一种便于涂胶显影机检测的门板组件的制作方法

1.本实用新型涉及半导体晶片加工领域，尤其是一种便于涂胶显影机检测的门板组件。


背景技术：

2.随着科技的发展，半导体设备用于加工、测试或制造芯片，半导体设备内部的环境是恒温恒湿，测量温湿度计的导线需要进入至半导体设备的内部环境中，此时，导线经过半导体设备的门板的门缝中，并受到门板的挤压，由于门缝在高度方向会延伸，门缝的面积过大，导致半导体设备的内部环境的漏空面积较大，从而导致半导体设备的内部环境的测试精度较低。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的是提供一种便于涂胶显影机检测的门板组件，通过通孔用于与导线间隙连接，门板的通孔供导线管材，导线经过通过由内向外延伸，避免门缝面积的存在，降低半导体设备的内部环境的漏空面积，保证半导体设备的内部环境的测试精度，并且挡片贯穿螺柱，并沿螺柱的轴线圆周摆动，以遮盖或打开通孔，从而实现挡片对通孔的遮盖或打开，实现对通孔的状态切换，便于适应导线相对于通孔的使用状态。
4.本实用新型一种实施方式中，提供了一种便于涂胶显影机检测的门板组件，包括：门板组件实施于涂胶显影机的门板，门板开设有通孔和螺纹孔，通孔用于与导线间隙连接。螺纹孔在水平方向设置于通孔的一侧。
5.一个螺柱，螺柱可拆卸地连接于门板的外侧壁。螺柱处于通孔的正上方。
6.一个挡片，挡片贯穿螺柱，并沿螺柱的轴线圆周摆动，以遮盖或打开通孔。挡片呈水滴状，挡片具有圆弧部，圆弧部位于挡片的底部，圆弧部的面积大于通孔的面积。
7.在挡片相对于螺柱摆动时，挡片偏摆至通孔的一侧，定位孔连通螺纹孔，并经螺钉与螺纹孔固定连接，通孔处于打开状态。
8.在本实用新型中便于涂胶显影机检测的门板组件的另一种实施方式中，圆弧部设有一个定位孔，定位孔设置于通孔的一侧，并与通孔错位布置。
9.在本实用新型中便于涂胶显影机检测的门板组件的另一种实施方式中，螺柱包括：
10.一个螺纹部，螺纹部螺接于门板。
11.一个光轴部，光轴部设置于螺纹部的一侧，并承接挡片。
12.一个阻挡部，阻挡部设置于光轴部背向螺纹部的一侧。阻挡部的外径大于光轴部的外径，并抵接挡片的侧壁。
13.在本实用新型中便于涂胶显影机检测的门板组件的另一种实施方式中，阻挡部的外形为圆周或方形。
14.在本实用新型中便于涂胶显影机检测的门板组件的另一种实施方式中，挡片设有
一个悬挂孔。光轴部贯穿悬挂孔，并抵接悬挂孔的内壁。
15.在本实用新型中便于涂胶显影机检测的门板组件的另一种实施方式中，悬挂孔位于挡片的顶部。
16.在本实用新型中便于涂胶显影机检测的门板组件的另一种实施方式中，通孔的内壁设有一圈密封层。在导线贯穿通孔时，密封层贴合导线的外周壁，并与导线密封连接。
附图说明
17.以下附图仅对本实用新型做示意性说明和解释，并不限定本实用新型的范围。
18.图1为便于涂胶显影机检测的门板组件的一种示意性实施方式的示意图。
19.图2为便于涂胶显影机检测的门板组件一种示意性实施方式的另一示意图。
20.图3为便于涂胶显影机检测的门板组件一种示意性实施方式的内部示意图。
具体实施方式
21.为了对实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图说明本实用新型的具体实施方式，在各图中相同的标号表示结构相同或结构相似但功能相同的部件。
22.在本文中，“示意性”表示“充当实例、例子或说明”，不应将在本文中被描述为“示意性”的任何图示、实施方式解释为一种更优选的或更具优点的技术方案。
23.本实用新型的一种实施方式中，如图1至图3所示，提供了一种门板10组件，门板10组件包括一个门板10、一个螺柱20和一个挡片30。
24.门板10作为涂胶显影机的门板，用于打开或者关闭半导体设备的内部环境，在半导体设备的内部环境进行测试时，门板10关闭半导体设备的内部环境，并且不存在门缝。
25.门板10开设有通孔11，通孔11可以布置于门板10的中部，通孔11用于与导线间隙连接，此时，导线经过通孔11有内向外延伸，通过通孔11用于与导线间隙连接，门板10的通孔11供导线管材，导线经过通过由内向外延伸，避免门缝面积的存在，降低半导体设备的内部环境的漏空面积，保证半导体设备的内部环境的测试精度。
26.另外，通孔11的内壁设有一圈密封层。在导线贯穿通孔11时，密封层贴合导线的外周壁，并与导线密封连接，密封层可选的硅胶，通过密封层实现导线和通孔11的密封连接，尽可能地缩小了导线和通孔11之间的间隙，并且实现导向的定位，提高导线的使用稳定性和保护导线的外皮。
27.门板10设有一个螺纹孔12，螺纹孔12在水平方向设置于通孔11的一侧。
28.螺柱20可拆卸地连接于门板10的外侧壁。螺柱20处于通孔11的正上方，螺柱20的轴线和通孔11的轴线处于同一竖直线。
