电感器部件的制作方法

电感器部件
1.本技术是申请号为202010782973.0、申请日为2020年8月6日、发明名称为“电感器部件”的申请的分案申请。
技术领域
2.本发明涉及电感器部件。


背景技术：

3.以往，作为电感器部件，有在日本特开2011-14940号公报(专利文献1)中记载的结构。该电感器部件具备：具有第一端面和位于上述第一端面的相反侧的第二端面的坯体、以及设置于上述第一端面和上述第二端面的外部电极。坯体还具有：与上述第一端面和上述第二端面垂直地配置的第一侧面(第一面)和位于上述第一侧面的相反侧的第二侧面(第二面)；以及与上述第一端面和上述第二端面以及上述第一侧面和上述第二侧面垂直地配置的第三侧面和位于上述第三侧面的相反侧的第四侧面。方向性识别层被设置在第一侧面和第二侧面的整个面上。方向性识别层的颜色与第三侧面和第四侧面的颜色不同。在该电感器部件中，根据颜色的差异来外观识别电感器部件的安装方向。
4.专利文献1：日本特开2011-14940号公报
5.然而，可知上述电感器部件存在如下的问题。
6.方向性识别层被设置在第一侧面和第二侧面的整个面上，第一侧面、第二侧面未露出到电感器部件的外部。因此，例如在使用电感器部件的过程中在坯体的内部产生的热量被位于坯体与电感器部件的外部之间的方向性识别层所阻碍，存在热量难以高效地放出到电感器部件的外部这样的问题。
7.另外，为了相互辨别被设置于第一侧面和第二侧面的方向性识别层，而通过改变添加剂的添加量而设置方向性识别层的明亮度的差。为了设置明亮度的差，必须以不同的组成的材料形成两个方向性识别层，花费工夫。
8.这样，电感器部件很难使散热性优越，并且很难容易地提高方向识别性。


技术实现要素：

9.因此，本发明的目的在于提供电感器部件，其具有优越的散热性且容易提高方向识别性。
10.为了解决上述课题，本发明的一个方式的电感器部件具备：坯体，具有第一面和位于上述第一面的相反侧的第二面；第一方向性识别层，设置于上述第一面；以及第二方向性识别层，设置于上述第二面，上述第一方向性识别层具有在上述第一方向性识别层的厚度方向上贯通的第一开口部，上述第二方向性识别层具有在上述第二方向性识别层的厚度方向上贯通的第二开口部，上述坯体具有在上述第一面上述坯体的一部分在上述第一开口部露出的第一露出部、以及在上述第二面上述坯体的一部分在上述第二开口部露出的第二露出部，上述第一露出部的在上述第一方向性识别层的厚度方向上突出的第一突出量小于上
述第二露出部的在第二方向性识别层的厚度方向上突出的第二突出量。
11.在本说明书中，第一突出量包括0和负。
12.根据上述方式，坯体具有：在第一面在第一开口部露出的第一露出部、以及在第二面在第二开口部露出的第二露出部。这样，坯体的一部分经由第一开口部和第二开口部而露出到外部，因此在例如使用电感器部件时在其内部产生的热量能够高效地放出到外部。由此，电感器部件在散热性上优越。
13.另外，第一露出部的在第一方向性识别层的厚度方向上突出的第一突出量小于第二露出部的在第二方向性识别层的厚度方向上突出的第二突出量。这样，坯体具有突出量不同的第一露出部和第二露出部，因此能够容易且可靠地对两个方向性识别层进行外观识别。由此，能够形成即使是例如相同的组成的材料也能够相互进行外观识别的两个方向性识别层。由此，电感器部件能够容易地提高方向识别性。
14.根据以上，电感器部件具有优越的散热性，并且能够容易地提高方向识别性。
15.根据本发明的一个方式的电感器部件，具有优越的散热性，并且能够容易地提高方向识别性。
附图说明
16.图1是示出本发明的电感器部件的第一实施方式的透视立体图。
17.图2是电感器部件的剖视图。
18.图3是图2的a部放大图。
19.图4是示出本发明的电感器部件的第二实施方式的放大剖视图。
20.图5是示出本发明的电感器部件的第三实施方式的放大剖视图。
21.附图标记的说明
22.1、1a、1b
…
电感器部件；10
…
坯体；12
…
坯体的第一面；13
…
坯体的第二面；14、14a
…
第一露出部；15
…
第二露出部；16、16a
…
第一露出部的露出面；17
…
第二露出部的露出面；20
…
线圈；30
…
第一外部电极；40
…
第二外部电极；50
…
第一方向性识别层；51、51b
…
第一开口部；52
…
第一方向性识别层的第三面；53
…
第一方向性识别层的第四面；60
…
第二方向性识别层；61
