检测组件、检测仪器和检测方法

1.本发明涉及测试工装技术领域，具体涉及一种检测组件、检测仪器和检测方法。


背景技术：

2.目前，在相关技术中，功率半导体长期运行在严酷的条件下，不停的经受电-热-振动冲击作用，将会严重的老化及可靠性问题，因此需要对功率半导体分立器件的可靠性进行检测，相关技术中，信号探针和接地探针之间的距离是固定的，信号探针和接地探针之间的距离是不能调节的，不能满足半导体分立器件不同封装形式。


技术实现要素：

3.本发明旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。
4.为此，本发明的第一方面提出一种检测组件。
5.本发明的第二方面提出一种检测仪器。
6.本发明的第三方面提出一种检测方法。
7.有鉴于此，本发明的第一方面提供了一种检测组件，检测组件与扫频组件相连接，用于检测功率器件在不同频率下的阻抗变化，检测组件包括夹持组件、接地探针和至少一个检测探针；夹持组件包括第一夹持部和第二夹持部，第一夹持部的一端与第二夹持部的一端相连接；接地探针穿设于第一夹持部；至少一个检测探针穿设于第二夹持部，与接地探针并列设置，能够和功率器件相连接；其中，第一夹持部和第二夹持部能够相对滑动，以使接地探针与至少一个检测探针相对远离或靠近。
8.在该技术方案中，检测组件与扫频组件相连接，以使扫频组件通过信号端口可以将检测信号传递到检测组件中，从而使得检测组件可以检测功率器件在不同频率下的阻抗变化，即通过频域反射阻抗的测量来快速识别出功率器件失效类型及损伤程度。检测组件包括夹持组件、接地探针和至少一个检测探针。夹持组件包括第一夹持部和第二夹持部，第一夹持部的一端与第二夹持部的一端相连接，以实现第一夹持部和第二夹持部的安装。接地探针穿设于第一夹持部，以使第一夹持部可以对接地探针进行固定，以实现对接地探针的安装。至少一个检测探针穿设于第二夹持部，以使第二夹持部可以对至少一个检测探针进行固定，以实现对至少一个检测探针的安装，至少一个检测探针与接地探针并列设置，能够和功率器件相连接，进而便于接地探针和检测探针与功率器件的端子进行接触，便于对功率器件进行检测。第一夹持部和第二夹持部能够相对滑动，由于接地探针和检测探针是分别安装在第一夹持部和第二夹持部上的，因此在第一夹持部和第二夹持部移动时能够带动接地探针与检测探针移动，使得接地探针和检测探针能够相对远离或靠近，即接地探针和检测探针之间的距离是可以调节的，在对不同类型的功率器件进行检测时，可以根据功率器件端子之间的距离对接地探针和检测探针之间的距离进行调整，从而能够适应不同封装结构功率器件，提升检测组件对功率器件检测的通用性，极大的提升了频域测量的接触测量精度和测试的通用性要求。
9.另外，本发明提供的上述技术方案中的检测组件还可以具有如下附加技术特征：
10.在本发明的一个技术方案中，第二夹持部包括第一子夹持部和第二子夹持部；第一子夹持部的一端与第一夹持部的一端连接；第二子夹持部与第一夹持部的另一端或第一子夹持部的另一端相连接；至少一个检测探针包括第一检测探针和第二检测探针，第一检测探针穿设于第一子夹持部，第二检测探针穿设于第二子夹持部。
11.在该技术方案中，第二夹持部包括第一子夹持部和第二子夹持部；第一子夹持部的一端与第一夹持部的一端连接，使得第一子夹持部可以相对于第一夹持部进行滑动。第二子夹持部与第一夹持部的另一端或第一子夹持部的另一端相连接，以实现对第二子夹持部的安装。至少一个检测探针包括第一检测探针和第二检测探针，即检测探针的数量为两个，使得两个检测探针对功率器件进行检测。第一检测探针穿设于第一子夹持部，以使第一子夹持部对第一检测探针进行固定，使得第一子夹持部在滑动的时候可以带动第一检测探针运动。第二检测探针穿设于第二子夹持部，以使第二子夹持部对第二检测探针进行固定，使得第二子夹持部在滑动的时候可以带动第二检测探针运动，从而在功率器件具有三个端子的情况下，根据端子间的不同距离对接地探针、第一检测探针和第二检测探针的距离进行调整，从而与端子适配对功率器件进行检测，从而实现了接地探针、第一检测探针和第二检测探针结构之间间距的可调性。