29.螺柱20包括一个螺纹部21、一个光轴部22和一个阻挡部23，螺纹部21和阻挡部23分别处于光轴部22的两端。
30.螺纹部21螺接于门板10，并与门板10可拆卸连接，光轴部22设置于螺纹部21的一侧，并承接挡片30，以保持挡片30的悬挂状态，并且挡片30贯穿螺柱20的光轴部22，并沿螺柱20的轴线圆周摆动，以遮盖或打开通孔11，从而实现挡片30对通孔11的遮盖或打开，实现对通孔11的状态切换，便于适应导线相对于通孔11的使用状态。
31.阻挡部23设置于光轴部22背向螺纹部21的一侧。阻挡部23的外径大于光轴部22的外径，并抵接挡片30的侧壁，通过阻挡部23抵接挡片30的侧壁避免挡片30向外脱离螺柱20，保证了挡片30的使用稳定性。阻挡部23的外形为圆周或方形。
32.挡片30呈水滴状，挡片30具有圆弧部31，圆弧部31位于挡片30的底部，圆弧部31的面积大于通孔11的面积，以便于圆弧部31完全遮盖通孔11，保证半导体设备的内部环境的密封性。
33.圆弧部31设有一个定位孔311，定位孔311设置于通孔11的一侧，并与通孔11错位布置。在挡片30相对于螺柱20摆动时，挡片30偏摆至通孔11的一侧，定位孔311连通螺纹孔12，并经螺钉与螺纹孔12固定连接，通孔11处于打开状态。
34.挡片30设有一个悬挂孔32。光轴部22贯穿悬挂孔32，并抵接悬挂孔32的内壁，从而保持挡片30的悬挂状态。悬挂孔32位于挡片30的顶部。
35.应当理解，虽然本说明书是按照各个方式描述的，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
36.上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本实用新型的可行性实施例的具体说明，它们并非用以限制本实用新型的保护范围，凡未脱离本实用新型技艺精神所作的等效实施方案或变更，如特征的组合、分割或重复，均应包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种便于涂胶显影机检测的门板组件，其特征在于，包括：所述门板组件实施于涂胶显影机的门板，所述门板开设有通孔和螺纹孔，所述通孔用于与导线间隙连接；所述螺纹孔在水平方向设置于所述通孔的一侧；一个螺柱，所述螺柱可拆卸地连接于所述门板的外侧壁；所述螺柱处于所述通孔的正上方；一个挡片，所述挡片贯穿所述螺柱，并沿所述螺柱的轴线圆周摆动，以遮盖或打开所述通孔；所述挡片呈水滴状，所述挡片具有圆弧部，所述圆弧部位于所述挡片的底部，所述圆弧部的面积大于所述通孔的面积；所述圆弧部设有一个定位孔，所述定位孔设置于所述通孔的一侧，并与所述通孔错位布置；在所述挡片相对于所述螺柱摆动时，所述挡片偏摆至所述通孔的一侧，所述定位孔连通所述螺纹孔，并经螺钉与所述螺纹孔固定连接，所述通孔处于打开状态。2.如权利要求1所述的便于涂胶显影机检测的门板组件，其中，所述螺柱包括：一个螺纹部，所述螺纹部螺接于所述门板；一个光轴部，所述光轴部设置于所述螺纹部的一侧，并承接所述挡片；一个阻挡部，所述阻挡部设置于所述光轴部背向所述螺纹部的一侧；所述阻挡部的外径大于所述光轴部的外径，并抵接所述挡片的侧壁。3.如权利要求2所述的便于涂胶显影机检测的门板组件，其中，所述阻挡部的外形为圆周或方形。4.如权利要求3所述的便于涂胶显影机检测的门板组件，其中，所述挡片设有一个悬挂孔；所述光轴部贯穿所述悬挂孔，并抵接所述悬挂孔的内壁。5.如权利要求4所述的便于涂胶显影机检测的门板组件，其中，所述悬挂孔位于所述挡片的顶部。6.如权利要求5所述的便于涂胶显影机检测的门板组件，其中，所述通孔的内壁设有一圈密封层；在所述导线贯穿所述通孔时，所述密封层贴合所述导线的外周壁，并与所述导线密封连接。

技术总结
本实用新型公开了一种便于涂胶显影机检测的门板组件，其包括一个门板、一个螺柱和一个挡片。门板开设有通孔和螺纹孔，通孔用于与导线间隙连接。螺纹孔在水平方向设置于通孔的一侧。螺柱可拆卸地连接于门板的外侧壁。螺柱处于通孔的正上方。挡片贯穿螺柱，并沿螺柱的轴线圆周摆动，以遮盖或打开通孔，挡片呈水滴状，挡片具有圆弧部，圆弧部位于挡片的底部，圆弧部的面积大于通孔的面积。在挡片相对于螺柱摆动时，挡片偏摆至通孔的一侧，定位孔连通螺纹孔，并经螺钉与螺纹孔固定连接，通孔处于打开状态，其中，通过通孔用于与导线间隙连接，门板的通孔供导线管材，导线经过通过由内向外延伸，避免门缝面积的存在，降低半导体设备的内部环境的漏空面积。部环境的漏空面积。部环境的漏空面积。


技术研发人员：徐越晨
受保护的技术使用者：广州粤芯半导体技术有限公司
技术研发日：2022.03.17
技术公布日：2023/2/6