…
第二开口部；62
…
第二方向性识别层的第五面；63
…
第二方向性识别层的第六面；h1
…
第一突出量；h2
…
第二突出量。
具体实施方式
23.以下，通过图示的实施方式，对本发明的一个方式的电感器部件进行详细的说明。此外，附图包含局部示意的结构，有时不反映实际的尺寸、比率。
24.(第一实施方式)
25.图1是示出电感器部件的第一实施方式的立体图。如图1所示，电感器部件1具备：坯体10；第一方向性识别层50，具有使坯体10的一部分露出的第一开口部51；以及第二方向性识别层60，具有使坯体10的一部分露出的第二开口部61。电感器部件1还具有：设置在坯体10的内部的螺旋状的线圈20、以及设置于坯体10且与线圈20电连接的第一外部电极30和第二外部电极40。
26.电感器部件1(第一外部电极30、第二外部电极40)例如经由未图示的焊锡而与未
图示的电路基板的布线电连接。电感器部件1例如被用作高频电路的阻抗整合用线圈(匹配线圈)，且被用于个人计算机、dvd播放器、数码相机、tv、移动电话、汽车电子、医疗用/工业用机械等电子设备。但是，电感器部件1的用途并不限于此，例如也可以用于调谐电路、滤波电路或整流平滑电路等。
27.电感器部件1的外表面由第一侧面3、位于第一侧面3的相反侧的第二侧面4、连接在第一侧面3与第二侧面4之间的第一端面5、位于第一端面5的相反侧的第二端面6、连接在第一端面5与第二端面6之间的底面7、以及位于底面7的相反侧的顶面8构成。此外，像图示那样，x方向是连结第一端面5和第二端面6的方向。y方向是连结第一侧面3和第二侧面4的方向。y方向是与第一方向性识别层50的厚度方向以及第二方向性识别层60的厚度方向相同的方向。z方向是连结底面7和顶面8的方向。x方向、y方向、z方向相互正交。此外，在坯体10中，例如x方向为0.4mm，y方向为0.2mm，z方向为0.2mm。
28.坯体10形成为大致长方体状。坯体10具有第一面12、位于第一面12的相反侧的第二面13。坯体10例如是烧结体或者树脂体。例如，后述的绝缘层中母材为无机材料，在通过烧结而制成坯体10的情况下，坯体10为烧结体。若坯体10为烧结体，则烧结前的坯体10表面的一部分在露出于大气的状态下被烧结，得到坯体10。因此，在烧结时产生的气体(更具体而言，在烧结前的坯体10中包含的有机物、其分解生成物及其氧化生成物等)容易放出，脱脂性得以提高。并且，烧结时的散热性优越。
29.另外，例如，在后述的绝缘层中母材为树脂的情况下，坯体10为树脂体。在该情况下，散热性得以提高，在实际使用上阻碍搭载了电感器部件的制品的温度上升，防止制品的劣化。
30.第一外部电极30和第二外部电极40例如由ag、cu、au等导电性材料和玻璃粒子构成。第一外部电极30是遍及第一端面5和底面7设置的l字形状。第二外部电极40是遍及第二端面6和底面7而设置的l字形状。第一外部电极30由相互面接触地层叠的多层的外部电极导体层构成。第二外部电极40由相互面接触地层叠的多层的外部电极导体层构成。
31.线圈20例如由与第一外部电极30、第二外部电极40相同的导电性材料和玻璃粒子构成。线圈20沿着y方向卷绕成螺旋状。即，线圈20具有沿着第一方向性识别层50的厚度方向的卷绕轴(中心轴)。线圈20的第一端经由引出电极22与第一外部电极30连接，线圈20的第二端经由引出电极22与第二外部电极40连接。此外，在本实施方式中，虽然线圈20、引出电极22、第一外部电极30、第二外部电极40被一体化，不存在明确的边界，但不限于此，也可以是线圈与外部电极通过不同种类材料或不同种类方法形成，由此存在边界。另外，第一外部电极30、第二外部电极40、引出电极22和线圈20也可以不包含玻璃粒子。引出电极22也可以由相互面接触地层叠的多层的引出电极导体层构成。
32.线圈20在从轴向观察时形成为大致长圆形，但不限于该形状。线圈20的形状例如也可以是圆形、椭圆形、长方形、其他的多边形等。线圈20的轴向是指与卷绕有线圈20的螺旋的中心轴平行的方向。在本说明书中，“平行”不限于精确的平行关系，考虑到现实的偏差的范围，还包含实质的平行关系。
33.线圈20包括沿着平面卷绕的线圈布线21。多个线圈布线21沿着轴向被层叠。在层叠方向上相邻的线圈布线21经由通孔布线26而串联地电连接。这样，多个线圈布线21相互串联地电连接，并且构成螺旋。具体而言，线圈20相互串联地电连接，具有将卷绕数小于一
