一种自动测试系统及自动测试方法与流程

1.本发明涉及半导体制造领域，特别涉及一种自动测试系统及自动测试方法。


背景技术：

2.在半导体制造过程中，目前所需要使用需要通过人工来观察测试机台上报的信息（例如事件（event id）消息或者警报（alarm id）消息），并根据测试机台发出的消息人工观察当前是否可以发送测试指令给测试机台，在手动发送已经配置好的测试指令给测试机台后，观察测试机台是否按照预期执行测试指令。
3.由于测试机台在跑货的过程中，通常会持续上报很多事件（event id）消息或者警报（alarm id）消息，而现有的测试工具没有提供监控测试机台需要测试指令的事件（event id）消息和警报（alarm id）消息的功能，使得不能及时捕捉到可以发送测试指令的最佳时机。也就是说，人为观察测试机台发出的消息很容易错过发送测试指令的时机，且需要人为点击发送测试指令，无法准确且迅速地发送测试指令给测试机台，并且，在不当的时机发送测试指令给测试机台，不仅增加了因测试机台拒绝指令而测试失败的次数，还增加了测试时间成本，还会增加测试机台异常执行指令时出现的不可控风险。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于，提供一种自动测试系统及自动测试方法，可以实时监控测试机台上报的事件消息或者警报消息，并在事件消息或者警报消息需要测试指令时可以自动发送测试指令给测试机台，从而高效、准确、安全地向测试机台发送测试指令。
5.为了解决上述问题，本发明提供一种自动测试系统，包括测试装置和测试机台，所述测试装置和测试机台通信连接，所述测试机台用于向所述测试装置发送消息，以及接收并执行所述测试装置提供的测试指令，所述测试装置具有触发条件，所述测试装置用于在所述消息触发所述触发条件时根据所述消息自动配置相应的测试指令，并实时将所述测试指令发送给所述测试机台。
6.可选的，所述消息包括需要监控的事件消息、需要监控的警报消息、不需要监控的事件消息和不需要监控的警报消息。
7.进一步的，一个所述测试装置与一个所述测试机台通信连接。
8.进一步的，所述测试装置包括相互连接的接收端、消息配置部和发送端，所述接收端和发送端均与所述测试机台通信连接，所述接收端用于接收所述测试机台发出的所述消息，所述消息配置部设置有触发条件，所述消息配置部用于在所述消息触发所述触发条件时配置相应的测试指令，所述发送端实时将所述测试指令发送给所述测试机台。
9.进一步的，所述触发条件包括需要监控的事件和需要监控的警报消息。
10.另一方面，本发明提供一种自动测试方法，采用所述的自动测试系统，包括以下步骤：步骤s1：在测试装置中建立触发条件；
步骤s2：建立所述测试装置与若干个测试机台之间的通信连接，所有所述测试机台持续向所述测试装置发送消息；以及步骤s3：在所述消息触发所述触发条件时，所述测试装置根据所述消息自动配置相应的测试指令，并实时将所述测试指令发送给所述测试机台，所述测试机台接收并执行所述测试指令。
11.可选的，步骤s2包括：建立所述测试装置的接收端与所述测试机台之间的通信连接，以及所述测试装置的发送端与所述测试机台之间的通信连接；以及所述测试机台开始跑货，在所述测试机台的跑货过程中持续向所述测试装置的接收端上报和跑货相关的事件消息或警报消息。
12.可选的，步骤s3包括：所述测试装置的消息配置部根据所述触发条件自动监测识别所述消息；在所述消息触发所述触发条件触发时，所述消息配置部根据消息配置相应的测试指令，并通过所述发送端发送所述测试指令给所述测试机台；以及根据所述测试机台后续上报的消息监控所述测试机台是否按照预期执行所述测试指令。
13.可选的，所述触发条件包括需要监控的事件和需要监控的警报消息。
14.与现有技术相比，本发明提供一种自动测试系统及自动测试方法，自动测试系统包括测试装置和测试机台，所述测试装置和测试机台通信连接，所述测试机台用于向所述测试装置发送消息，以及接收并执行所述测试装置提供的测试指令，所述测试装置具有触发条件，所述测试装置用于在所述消息触发所述触发条件时根据所述消息自动配置相应的测试指令，并实时将所述测试指令发送给所述测试机台，具有实时监控测试机台上报的事件消息或者警报消息的功能，可以自动发送测试指令给测试机台，实现了高效、准确、安全的发送测试指令。
附图说明
15.图1为本发明一实施例提供的一种自动测试系统的结构示意图；图2为本发明一实施例提供的一种自动测试方法的流程示意图。
16.附图标记说明：10-测试装置；11-接收端；12-发送端；13-消息配置部；20-测试机台。
具体实施方式
17.以下将对本发明的一种自动测试系统及自动测试方法作进一步的详细描述。下面将参照附图对本发明进行更详细的描述，其中表示了本发明的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本发明而仍然实现本发明的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本发明的限制。
18.为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本发明由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的
限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。
19.为使本发明的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