12.在本发明的一个技术方案中，第一夹持部的一端设置有第一条形孔，另一端设置有第二条形孔；第一子夹持部的一端设置有第三条形孔，另一端设置有第四条形孔；第二子夹持部的一端设置有第五条形孔；检测组件还包括第一连接件和第二连接件，第一连接件穿设于第一条形孔和第三条形孔；在第二子夹持部与第一夹持部的另一端相连接的情况下，第二连接件穿设于第五条形孔和第二条形孔；在第二子夹持部与第一子夹持部的另一端相连接的情况下，第二连接件穿设于第五条形孔和第四条形孔。
13.在该技术方案中，第一夹持部的一端设置有第一条形孔，另一端设置有第二条形孔；第一子夹持部的一端设置有第三条形孔，另一端设置有第四条形孔；第二子夹持部的一端设置有第五条形孔；第一连接件穿设于第一条形孔和第三条形孔，进而使得第一连接件可以对第一夹持部和第一子夹持部进行固定，并且设置为长条形的孔，便于第一连接件在条形孔内移动，从而在对接地探针和第一检测探针的距离进行调整时，可以先松开第一连接件，使得第一夹持部和第一子夹持部可以相对滑动，通过滑动第一夹持部和第一子加持部至预设的距离后，紧固第一连接件，使得第一夹持部和第一子夹持部进行固定。在第二子夹持部与第一夹持部的另一端相连接的情况下，第二连接件穿设于第五条形孔和第二条形孔，即第一夹持部位于第一子夹持部和第二子夹持部中间，也就是接地探针位于第一检测探针和第二检测探针中间，从而在对接地探针和第二检测探针的距离进行调整时，可以先松开第二连接件，使得第一夹持部和第二子夹持部可以相对滑动，通过滑动第一夹持部和第二子加持部至预设的距离后，紧固第二连接件，使得第一夹持部和第二子夹持部进行固定，以实现对接地探针和第二检测探针的距离的调整。在第二子夹持部与第一子夹持部的另一端相连接的情况下，第二连接件穿设于第五条形孔和第四条形孔，即第一检测探针位于接地探针和第二检测探针中间的位置，从而在对第一检测探针和第二检测探针的距离进行调整时，可以先松开第二连接件，使得第一子夹持部和第二子夹持部可以相对滑动，通过滑动第一子夹持部和第二子加持部至预设的距离后，紧固第二连接件，使得第一子夹持部
和第二子夹持部进行固定，以实现对第一检测探针和第二检测探针的距离的调整，即通过可移动的第一连接件和第二连接件实现接地探针、第一检测探针和第二检测探针之间的可调固定。
14.在本发明的一个技术方案中，至少一个检测探针包括第一本体和第一套筒；第一套筒与第一本体的一端可拆卸连接，在第一套筒拆卸后，将第一本体的一端嵌入校准组件，以使频域测量的平面从扫频组件校准到第一本体的一端。
15.在该技术方案中，至少一个检测探针包括第一本体和第一套筒；第一套筒与第一本体的一端可拆卸连接，以实现第一套筒和第一本体之间的安装。由于在对功率器件进行检测时，频域测量的平面的是位于扫频组件上的，扫频组件与至少一个检测探针与功率器件接触的位置之间具有一定的距离，这段距离会对检测造成误差，因此通过第一本体和第一套筒设置为可拆卸式的结构，在将扫频组件与检测组件连接后，可以先将第一套筒拆卸下来，将第一本体的一端嵌入校准组件，以使频域测量的平面从扫频组件校准到第一本体的一端，在校准后将第一套筒安装到第一本体上，然后利用至少一个检测探针对功率器件进行检测，通过这样的方式能够消除绝大部分的由于检测组件所引入的测量误差，以此提升检测组件的检测精度，保证检测的准确性。
16.在本发明的一个技术方案中，扫频组件包括线缆和连接端口，线缆的一端与连接端口相连接；至少一个检测探针与线缆的另一端相连接；接地探针的一端通过夹持组件、线缆与扫频组件接地。