周的多个线圈布线21层叠而成的结构，线圈20为螺旋形状。线圈布线21由一层线圈导体层构成。此外，线圈布线21也可以由相互面接触地层叠的多层线圈导体层构成，能够形成纵横比较高且矩形度较高的线圈布线21。另外，线圈布线21也可以是一周以上的螺旋形状。
34.第一方向性识别层50被设置于坯体10的第一面12。第一方向性识别层50具有在第一方向性识别层50的厚度方向上贯通的第一开口部51。第二方向性识别层60被设置于坯体10的第二面13。第二方向性识别层60具有在第二方向性识别层60的厚度方向上贯通的第二开口部61。这样，坯体10经由第一开口部51和第二开口部61而露出到外部，因此在电感器部件1例如使用时在电感器部件1内部产生的热量能够高效地放出到外部。由此，电感器部件1在散热性上优越。
35.在从y方向观察电感器部件1时，第一开口部51的形状为四边形。第二开口部61的形状也为与第一开口部51的形状相同的四边形。
36.此外，第一开口部51、第二开口部61的形状例如也可以是四边形以外的形状。这样的形状例如是四边形以外的多边形(更具体而言，三边形、五边形等)、圆形和椭圆形。
37.第一开口部51、第二开口部61也可以由一个以上的同种形状构成。另外，第一开口部51、第二开口部61也可以由两个以上的不同种类的形状构成。第一开口部51、第二开口部61例如也可以由两个以上的四边形构成。另外，第一开口部51、第二开口部61也可以是将多边形(更具体而言，三边形、四边形和五边形等)以及圆和椭圆中的两种以上的形状组合而构成的。
38.这些形状能够改变配置。另外，第二开口部61的形状、配置等与第一开口部51相同，但也可以与第一开口部51不同。
39.另外，关于第一开口部51，在从y方向观察电感器部件1时，不仅包括第一开口部51不与第一方向性识别层50的外缘相连的情况，而且还包括第一开口部51与第一方向性识别层50的外缘相连的情况。
40.第二开口部61与第一开口部51同样，在从y方向观察电感器部件1时，不仅包括第二开口部61不与第二方向性识别层60的外缘相连的情况，而且还包括第二开口部61与第二方向性识别层60的外缘相连的情况。
41.关于与上述方向性识别层的外缘相连的情况下的形状，例如不与上述方向性识别层的外缘相连的情况下的形状(更具体而言，多边形、圆形和椭圆形等)为与第一方向性识别层50、第二方向性识别层60的外缘的一部分接触的形状或者重叠的形状。更具体而言，采用第一开口部51在长度方向的两个方向(x方向)上延伸而第一开口部51的两外缘与在x方向上延伸的第一方向性识别层50的外缘重叠的形状。即，采用通过长方形的第一开口部51将第一方向性识别层50分割为两个的形状(槽型的形状)。另外，采用第一开口部51在长度方向(x方向)的一个方向上延伸而第一开口部51的一个外缘与在x方向上延伸的第一方向性识别层50的外缘重叠的形状。即，采用第一方向性识别层50由于长方形的第一开口部51而成为
“コ”
型的形状。
42.图2是电感器部件1的yz剖视图。图3是图2的a部放大图。如图2和图3所示，坯体10具有第一面12、以及位于第一面12的相反侧的第二面。坯体10包括多个绝缘层11。多个绝缘层11在y方向上层叠。此外，由于烧制等，有时坯体10的相邻的两个绝缘层的界面变得不明确。
43.线圈布线21在与轴向正交的绝缘层11的主面(xz平面)上卷绕而形成。线圈20的轴向与绝缘层11的层叠方向为相同方向。
44.绝缘层11是在与y方向的层叠方向正交的xz平面上展开的层状。绝缘层11包含非晶质的绝缘层中母材、绝缘层中结晶。绝缘层中结晶为具有绝缘性的填料，优选为石英(结晶石英)。石英的结晶化度没有特别限定。由此，能够减小绝缘层中结晶的折射率。绝缘层中母材是具有绝缘性的固体。绝缘层中母材例如是玻璃这样的无机材料，优选为以b、si、o、k为主成分的硼珪酸玻璃等非晶质玻璃。在该情况下，坯体10为烧结体。由此，能够得到具有充分的机械强度和绝缘可靠性的绝缘层。此外，作为玻璃，除了硼珪酸玻璃以外，例如也可以为包含sio2、b2o3、k2o、li2o、cao、zno、bi2o3、和/或al2o3等的玻璃、例如为sio
2-b2o
3-k2o系玻璃、sio
2-b2o
3-li2o-cao系玻璃、sio
2-b2o
3-li2o-cao-zno系玻璃、或者bi2o
3-b2o
3-sio