20.图1为本实施例提供的一种自动测试系统的结构示意图。如图1所示，本实施例提供的一种自动测试系统，包括测试装置（auto test tool）10和测试机台（equipment）20，所述测试装置10和测试机台20通信连接，所述测试机台20用于向所述测试装置10发送消息，以及接收并执行所述测试装置10提供的测试指令。其中，所述消息包括需要监控的事件消息和需要监控的警报消息，所述消息还包括不需要监控的事件消息和不需要监控的警报消息。
21.所述测试装置10用于实时接收所述测试机台20发送的消息，并在需要测试指令的场景下根据所述消息配置相应的测试指令，并实时将所述测试指令发送给所述测试机台20。也就是说，当所述测试装置10接收到所述需要监控的事件消息或需要监控的警报消息时，所述测试装置10配置与所述消息相应的测试指令，并将其自动、实时地发送给所述测试机台20。
22.在本实施例中，所述测试装置10可以与至少一个所述测试机台20通信连接，也就是说，一个所述测试装置10可以与一个测试机台20通信连接，或者，一个所述测试装置10可以与至少两个所述测试机台20通信连接，以使得所述测试装置10可以同时接收多个测试机台20的消息并可以向多个测试机台20发送测试指令。优选的，一个所述测试装置10可以与一个测试机台20通信连接。
23.所述测试装置10包括相互连接的接收端11、消息配置部13和发送端12，所述接收端11和发送端12均与所述测试机台20通信连接，所述接收端11接收所述测试机台20发出的所述消息，所述消息配置部13设置有触发条件，所述触发条件包括需要监控的事件和需要监控的警报消息。在所述消息触发到所述触发条件（即所述消息为需要监控的事件或警报消息）时，所述消息配置部13用于根据需要监控的事件或警报消息自动配置相应的测试指令，并实时将所述测试指令发送给所述发送端12，所述发送端12用于向所述测试机台20发送测试指令。
24.图2为本实施例提供的一种自动测试方法的流程示意图。如图2所示，同时请参阅图1，本实施例还提供一种自动测试方法，包括以下步骤：步骤s1：在测试装置10中建立触发条件；步骤s2：建立所述测试装置10与若干个测试机台20之间的通信连接，所有所述测试机台20持续向所述测试装置10发送消息；步骤s3：在所述消息触发所述触发条件时，所述测试装置10根据所述消息自动配置相应的测试指令，并实时将所述测试指令发送给所述测试机台20，所述测试机台20接收并执行所述测试指令。
25.首先执行步骤s1，在测试装置10中建立触发条件。详细的，在所述测试装置10的消息配置部13设置触发条件，所述触发条件包括需要监控的事件和需要监控的警报消息。
26.由于所述测试机台20需要持续发送很多的消息，例如需要监控的事件消息、需要
监控的警报消息、不需要监控的事件消息和不需要监控的警报消息，而这些消息并不都是需要测试指令的场景，因此，需要建立触发条件，使得所述测试装置10可以在众多的消息中筛选出需要的消息（即需要监控的事件和需要监控的警报消息），以提供用户配置窗口。
27.接着执行步骤s2：建立所述测试装置10与若干个测试机台20之间的通信连接，所有所述测试机台20持续向所述测试装置10发送消息。
28.详细的，先建立所述测试装置10的接收端11与所述测试机台20之间的通信连接，以及所述测试装置10的发送端12与所述测试机台20之间的通信连接，使得所述测试机台20和所述测试装置10之间可以正常通讯。
29.接着，所述测试机台20开始跑货，在所述测试机台20的跑货过程中持续向所述测试装置10的接收端11上报和跑货相关的事件消息或警报消息（即需要监控的事件消息、需要监控的警报消息、不需要监控的事件消息和不需要监控的警报消息）。
30.步骤s3：在所述消息触发所述触发条件时，所述测试装置10根据所述消息自动配置相应的测试指令，并实时将所述测试指令发送给所述测试机台20，所述测试机台20接收并执行所述测试指令。
31.本步骤具体包括：首先，所述测试装置10的消息配置部13根据所述触发条件自动监测识别所述消息，即所述测试装置10的消息配置部13根据所述触发条件自动监测识别配置中的事件或警报（即需要监控的事件消息或需要监控的警报消息）是否出现；接着，在所述消息触发所述触发条件触发时，所述消息配置部13根据消息配置相应的测试指令，并通过所述发送端12发送所述测试指令给所述测试机台20。详细的，在所述测试机台20出现了需要测试指令的场景（即在所述消息触发了触发条件）时，所述消息配置部13根据监控识别到的需要监控的事件消息或需要监控的警报消息，通过所述发送端12发送测试指令给所述测试机台20；接着，根据所述测试机台后续上报的消息监控所述测试机台20是否按照预期执行所述测试指令。
32.以所述触发条件为晶圆传送盒完成事件，所述晶圆传送盒完成事件对应的测试指令为解锁晶圆传送盒（foup）为例进行举例说明如下：在所述测试装置10的接收端11接收到测试机台20上报的晶圆传送盒完成（foup completed）事件时，所述消息配置部13监控到所述晶圆传送盒完成事件的信息，发送端12实时、自动发送解锁晶圆传送盒的测试指令给测试机台20，以高效、准确、安全地发送测试指令。
33.综上所述，本发明提供一种自动测试系统及自动测试方法，可以实时监控测试机台上报的消息，并在测试装置接收到测试机台上报的某个可以发送测试指令的事件或者警报时，测试装置自动发送测试指令给测试机台，实现一次就可以测试成功，避免了因下测试指令的时机不对而导致的测试失败，解决了需要多次借机测试的问题，节省了借机的时间，大大提高了测试机台的效率。
34.可以理解的是，虽然本发明已以较佳实施例披露如上，然而上述实施例并非用以限定本发明。对于任何熟悉本领域的技术人员而言，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等
同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。