17.在该技术方案中，扫频组件包括线缆和连接端口，线缆的一端与连接端口相连接，进而使得扫频组件可以将检测信号输入到线缆中，至少一个检测探针与线缆的另一端相连接，以使检测信号可以通过线缆进入到检测探针，在检测探针与功率器件的端子进行连接时，检测信号可以通过检测探针进入到功率器件内。接地探针的一端通过夹持组件、线缆与扫频组件接地，即接地探针可以通过夹持组件和检测探针的外壳、线缆的外壳连通到扫频组件，从而使得检测信号通过功率器件后从接地探针输出，从而构成检测的回路，以实现对功率器件的检测。
18.在本发明的一个技术方案中，线缆包括第一线缆和第二线缆，端口包括输入端口和输出端口；第一线缆的一端与输入端口相连接，另一端与第一检测探针的一端相连接；第二线缆的一端与输出端口相连接，另一端与第二检测探针的一端相连接；接地探针的一端通过夹持组件、第一线缆、第二线缆与扫频组件接地。
19.在该技术方案中，线缆包括第一线缆和第二线缆，端口包括输入端口和输出端口，进而实现扫频组件可以对检测信号进行输出和回收。第二线缆的一端与输出端口相连接，另一端与第二检测探针的一端相连接，在对功率器件进行检测时，以使检测信号可以从扫频组件进入到功率器件中。接地探针的一端通过夹持组件、第一线缆、第二线缆与扫频组件接地。第一线缆的一端与输入端口相连接，另一端与第一检测探针的一端相连接，以使检测信号可以从功率器件输出进入到扫频组件中，以完成对功率器件的检测，从而实现对双端口的频域测量。
20.在本发明的一个技术方案中，功率器件包括第一端子、第二端子和第三端子；接地探针的另一端设置有第一探头，第一探头能够与第一端子欧姆接触；第一检测探针的另一端设置有第二探头，第二探头能够与第二端子欧姆接触；第二检测探针的另一端设置有第
三探头，第三探头能够与第三端子欧姆接触。
21.在该技术方案中，功率器件包括第一端子、第二端子和第三端子；接地探针的另一端设置有第一探头，第一探头能够与第一端子欧姆接触，以实现检测信号的传输。第一检测探针的另一端设置有第二探头，第二探头能够与第二端子欧姆接触以实现检测信号的传输。第二检测探针的另一端设置有第三探头，第三探头能够与第三端子欧姆接触，以实现检测信号的传输。
22.本发明第二方面提供了一种检测仪器，包括上述任一技术方案中的检测组件，因此，该检测仪器包括检测组件的全部有益效果，在此不再赘述。
23.本发明第三方面提供了一种检测方法，用于对功率器件进行检测，检测方法包括将检测组件与扫频组件相连接；对检测组件进行校准；调节第一夹持部和第二夹持部之间的距离；将检测组件中接地探针和至少一个检测探针与功率器件的端子相接触；扫频组件将检测信号通过检测组件传递到功率器件，检测信号通过功率器件后传回到扫频组件。
24.在该技术方案中，检测方法用于对功率器件进行检测，从而使得检测组件可以检测功率器件在不同频率下的阻抗变化，即通过频域反射阻抗的测量来快速识别出功率器件失效类型及损伤程度。检测方法包括将检测组件与扫频组件相连接，进而可以将检测信号传递到检测组件，对检测组件进行校准，进而可以消除检测组件造成的误差，从而提升检测精度，保证检测的准确性。将检测组件中接地探针和至少一个检测探针与功率器件的端子相接触；扫频组件将检测信号通过检测组件传递到功率器件，检测信号通过功率器件后传回到扫频组件，从而构成检测信号传递的回路，以实现对功率器件的检测。由于接地探针是安装在第一夹持部件上的，至少一个检测探针是安装在第二夹持部件上的，因此通过调节第一夹持部和第二夹持部之间的距离，进而实现对接地探针和检测探针之间距离的调整，以使接地探针和检测探针之间距离可以匹配功率部件端子之间的距离，进而可以对不同类型的功率器件进行检测。
25.在本发明的一个技术方案中，对检测组件进行校准包括：将至少一个检测探针的一端嵌入校准组件，以使频域测量的平面从扫频组件校准到至少一个检测探针的一端。