2-al2o3系玻璃。这些玻璃成分也可以是组合2种以上而成的。另外，绝缘层中母材可以不是玻璃，也可以是铁氧体等陶瓷材料这样的其他无机材料，也可以是树脂等有机材料，在该情况下也优选为非晶质。在绝缘层中母材为树脂的情况下，坯体10为树脂体。树脂例如是环氧树脂和氟树脂。并且，也可以是将上述无机材料与有机材料组合而成的。此外，绝缘层11也可以是不包含绝缘层中结晶的结构。在它们中也优选介电常数和介电损耗较低的材料。另外，在绝缘层中母材包含绝缘材料的情况下，第一露出部14和第二露出部15中的至少一方能够包含绝缘材料。
45.绝缘层11还可以包含金属材料。在绝缘层11包含金属材料的情况下，第一露出部14和第二露出部15中的至少一方能够包含金属材料。金属材料优选为具有磁性的金属材料。若坯体10包含具有磁性的金属材料，则电感器部件1的磁性得以提高。
46.第一方向性识别层50被设置于坯体10的第一面12。第一方向性识别层50具有与坯体10的第一面12对置的第三面52、在第一方向性识别层50中位于第三面52的相反侧的第四面53。另外，第二方向性识别层60被设置于坯体10的第二面13。第二方向性识别层60具有与坯体10的第二面13对置的第五面62、在第二方向性识别层60中位于第五面62的相反侧的第六面63。
47.具体而言，第一方向性识别层50、第二方向性识别层60被层叠在绝缘层11的层叠方向的外侧。第一方向性识别层50、第二方向性识别层60作为电感器部件1的最外层，在绝缘层11的层叠方向上被设置。第一方向性识别层50、第二方向性识别层60是在与y方向的层叠方向正交的xz平面上展开的层状。第一方向性识别层50、第二方向性识别层60与绝缘层11相比，具有外观上的识别性，能够实现电感器部件1的良好的方向排列性。
48.第一方向性识别层50、第二方向性识别层60包含非晶质的方向性识别层中母材、方向性识别层中结晶。方向性识别层中母材与绝缘层中母材相同，优选为以b、si、o、k为主成分的硼珪酸玻璃等非晶质玻璃。方向性识别层中结晶包含至少1种以上的结晶性的颜料。通过像这样添加颜料，能够使第一方向性识别层50、第二方向性识别层60着色，能够使第一方向性识别层50、第二方向性识别层60具有可视性(识别性)。颜料优选为包含ti、co、al和zr中的至少1种元素的氧化物，例如为coal2o2(钴蓝)、tio2(二氧化钛)。由此，能够得到具有良好的视觉确认性的第一方向性识别层50、第二方向性识别层60。
49.第一开口部51与第二开口部61能够关于坯体10相互位于相反侧。具体而言，在从y方向俯视时第一开口部51与第二开口部61至少重叠，优选完全重叠。若在从y方向俯视时第
一开口部51与第二开口部61完全地重叠，则外部空气能够经由第一开口部51、第二开口部61而贯通电感器部件1地通过。由此，电感器部件1的y方向上的脱脂性进一步提高。在从y方向俯视时第一开口部51与第二开口部61完全地重叠的情况下，能够成为使第一方向性识别层50、第二方向性识别层60相同的结构。
50.在从第一方向性识别层50的厚度方向俯视时，第一开口部51与第二开口部61被配置在与卷绕轴重叠的位置。即，第一开口部51和第二开口部61存在于线圈20的卷绕轴上。在该情况下，由于线圈的磁通通过第一开口部51和第二开口部61，因此磁通不通过第一方向性识别层50和第二方向性识别层60。由此，不论第一方向性识别层50和第二方向性识别层60的材质如何，磁通都不会被遮断，抑制电感器部件1的q值的降低。
51.坯体10具有：在第一面12中坯体10在第一开口部51露出的第一露出部14、以及在第二面13中坯体10在第二开口部61露出的第二露出部15。第一露出部14在第一方向性识别层50的厚度方向上突出的第一突出量h1比第二露出部15在第二方向性识别层60的厚度方向上突出的第二突出量h2小。
52.在本说明书中，“第一突出量”h1是指第一露出部14从第一面12沿垂直方向的最大高度。第一突出量h1以第一面12为基准(零：图3中的第一露出部14的与z方向平行的虚线)，从第一面12向第一开口部51侧为正，从第一面12向第二方向性识别层60侧为负。在图3中，第一露出部14的形状为在上侧(y方向的箭头的方向)具有顶峰(顶点)的形状。第一突出量h1为从第一面12到第一露出部14的顶峰为止。第一突出量h1例如能够通过在后述的电感器部件1的制造方法中从y方向对层叠体施加力的方法来调整。另外，例如能够通过在后述的烧制处理中将烧掉的原材料(更具体而言，氧化铝和树脂等)埋入第一开口部51来调整第一突出量h1。
