工件的双面研磨方法、工件的制造方法、以及工件的双面研磨装置与流程

技术特征：
1.一种工件的双面研磨方法，其是在通过太阳齿轮及内齿轮旋转的载板内研磨工件的方法，所述工件的双面研磨方法的特征在于，包括：根据所述工件的目标加工形状，设定研磨条件的工序；基于所述研磨条件，开始研磨的工序；通过转矩检测器，在研磨时检测所述太阳齿轮的转矩（ti）及所述内齿轮的转矩（to）的工序；通过计算处理部，计算所检测出的所述太阳齿轮的转矩（ti）及所述内齿轮的转矩（to）的转矩之和（ti to）的值及转矩之比（ti/to）的值的工序；通过条件设定部，设定所述转矩之和（ti to）及所述转矩之比（ti/to）的控制范围的工序；及通过所述条件设定部，基于所述转矩之和（ti to）的值及所述转矩之比（ti/to）的值是否在所述控制范围内，判定是否需要变更所述研磨条件的工序。2.根据权利要求1所述的工件的双面研磨方法，还包括：在双面研磨开始前，预先取得所述转矩之和（ti to）及所述转矩之比（ti/to）相对于所述工件的所述目标加工形状的关系的工序，设定所述转矩之和（ti to）及所述转矩之比（ti/to）的所述控制范围的所述工序，基于所取得的所述关系进行。3.根据权利要求2所述的工件的双面研磨方法，其中，所述工件的所述目标加工形状由gbir值和/或esfqr值决定。4.根据权利要求3所述的工件的双面研磨方法，其中，通过所述计算处理部，将所述太阳齿轮的转矩（ti）的值及所述内齿轮的转矩（to）的值分别变换为驱动所述太阳齿轮的电动机的动作输出及驱动所述内齿轮的电动机的动作输出相对于各自的额定输出的比值，在根据所述gbir值决定所述工件的所述目标加工形状时，所述条件设定部将所述转矩之和（ti to）的所述控制范围设定为30至35，且将所述转矩之比（ti/to）的所述控制范围设定为1.5至2.1，所述电动机的动作输出相对于所述额定输出的比值可通过如下式计算，（正在动作的所述电动机的输出的值/所述电动机的所述额定输出的值）
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100。5.根据权利要求3所述的工件的双面研磨方法，其中，通过所述计算处理部，将所述太阳齿轮的转矩（ti）的值及所述内齿轮的转矩（to）的值分别变换为驱动所述太阳齿轮的电动机的动作输出及驱动所述内齿轮的电动机的动作输出相对于各自的额定输出的比值，在根据所述esfqr值决定所述工件的所述目标加工形状时，所述条件设定部将所述转矩之和（ti to）的所述控制范围设定为25至30，且将所述转矩之比（ti/to）的所述控制范围设定为1.4至1.9，所述电动机的动作输出相对于所述额定输出的比值可通过如下式计算，（正在动作的所述电动机的输出的值/所述电动机的所述额定输出的值）
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100。6.根据权利要求1至5中任一项所述的工件的双面研磨方法，其中，所述载板配置在旋转平台的上平台和下平台之间，所述研磨条件为所述下平台的转速、或所述旋转平台施加于所述工件的加工载荷。7. 根据权利要求1至5中任一项所述的工件的双面研磨方法，还包括：
通过测定部，在研磨开始前测定所述工件形状的工序；及所述计算处理部基于所测定的所述工件形状，将所述工件的双面研磨工序分割成多个子工序的工序，设定所述转矩之和（ti to）及所述转矩之比（ti/to）的控制范围的所述工序，在各所述子工序分别进行，基于所述转矩之和（ti to）的值及所述转矩之比（ti/to）的值是否在所述控制范围内，来判定是否需要变更所述研磨条件的所述工序，在各所述子工序中分别进行。8.根据权利要求7所述的工件的双面研磨方法，其中，所述多个子工序包括：降低所述工件在圆周方向上的偏差程度的子工序；及降低所述工件在半径方向上的偏差程度的子工序。9.一种工件的制造方法，其通过权利要求1至8中任一项所述的工件的双面研磨方法来制造工件。10.