26.在该技术方案中，将至少一个检测探针的一端嵌入校准组件，以使频域测量的平面从扫频组件校准到至少一个检测探针的一端，通过这样的方式能够消除绝大部分的由于检测组件所引入的测量误差，以此提升检测组件的检测精度，保证检测的准确性。
27.本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
附图说明
28.本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
29.图1示出了根据本发明的一个实施例的接地探针位于中间位置的示意图之一；
30.图2示出了根据本发明的一个实施例的扫频组件与检测组件连接的示意图；
31.图3示出了根据本发明的一个实施例的接地探针位于中间位置的示意图之二；
32.图4示出了根据本发明的一个实施例的接地探针位于中间位置的示意图之三；
33.图5示出了根据本发明的一个实施例的接地探针位于边缘位置的示意图之一；
34.图6示出了根据本发明的一个实施例的接地探针位于边缘位置的示意图之二；
35.图7示出了根据本发明的一个实施例的接地探针位于边缘位置的示意图之三；
36.图8示出了根据本发明的一个实施例的检测方法的流程图之一；
37.图9示出了根据本发明的一个实施例的检测方法的流程图之二。
38.其中，图1至图9中的附图标记与部件名称之间的对应关系为：
39.100检测组件，110夹持组件，120第一夹持部，130第二夹持部，132第一子夹持部，134第二子夹持部，140接地探针，150第一探头，160检测探针，162第一检测探针，1622第一本体，1624第一套筒，164第二检测探针，166第二探头，168第三探头，170第一连接件，180第二连接件，200扫频组件，210线缆，212第一线缆，214第二线缆，220连接端口，222输入端口，224输出端口。
具体实施方式
40.为了能够更清楚地理解本发明的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本发明进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
41.在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但是，本发明还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本发明的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。
42.下面参照图1至图9描述根据本发明一些实施例的检测组件100、检测仪器和检测方法。
43.如图1和图2所示，本发明的第一方面提供了一种检测组件100，检测组件100与扫频组件200相连接，用于检测功率器件在不同频率下的阻抗变化，检测组件100包括夹持组件110、接地探针140和至少一个检测探针160；夹持组件110包括第一夹持部120和第二夹持部130，第一夹持部120的一端与第二夹持部130的一端相连接；接地探针140穿设于第一夹持部120；至少一个检测探针160穿设于第二夹持部130，与接地探针140并列设置，能够和功率器件相连接；其中，第一夹持部120和第二夹持部130能够相对滑动，以使接地探针140与至少一个检测探针160相对远离或靠近。
44.在该实施例中，如图1、图3和图4所示，检测组件100与扫频组件200相连接，以使扫频组件200通过信号端口可以将检测信号传递到检测组件100中，从而使得检测组件100可以检测功率器件在不同频率下的阻抗变化，即通过频域反射阻抗的测量来快速识别出功率器件失效类型及损伤程度。检测组件100包括夹持组件110、接地探针140和至少一个检测探针160。夹持组件110包括第一夹持部120和第二夹持部130，第一夹持部120的一端与第二夹持部130的一端相连接，以实现第一夹持部120和第二夹持部130的安装。