53.此外，第一突出量h1能够取0以下的值。关于第一突出量h1、第二突出量h2，使用激光显微镜(keyence社制“vk-x系列”、倍率20倍)，测定第一露出面、第二露出面来计算。
54.在本说明书中，在第一面12中在第一开口部51露出的第一露出部14是指在从y方向俯视电感器部件1的第一方向性识别层50侧时能够经由第一面12的第一开口部51而进行视觉确认的部分。因此，如上述那样，第一露出部14也可以具有从基准向上侧(y方向的箭头的方向)具有顶峰(顶点)的形状。在该情况下，第一突出量h1取大于0的值。另外，第一露出部14也可以具有从基准向下侧(与y方向的箭头相反的方向)具有顶峰(顶点)的形状。在该情况下，第一突出量h1取小于0的值。另外，第一露出部14包括第一露出部14的露出面16。
55.在本说明书中，“第二突出量”h2是指第二露出部15从第二面13沿垂直方向的最大高度。第二突出量h2以第二面13为基准(零：图3中的第二露出部15的与z方向平行的虚线)，从第二面13向第二开口部61侧为正，从第二面13向第一方向性识别层50侧为负。在图3中，第二露出部15的形状为四边形。第二露出部15的露出面17与第二方向性识别层60的第六面63为同一面。即，第二突出量h2与第二方向性识别层60的厚度相同，电感器部件1的第二侧面4没有高低差(同一面)。作为同一面的方法，例如能够通过在后述的电感器部件的制造方法中，从第二方向性识别层60到第一方向性识别层50进行层叠地形成而实现。例如能够通过将在后述的烧制处理中烧掉的原材料(更具体而言，氧化铝和树脂等)埋入第二开口部61来调整第二突出量h2。
56.此外，第二突出量h2能够取大于0的值。并且，在本说明书中同一面不限于精确的
同一面，考虑到现实的偏差的范围，还包括实质的同一面。
57.在本说明书中，在第二面13中在第二开口部61露出的第二露出部15是指在从y方向俯视电感器部件1的第二方向性识别层60侧时能够经由第二面13的第二开口部61而进行视觉确认的部分。因此，如上述那样，第二露出部15也可以具有从基准向上侧(y方向的箭头的方向)为凸状的形状。在该情况下，第二突出量h2取大于0的值。另外，第二露出部15也可以具有从基准向下侧(与y方向的箭头相反的方向)为凸状的形状。在该情况下，第二突出量h2取小于0的值。另外，第二露出部15包括第二露出部15的露出面17。
58.若第一突出量h1小于第二突出量h2，则坯体10具有突出量不同的第一露出部14、第二露出部15。因此，能够容易且可靠地对第一方向性识别层50、第二方向性识别层60进行外观识别。由此，能够形成即使是相同的组成的材料也能够相互进行外观识别的第一方向性识别层50、第二方向性识别层60。由此，电感器部件1能够容易地提高方向识别性。由此，能够在适当的方向上可靠地安装电感器部件，能够取得所希望的电感。
59.(电感器部件的制造方法)
60.接下来，对电感器部件1的制造方法的一例进行说明。
61.首先，准备包含颜料且以硼珪酸玻璃的粉末为主成分的方向性识别层糊剂。颜料是包含ti、co、al和zr中的至少1种元素的氧化物，例如是coal2o2(钴蓝)、tio2(二氧化钛)等。并且，准备作为填料包含石英等结晶且以硼珪酸玻璃的粉末为主成分的绝缘糊剂、以及以ag为金属主成分的导电糊剂。方向性识别层糊剂和绝缘糊剂在后述的烧制后分别成为第一方向性识别层50、第二方向性识别层60、以及绝缘层11。另外，此时，绝缘层11包含作为非晶质的硼珪酸玻璃的绝缘层中母材、作为填料的绝缘层中结晶。第一方向性识别层50、第二方向性识别层60包含作为非晶质的硼珪酸玻璃的方向性识别层中母材、作为颜料的方向性识别层中结晶。导电糊剂成为导电糊剂层。导电糊剂层根据涂覆的位置而成为线圈布线导体糊剂层、通孔布线导体糊剂层和外部电极导体糊剂层。它们通过后述的烧制而分别成为线圈导体层、通孔布线导体层和外部电极导体层。导电糊剂也可以取代作为金属主成分的ag而包含cu、au。此外，在本制造方法中，由于使用光刻法，因此方向性识别层糊剂、绝缘糊剂和导电糊剂具有感光性。在光刻法中，经由光掩模进行涂覆，对所形成的糊剂层(绝缘糊剂层、方向性识别糊剂层、导电糊剂层)照射紫外线等而进行曝光，通过碱溶液等而进行显影。另外，如上述那样，第一方向性识别层与第二方向性识别层能够按照第一露出部14的第一突出量h1和第二露出部15的第二突出量h2的差异来识别，因此不需要准备颜料浓度不同的两种方向性识别层糊剂。因此，能够削减成本和工序数。
