一种应用于晶圆加工设备的安全控制系统的制作方法

技术特征：
1.一种应用于晶圆加工设备的安全控制系统，其特征在于，包括安全门开关、控制模块、安全继电器和伺服驱动器，安全门开关与控制模块连接，控制模块与安全继电器连接，安全继电器与伺服驱动器连接，安全门开关输出双路开关信号和锁闭信号至控制模块，控制模块输出锁定解锁命令至安全门开关，控制模块根据所述双路开关信号和锁闭信号输出sto信号至安全继电器，安全继电器输出动作信号至伺服驱动器，伺服驱动器基于其工作状态输出sto反馈信号至控制模块。2.如权利要求1所述的安全控制系统，其特征在于，所述晶圆加工设备按照功能分为多个区域，位于不同区域的安全门通过各自的安全门开关连接不同的控制模块，不同的控制模块之间级联从而实现根据一个区域的安全门的开关状态控制另一个区域的伺服驱动器。3.如权利要求2所述的安全控制系统，其特征在于，包括传输模组安全门开关和机械手安全门开关，机械手安全门开关打开时控制传输模组的伺服驱动器安全停止。4.如权利要求1所述的安全控制系统，其特征在于，所述控制模块包括用于接收开关信号的监控单元、用于监测锁闭信号的锁定反馈单元、用于安全门开关锁定控制和sto控制的防护锁单元以及输出单元。5. 如权利要求4所述的安全控制系统，其特征在于，所述监控单元和锁定反馈单元分别与防护锁单元连接，防护锁单元与输出单元连接，所述双路开关信号输入监控单元，锁闭信号输入锁定反馈单元， sto反馈信号输入输出单元，输出单元输出sto信号和锁定解锁命令。6.如权利要求4所述的安全控制系统，其特征在于，外部的强制解锁信号输入所述防护锁单元。7.如权利要求4所述的安全控制系统，其特征在于，所述防护锁单元输出报警进行提示。8.如权利要求1所述的安全控制系统，其特征在于，所述控制模块包括主控模块和扩展模块。9.如权利要求8所述的安全控制系统，其特征在于，所述主控模块包括第一监控单元、第一锁定反馈单元、第一防护锁单元、第二监控单元、第二锁定反馈单元、第二防护锁单元以及第一与门，第一监控单元和第一锁定反馈单元分别与第一防护锁单元连接，第二监控单元和第二锁定反馈单元分别与第二防护锁单元连接，第一防护锁单元和第二防护锁单元分别与第一与门连接。10.如权利要求9所述的安全控制系统，其特征在于，所述扩展模块包括第三监控单元、第三锁定反馈单元、第三防护锁单元、第四监控单元、第四锁定反馈单元、第四防护锁单元以及第二与门，第三监控单元和第三锁定反馈单元分别与第三防护锁单元连接，第四监控单元和第四锁定反馈单元分别与第四防护锁单元连接，第三防护锁单元和第四防护锁单元分别与第二与门连接。11.如权利要求10所述的安全控制系统，其特征在于，所述第三防护锁单元的输出端还与所述第一与门的输入端连接。

技术总结
本发明公开了一种应用于晶圆加工设备的安全控制系统，包括安全门开关、控制模块、安全继电器和伺服驱动器，安全门开关与控制模块连接，控制模块与安全继电器连接，安全继电器与伺服驱动器连接，安全门开关输出双路开关信号和锁闭信号至控制模块，控制模块输出锁定解锁命令至安全门开关，控制模块根据所述双路开关信号和锁闭信号输出STO信号至安全继电器，安全继电器输出动作信号至伺服驱动器，伺服驱动器基于其工作状态输出STO反馈信号至控制模块。块。块。


技术研发人员：万明军
受保护的技术使用者：华海清科股份有限公司
技术研发日：2022.11.09
技术公布日：2023/2/3