一种工件的双面研磨装置，其具备：旋转平台，其具备能够旋转的上平台和下平台；太阳齿轮，其配置在所述旋转平台的中心部；内齿轮，其配置在所述旋转平台的外周部；载板，其构成为配置在所述下平台上，能够载置工件，且在所述上平台和所述下平台之间通过所述太阳齿轮及所述内齿轮进行旋转；第1转矩检测器，其在双面研磨时检测所述太阳齿轮的转矩（ti）；第2转矩检测器，其在双面研磨时检测所述内齿轮的转矩（to）；计算处理部，其接收所检测到的转矩信息，并基于所述转矩信息，计算所述太阳齿轮的转矩（ti）及所述内齿轮的转矩（to）的转矩之和（ti to）的值及转矩之比（ti/to）的值；及条件设定部，其构成为设定所述工件的目标加工形状及研磨条件，且接收所述转矩之和（ti to）的值及所述转矩之比（ti/to）的值，所述工件的双面研磨装置的特征在于，所述条件设定部基于所述转矩之和（ti to）的值及所述转矩之比（ti/to）的值是否在控制范围内，来判定是否需要变更所述研磨条件。11.根据权利要求10所述的工件的双面研磨装置，其中，所述双面研磨装置还具备存储部和/或所述条件设定部具备能够接收所述关系的通信部，所述存储部预先存储所述转矩之和（ti to）及所述转矩之比（ti/to）相对于所述工件的目标加工形状的关系，在双面研磨开始之前，所述条件设定部从所述存储部取得所述关系，或者通过所述接收部从外部接收并取得所述关系，基于所取得的所述关系，设定所述转矩之和（ti to）及所述转矩之比（ti/to）的所述控制范围。12.根据权利要求11所述的工件的双面研磨装置，其中，所述条件设定部由gbir值和/或esfqr值决定所述工件的目标加工形状。13.根据权利要求12所述的工件的双面研磨装置，其中，通过所述计算处理部，将所述太阳齿轮的转矩（ti）的值及所述内齿轮的转矩（to）的值
分别变换为驱动所述太阳齿轮的电动机的动作输出及驱动所述内齿轮的电动机的动作输出相对于各自的额定输出的比值，在根据所述gbir值决定所述工件的目标加工形状时，所述条件设定部将所述转矩之和（ti to）的所述控制范围设定为30至35，且将所述转矩之比（ti/to）的所述控制范围设定为1.5至2.1，所述电动机的动作输出相对于所述额定输出的比值可通过如下式计算，（正在动作的所述电动机的输出的值/所述电动机的所述额定输出的值）
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100。14.根据权利要求12所述的工件的双面研磨装置，其中，通过所述计算处理部，将所述太阳齿轮的转矩（ti）的值及所述内齿轮的转矩（to）的值分别变换为驱动所述太阳齿轮的电动机的动作输出及驱动所述内齿轮的电动机的动作输出相对于各自的额定输出的比值，在根据所述esfqr值决定所述工件的目标加工形状时，所述条件设定部将所述转矩之和（ti to）的所述控制范围设定为25至30，且将所述转矩之比（ti/to）的所述控制范围设定为1.4至1.9，所述电动机的动作输出相对于所述额定输出的比值可通过如下式计算，（正在动作的所述电动机的输出的值/所述电动机的所述额定输出的值）
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100。15.根据权利要求12所述的工件的双面研磨装置，其中，所述条件设定部还具备：机器学习装置，通过机器学习的方式，使所述条件设定部基于所述转矩之和（ti to）及所述转矩之比（ti/to）而自动地设定研磨条件，以满足所希望的gbir值和/或esfqr值。16.根据权利要求10至15中任一项所述的工件的双面研磨装置，其还具备：第1电动机，其与所述太阳齿轮连接；及第2电动机，其与所述内齿轮连接，所述第1转矩检测器检测所述第1电动机的旋转所述太阳齿轮的转矩，以作为所述太阳齿轮的转矩（ti），所述第2转矩检测器检测所述第2电动机的旋转所述内齿轮的转矩，以作为所述内齿轮的转矩（to）。17.根据权利要求10至15中任一项所述的工件的双面研磨装置，其还具备：下平台电动机，其与所述下平台连接，所述条件设定部构成为经由所述下平台电动机控制所述下平台的转速，所述旋转平台沿上下方向对所述工件施加加工载荷，所述条件设定部构成为控制所述加工载荷，所述条件设定部通过变更所述下平台的转速或所述加工载荷来变更所述研磨条件。

技术总结
在本发明中，将太阳齿轮的转矩及内齿轮的转矩的转矩之和及转矩之比控制在预定的范围内。内。内。


技术研发人员：高石和成 蔡锦福
受保护的技术使用者：胜高股份有限公司
技术研发日：2021.02.05
技术公布日：2023/1/31