62.接下来，通过丝网印刷而在载体膜上涂覆必要量的方向性识别层糊剂，形成最下层。该最下层是作为第二方向性识别层60的部分(第二方向性识别糊剂层)。通过基于光刻法的图案化工序，而在最下层形成第二开口部61。
63.接下来，通过丝网印刷而在最下层涂覆必要量的绝缘糊剂，形成作为绝缘层11的部分(绝缘糊剂层)。此时，绝缘糊剂进入第二开口部61并进行填充。该绝缘糊剂层是位于线圈布线21的外侧的成为外层用绝缘层的部分。
64.接下来，通过丝网印刷而在所涂覆的绝缘糊剂上涂覆必要量的导电糊剂，通过基于光刻法的图案化工序，而形成作为线圈导体层的线圈布线导体糊剂层、作为外部电极导体层的外部电极导体糊剂层、作为引出电极导体层的引出电极导体糊剂层。此时，线圈布线
导体糊剂层的外周缘与绝缘糊剂层的外缘(在之后的切割工序中形成的外缘)之间的最短距离比外部电极导体糊剂层的宽度小。
65.接下来，通过丝网印刷而在对导电糊剂进行涂覆、图案化的绝缘糊剂层上涂覆必要量的绝缘糊剂。并且，通过基于光刻法的图案化工序，而在绝缘糊剂层上设置开口和通孔。
66.接下来，通过丝网印刷而在设置有开口和通孔的绝缘糊剂层上涂覆必要量的导电糊剂。此时，通过在开口和通孔中填充导电糊剂，从而形成通孔布线导体糊剂层和外部电极导体糊剂层。另外，与上述同样，通过基于光刻法的图案化工序，从而形成线圈布线导体糊剂层、引出电极导体糊剂层和外部电极导体糊剂层。
67.通过重复上述工序，从而分别进一步形成绝缘糊剂层、线圈布线导体糊剂层、通孔布线导体糊剂层、引出电极导体糊剂层和外部电极导体糊剂层。
68.接下来，重复通过丝网印刷而依次涂覆必要量的绝缘糊剂、方向性识别层糊剂的步骤，形成上层侧的绝缘糊剂层和作为最上层的第一方向性识别糊剂层。通过基于光刻法的图案化工序，从而在最上层形成第一开口部51。在图案化工序中，通过调整曝光条件(更具体而言，曝光量等)和显影条件(更具体而言，显影时间和显影液的种类等)，从而能够控制相当于第一露出部14的部分的形状。上层侧的绝缘糊剂层是位于线圈布线导体糊剂层的外侧的外层用绝缘糊剂层。在形成第一开口部51之后，从第一方向性识别糊剂层朝向第二方向性识别糊剂层(沿着负y方向)对层叠体施加力。由此，相当于第一露出部14的部分的形状为在上侧(正y方向)具有顶峰(顶点)的形状。
69.经过以上的工序，得到母层叠体。此外，母层叠体形成为，作为电感器部件1的部分以矩阵状排列成多个。接下来，通过切断等而将母层叠体切割成多个未烧制的层叠体。在母层叠体的切割工序中，在通过切割而形成的切割面中使外部电极导体层在层叠体露出。
70.接下来，按照未烧制的层叠体的规定的条件进行烧制，得到形成有第一方向性识别层50、第二方向性识别层60、绝缘层11、线圈布线21、通孔布线26、引出电极22和第一外部电极30、第二外部电极40的坯体10。由于所得到的坯体10为烧结体，因此烧结前的坯体10表面的一部分在大气露出的状态下进行烧结。因此，在烧结时产生的气体(更具体而言，烧结前的坯体10中包含的有机物、其分解生成物及其氧化生成物等)容易放出，脱脂性得以提高。并且，在烧结时的散热性上优越。
71.进一步对坯体10实施滚筒加工，然后通过滚筒电镀而在第一外部电极30、第二外部电极40在坯体10露出的部分形成具有2μm～10μm的厚度的ni电镀和具有2μm～10μm的厚度的sn电镀。经过以上的工序，得到尺寸为0.4mm
×
0.2mm
×
0.2mm的电感器部件1。
72.此外，例如，若通过上述的制造方法来制造电感器部件1，则第二露出部15的露出面17与第二方向性识别层60的第六面63成为同一面。其理由如下。烧结前的作为第二方向性识别层60的部分被配置在载体膜上，且具有第二开口部61。在该状态下，在第二方向性识别层60上多次涂覆绝缘糊剂。由于第二开口部61的底面被载体膜封闭并且由于多个绝缘糊剂的重量，绝缘糊剂进入第二开口部61，第二开口部61被绝缘糊剂填充。若在该状态下进行烧制，则第二露出部15的露出面17与第二方向性识别层60的第六面63成为同一面。
73.另外，方向性识别糊剂层、绝缘糊剂层和导电糊剂层的形成不限于基于上述的丝网印刷和光刻法的图案化，例如也可以是重复进行基于具有开口部的丝网版的印刷和基于
