基于光学检测装置的表面检测方法和光学检测装置与流程

技术特征：
1.一种基于光学检测装置的表面检测方法，所述光学检测装置包括照明单元，其特征在于，包括：获取一测试样品，所述测试样品具有第一待测表面，所述第一待测表面上的图案包括至少一种特征区域，所述至少一种特征区域按照一图案分布方式在所述第一待测表面上重复出现；获取每个所述特征区域的特征图像，调整所述照明单元的照明参数以获得每个所述特征区域的最佳照明参数，建立所述最佳照明参数和所述特征区域的对应关系；获取目标样品，所述目标样品具有第二待测表面，所述第二待测表面上的图案按照所述至少一种特征区域的图案分布方式重复出现；以及按照预定顺序检测所述第二待测表面上的多个检测区域，根据所述对应关系获得每个所述检测区域对应的特征区域，控制所述照明单元的照明参数为所述特征区域对应的最佳照明参数，并获得所述检测区域的检测图像。2.如权利要求1所述的表面检测方法，其特征在于，所述特征区域包括曝光区域和/或管芯。3.如权利要求1所述的表面检测方法，其特征在于，所述照明参数包括波长、光强和光瞳中的任意个。4.如权利要求1所述的表面检测方法，其特征在于，所述调整所述照明单元的照明参数以获得每个所述特征区域的最佳照明参数的步骤包括：在当前照明参数下获得所述特征图像，比较所述特征图像中的缺陷和背景之间的对比度，当所述对比度达到预设阈值时，设置所述当前照明参数为所述最佳照明参数，否则调整所述当前照明参数并重复本步骤。5.如权利要求1所述的表面检测方法，其特征在于，根据所述对应关系获得每个所述检测区域对应的特征区域的步骤还包括：为所述第二待测表面上的每个所述检测区域标定对应的特征区域。6.如权利要求1所述的表面检测方法，其特征在于，所述按照预定顺序检测所述第二待测表面上的多个检测区域的步骤还包括：控制所述目标样品移动，使所述多个检测区域按照所述预定顺序依次位于所述照明单元的照明视场内；当相邻的两个检测区域所对应的最佳照明参数不同时，控制所述照明单元在所述相邻的两个检测区域之间的过渡区域位于所述照明视场中时切换所述最佳照明参数。7.如权利要求6所述的表面检测方法，其特征在于，所述过渡区域包括不含功能器件的非功能区。8.如权利要求7所述的表面检测方法，其特征在于，所述非功能区包括两个相邻管芯之间的切割道。9.如权利要求1所述的表面检测方法，其特征在于，在获取一测试样品的步骤之后还包括：将所述第一待测表面划分为中心区域和边缘区域，分别在所述中心区域和所述边缘区域中确定所述至少一种特征区域。10.如权利要求1所述的表面检测方法，其特征在于，还包括：在检测完所述目标样品上的全部检测区域之后，输出检测结果，所述检测结果包括所述第二待测表面上的全部缺陷。11.一种光学检测装置，其特征在于，包括样品承载台、照明单元、图像获取单元和控制器，其中，
所述样品承载台用于承载待测样品，所述待测样品的待测表面上具有多个待测区域；所述照明单元包括光源和照明控制单元，所述照明控制单元用于控制所述光源的出射光的照明参数；所述图像获取单元用于获取所述待测区域的检测图像；所述控制器配置为：控制所述样品承载台按照预定路径移动，以使所述待测表面上的多个待测区域按照预定顺序依次位于所述照明单元的照明视场内，控制所述照明参数为当前待测区域对应的最佳照明参数，以及控制所述图像获取单元获得所述当前待测区域的检测图像。12.如权利要求11所述的光学检测装置，其特征在于，所述控制器还配置为：获得特征区域和最佳照明参数的对应关系；根据所述对应关系获得所述待测区域对应的特征区域，控制所述照明参数为所述特征区域对应的最佳照明参数。13.如权利要求12所述的光学检测装置，其特征在于，还包括运动台，所述运动台与所述样品承载台相连接以带动所述样品承载台在水平面内移动，所述控制器还配置为：控制所述运动台按照所述预定路径移动，并获得所述运动台的位置信息，根据所述位置信息判断每个所述待测区域是否具有对应的一个所述特征区域。14.如权利要求11所述的光学检测装置，其特征在于，所述控制器还配置为：若当前待测区域的最佳照明参数和下一个待测区域的最佳照明参数不同时，控制所述照明单元在所述当前待测区域和所述下一个待测区域之间的过渡区域位于所述照明视场中时切换所述最佳照明参数。15.如权利要求11所述的光学检测装置，其特征在于，所述照明控制单元包括波长控制器、光强控制器和光瞳控制器中的任意个。16.如权利要求15所述的光学检测装置，其特征在于，所述光瞳控制器包括数字微镜器件。

技术总结
本发明提供了一种基于光学检测装置的表面检测方法和光学检测装置。该方法包括：获取一测试样品，测试样品的第一待测表面上的图案包括至少一种特征区域，至少一种特征区域按照一图案分布方式在第一待测表面上重复出现；获取每个特征区域的特征图像，调整照明单元的照明参数以获得每个特征区域的最佳照明参数，建立最佳照明参数和特征区域的对应关系；获取目标样品，目标样品的第二待测表面上的图案按照至少一种特征区域的图案分布方式重复出现；以及按照预定顺序检测第二待测表面上的多个检测区域，根据对应关系获得每个检测区域对应的特征区域，控制照明单元的照明参数为特征区域对应的最佳照明参数，并获得检测区域的检测图像。像。像。


技术研发人员：葛亮
受保护的技术使用者：睿励科学仪器(上海)有限公司
技术研发日：2022.11.08
技术公布日：2023/2/3