孔管的该纵向空间具有一中心轴，每一个贯穿通道的该中心轴、每一个多孔管的该开口端的该中心轴及每一个多孔管的纵向空间的该中心轴为同轴，而该气体通过的一进气中心轴的位置偏置于同轴的该贯穿通道的该中心轴、该开口端的中心轴与该纵向空间的该中心轴。
24.如权利要求20所述的气体扩散装置，其特征在于，至少两个该耦合结构为该晶圆容器的该底部延伸而成，每一个多孔管的一开口端具有一中心轴，每一个多孔管的该纵向空间具有一中心轴，每一个该贯穿通道的该中心轴、每一个该多孔管的该开口端的该中心轴为同轴，而该气体通过的一进气中心轴及该纵向空间的该中心轴皆偏置于同轴的该贯穿通道的该中心轴及该开口端的该中心轴。25.如权利要求20所述的气体扩散装置，其特征在于，该气匣具有一底部与自该底部延伸的一侧壁，该气匣的底部形成有该进气通道。26.如权利要求20所述的气体扩散装置，其特征在于，该气匣安装于该晶圆容器的底部，使该气匣的底部、侧壁与该晶圆容器的底部界定该缓冲气室。27.如权利要求20所述的气体扩散装置，其特征在于，该气匣的底部的下表面还延伸有多个环形侧壁，每一环形侧壁界定一安装空间用于装填一进气模组，该进气模组具有该进气中心轴，该安装空间、该气匣底部的该进气通道与该缓冲气室相连通，使该进气模组供应单一进气方向的该气体经该进气通道进入该缓冲气室。28.如权利要求20所述的气体扩散装置，其特征在于，该晶圆容器包含一底盘，安装于该晶圆容器的底部，该缓冲气室介于该晶圆容器的底部与该底盘之间。29.如权利要求28所述的气体扩散装置，其特征在于，该底盘的制造材质包含自润性材质。30.一种晶圆容器，其特征在于，该晶圆容器包含：一壳体，包含一底部，该底部配置有多个耦合结构，且多个该耦合结构界定多个贯穿通道；一缓冲气室，形成于该底部的下方，且该缓冲气室具有多个进气通道，且多个该进气通道流体连通对应的贯穿通道；以及多个多孔管，各多孔管具有一开口端，该开口端对应套接于该底部的耦合结构，且经由对应的贯穿通道连通该缓冲气室，使气体能通过多个该多孔管进入该壳体的一容置空间。31.如权利要求30所述的晶圆容器，其特征在于，该多孔管具有一纵向空间，该纵向空间具有一封闭端与该开口端，而该缓冲气室内气体能通过该开口端进入该纵向空间。32.如权利要求30所述的晶圆容器，其特征在于，该晶圆容器还包含：一套环，设置于该开口端与该耦合结构之间，且该套环的材质较该多孔管的材质柔软，以避免该开口端破裂。33.如权利要求30所述的晶圆容器，其特征在于，该晶圆容器还包含：一气匣，具有一底部与自该底部延伸的一侧壁，该气匣的底部形成有多个该进气通道。34.如权利要求33所述的晶圆容器，其特征在于，该气匣安装于该壳体的底部，使该气匣与该壳体的底部界定该缓冲气室。35.如权利要求33所述的晶圆容器，其特征在于，该气匣的底部还延伸多个环形侧壁，每一环形侧壁界定一安装空间，用于装填一进气模组。36.如权利要求30所述的晶圆容器，其特征在于，该晶圆容器还包含能拆卸结合至该壳体的一门及配置于该壳体内侧的一对支撑部，该晶圆容器为耐热材质所制，该耐热材质选自peek、htpc、fkm、pps、ppo、氯化聚醚、pob、torlon、ep、pf、pei、pi、lcp、以及以上的至少两种的组合组成的群组。37.如权利要求30所述的晶圆容器，其特征在于，该晶圆容器还包含：一底盘，连接于该
壳体的下方，以支撑该壳体，该缓冲气室介于该壳体的底部与该底盘之间。38.如权利要求37所述的晶圆容器，其特征在于，该底盘的制造材质包含自润性材质。

技术总结
本发明提供一种气体扩散装置及包含气体扩散装置的晶圆容器，晶圆容器包含壳体及应用于壳体上的所有组件都由耐热材质所制成。气体扩散装置与晶圆容器于组装时，利用耦合结构与套环两者间的配置以作为气体扩散装置的防护作用；且气体扩散装置具有缓冲气室，其提供气体进入晶圆容器的内部空间前，具气体缓冲裕度或气体扩散共同流通空间的功效。或气体扩散共同流通空间的功效。或气体扩散共同流通空间的功效。


技术研发人员：邱铭乾 庄家和 李国华 林书弘 夏浩刚
受保护的技术使用者：家登精密工业股份有限公司
技术研发日：2022.08.17
技术公布日：2023/2/17