激光或钻孔加工的开口的印刷层叠法，也可以是对每个层进行该印刷和开口而形成多个片材之后对该片材进行压接的片材层叠方法。另外，关于线圈布线21、引出电极22、通孔布线26和第一外部电极30、第二外部电极40，也可以是不使用导体糊剂，而通过蚀刻对通过溅射法、蒸镀法、箔的压接等而形成的导体膜(更具体而言，包含ag、cu或者au的导体膜)图案化而形成的方法，也可以是像半添加法那样在导体的种子层上用抗蚀剂形成负图案，通过电镀而进一步在抗蚀层的开口部形成导体之后，除去抗蚀层和种子层的不必要部分的方法。并且，通过多阶段地形成作为线圈布线21的部分而实现高纵横化，从而能够降低由于高频下的电阻而导致的损耗。更具体而言，也可以是重复进行基于上述光刻法的导电糊剂层的形成、图案化的工序，也可以是将利用半添加法形成的导体膜重复重叠的图案，也可以是通过电镀生长而形成层叠的一部分的工序。
74.另外，各材料不限于上述例示的材料，能够使用公知的材料。特别是，第一方向性识别层50、第二方向性识别层60、绝缘层11也可以使用磁性材料。
75.另外，绝缘材料不限于上述那样的玻璃，也可以是铁氧体等陶瓷材料。另外，绝缘材料使用环氧树脂、氟树脂这样的有机材料，能够制成由树脂体构成的坯体。并且，绝缘材料也可以是玻璃环氧树脂这样的复合材料。在它们中，也优选介电常数、介电损耗更小的材料。
76.另外，电感器部件1的尺寸不限于0.4mm
×
0.2mm
×
0.2mm，例如也可以是0.6mm
×
0.3mm
×
0.3mm或0.2mm
×
0.1mm
×
0.1mm。并且，y方向和z方向的长度可以不相等，例如也可以是0.4mm
×
0.2mm
×
0.3mm等。
77.另外，关于第一外部电极30、第二外部电极40的形成方法，不限于通过切割使埋入到坯体10内的第一外部电极30、第二外部电极40露出而实施电镀加工的方法，也可以是在坯体10内不埋入第一外部电极30、第二外部电极40而在切割后通过导电糊剂的浸渍或溅射法等形成第一外部电极30、第二外部电极40，并在其上实施电镀加工的方法。
78.(第二实施方式)
79.图4是示出电感器部件的第二实施方式的放大剖视图。图4示出图3所示的第一实施方式的变形例。第二实施方式在如下的方面与第一实施方式不同：第一露出部14a的露出面16a与第一方向性识别层50的第三面52为同一面。以下对该不同的结构进行说明。此外，在第二实施方式中，与第一实施方式相同的附图标记为与第一实施方式相同的结构，因此省略其说明。
80.(结构)
81.如图4所示，在第二实施方式的电感器部件1a中，第一露出部14a的露出面16a与第一方向性识别层50的第三面52为同一面，第二露出部15的露出面17与第二方向性识别层60的第六面63为同一面。第一突出量h1为0。
82.第一露出部14a的露出面16a和与第一面12接触的第一方向性识别层50的面为同一面。具体而言，第一露出部14a的露出面16a与第一方向性识别层50的第三面52为同一面。即，第一开口部51没有被坯体10填埋。由此，与方向性识别层不具有开口部的电感器部件相比，在电感器部件1a的第一方向性识别层50侧的面(第一侧面3)中，表面积增加相当于第一开口部51的侧面(内表面)的量。因此，在使用电感器部件1a时在其内部产生的热量能够高效地放出到电感器部件1a的外部。由此，电感器部件1a的散热性进一步得以提高。
83.另外，第二露出部15的露出面17与第二方向性识别层60的表面为同一面。具体而言，第二露出部15的露出面17与第二方向性识别层60的第六面63为同一面。即，第二开口部61被坯体10完全地填埋。与此相对，电感器部件1a的第一方向性识别层50侧的面(第一侧面3)如上述那样形成未被坯体10填埋的第一开口部51。这样，第一露出部14a和第二露出部15的形状相互较大不同，因此能够容易并且可靠地识别第一方向性识别层50和第二方向性识别层60。由此，电感器部件1a的方向识别性更容易提高。
84.(电感器部件的制造方法)
85.例如通过在上述的电感器部件1的制造方法中在第一开口部51形成后不实施施加力的处理，能够制造电感器部件1a。
86.另外，关于电感器部件1a的制造方法，例如在上述电感器部件1的制造方法中还包含外层用绝缘糊剂层固化工序。在外层用绝缘糊剂层固化工序中，在形成外层用绝缘糊剂层之后，在形成第一方向性识别糊剂层之前，对外层用绝缘糊剂层实施干燥处理或者预烧制处理，使外层用绝缘糊剂层在某种程度上固化。由此，即使在实施了干燥处理或者预烧制处理的外层用绝缘糊剂层上形成第一方向性识别糊剂层，相当于第一露出部14a的部分也由于第一方向性识别糊剂层的重量而不会成为在正y方向上具有顶峰的形状。由此，第一露出部14a的露出面16a与第一方向性识别层50的第三面52为同一面。
87.(第三实施方式)
88.图5是示出电感器部件的第三实施方式的放大剖视图。图5示出图3所示的第一实施方式的变形例。第三实施方式在第一开口部51b的剖面形状这方面与第二实施方式不同。以下对该不同的结构进行说明。此外，在第三实施方式中，与第一实施方式、第二实施方式相同的附图标记为与第一实施方式、第二实施方式相同的结构，因此省略其说明。
89.(结构)
90.如图5所示，在第三实施方式的电感器部件1b中，第一开口部51b的内表面倾斜，以便第一开口部51b的内径从第一方向性识别层50的第三面52朝向第四面53而变大。即，第一开口部51b具有锥形形状。
91.由于第一开口部51b的内表面倾斜以便第一开口部51b的内径从第三面52朝向第四面53而变大，因此电感器部件1b的第一方向性识别层50侧的面(第一侧面3)的表面积增加相当于内表面倾斜的量。因此，在电感器部件1b的内部产生的热量容易经由该内表面而放出到电感器部件1b的外部。
92.另外，第一开口部51b的内表面倾斜，以便第一开口部51b的内径从第三面52朝向第四面53而变大。即，第一开口部51b的外侧的开口较大。由此，从电感器部件1b的内部放出到第一开口部51b的热量容易放出到电感器部件1b的外部。
93.并且，由于第一开口部51b的内表面倾斜，以便第一开口部51b的内径从第三面52朝向第四面53而变大，因此从该内表面放出的热量不容易滞留在第一开口部51b内。
94.由此，在例如使用电感器部件1b时，在电感器部件1b的内部产生的热量能够高效地放出到电感器部件1b的外部。并且，在该情况下，若坯体10为烧结体，则烧结时的脱脂性和散热性得以提高。
95.另外，在第三实施方式的电感器部件1b中，第二开口部61b的内表面倾斜，以便第二开口部61的内径从第二方向性识别层60的第五面62朝向第六面63而变大。即，第二开口
部61b具有锥形形状。另外，第二突出量h2大于0。第二开口部61b被坯体10填充。
96.由于第二开口部61b的内表面倾斜，以便第二开口部61b的内径从第五面62朝向第六面63而变大，因此电感器部件1b的第二方向性识别层60的内表面(倾斜面)的面积增加相当于内表面倾斜的量。因此，第二方向性识别层60与坯体10之间的接触面积增加。由此，坯体10与第二方向性识别层60之间的紧贴性提高，抑制第二方向性识别层60从坯体10剥离。由此，在本实施方式中，方向识别性的降低被抑制。
97.另外，第二开口部61b具有锥形形状，因此通过锚定效果而抑制第二方向性识别层60从坯体10剥离。由此，在本实施方式中，方向性识别性的降低被抑制。
98.此外，第一开口部也可以是内表面倾斜，以便第一开口部的内径从第三面52朝向第四面53而变小。即，第一开口部也可以具有倒锥形形状。由于第一开口部具有倒锥形形状，因而电感器部件的第一侧面的表面积增加相当于内表面倾斜的量，所以在使用电感器部件时，在电感器部件的内部产生的热量能够更高效地放出到电感器部件的外部。
99.另外，第二开口部也可以是内表面倾斜，以便第二开口部的内径从第五面62朝向第六面63而变小。即，第二开口部也可以具有倒锥形形状。由于第二开口部具有倒锥形形状，因而锚定效果进一步提高，第二方向性识别层的剥离被抑制。
100.(电感器部件的制造方法)
101.在电感器部件1b的制造方法中，例如，在使用光刻法在第一方向性识别层50形成第一开口部51b的情况下，通过调整曝光量(曝光强度)，能够实现第一开口部51b的内表面倾斜的方式。并且，具有锥形形状的方式能够通过使用负型抗蚀剂而比较少地调整曝光量来实现。具有倒锥形形状的方式能够通过使用正型抗蚀剂而比较少地调整曝光量来实现。
102.此外，第一实施方式～第三实施方式的上述制造条件仅仅是一例，如果第一突出量h1比第二突出量h2小，则制造条件不被限定。
103.本发明不限于第一实施方式～第三实施方式，在不变更本发明的主旨的情况下能够在各种方式中实施。另外，第一实施方式～第三实施方式所示的结构是一例，没有特别地限定，在实质上不脱离本发明的效果的范围内能够进行各种变更。例如，在第一实施方式～第三实施方式中说明的事项能够适当地组合。例如，能够将在第一实施方式中说明的结构和在第三实施方式中说明的第一开口部51b的内表面具有倾斜的结构组合。