接地探针140穿设于第一夹持部120，以使第一夹持部120可以对接地探针140进行固定，以实现对接地探针140的安装。至少一个检测探针160穿设于第二夹持部130，以使第二夹持部130可以对至少一个检测探针160进行固定，以实现对至少一个检测探针160的安装，至少一个检测探针160与接地探针140并列设置，能够和功率器件相连接，进而便于接地探针140和检测探针160与功率器件的端子进行接触，便于对功率器件进行检测。第一夹持部120和第二夹持部130能够相对滑动，由于接地探针140和检测探针160是分别安装在第一夹持部120和第二夹持部
130上的，因此在第一夹持部120和第二夹持部130移动时能够带动接地探针140与检测探针160移动，使得接地探针140和检测探针160能够相对远离或靠近，即接地探针140和检测探针160之间的距离是可以调节的，在对不同类型的功率器件进行检测时，可以根据功率器件端子之间的距离对接地探针140和检测探针160之间的距离进行调整，从而能够适应不同封装结构功率器件，提升检测组件100对功率器件检测的通用性，极大的提升了频域测量的接触测量精度和测试的通用性要求。
45.具体地，扫频组件200为可以提供连续扫频波系统，如矢量网络分析仪或阻抗分析仪等，以使检测组件100适用于能够产生连续扫频波的系统。
46.具体地，在相关技术中，频域反射测量需要专用的测试夹具，用于器件和扫频源输入和输出端口之间的信号互联，所设计的测试夹具需要设计50ω阻抗匹配线路，如微带传输线或带状传输线等，用于信号和器件端子直接的焊锡互连；而线路两端设计有50ωsma接口，用于扫频源和传输线之间的信号输入-输出，同时为了保证三极管、晶体管等功率器件第三个端子接地，在夹具上还需要设计专用的接地过孔，用于器件端子和扫频源的地相连。这样的方式属于离线测试，无法满足在线测试的要求。需要将待测的功率器件安装在专用夹具上进行检测，待测器件的各端子需要和扫频源的输入和输出端口以及接地处通过锡焊互连，焊锡的存留也不能满足新封装器件的检测要求，相较于这样的方式，本技术将接地探针140和检测探针160安装在加持组件上，并且接地探针140和检测探针160之间的距离是可以调节的，从而无需将功率器件拆卸下来，因此，本技术可以实现对功率器件的在线检测，提升检测组件100对功率器件检测的通用性。
47.具体地，在相关技术中，有专用的微波探针用于晶圆芯片的在线测量。微波探针可以分为g-s探针/g-s-g探针，用于cmos晶圆芯片的射频参数的测试。但是需要在专门的探针盘上，且g-s探针/g-s-g探针的间距是固定的，不可调节(间距为μm级别)，只能针对单一类芯片进行监测。不能满足分立器件不同封装形式(如：to-247、to-220、to-92等封装结构)得检测要求。同时，g-s探针/g-s-g探针是针对单一端口设计的，并未将扫频源port1和port2端口连接起来，这样就需要设计两个专用的探针夹持台，不但会导致整个测量系统复杂，更难以保持port1和port2端口两个测量探针压力的一致性，它会引起探针和芯片焊盘或者器件端子之间接触电阻的变化，这对频域测量的测试结果的精度是非常重要的，而本技术中通过设置夹持组件110使得接地探针140和检测探针160之间距离可以进行调节，因此可以满足不同功率器件的不同封装形式的检测要求，并且夹持组件110对接地探针140和检测探针160进行固定，因此可以保证接地探针140和检测探针160之间位置水平度的一致性，提升检测的精度。
48.具体地，通过设置一个接地探针140和一个检测探针160与功率器件的端子进行连接，进而可以实现单端口的频域测量。
49.具体地，第一夹持部120件和第二夹持部130件形成的框架结构，实现了接地探针140和至少一个检测探针160结构之间位置水平度的一致性。
50.本实施例提供了一种检测组件100，除上述实施例的技术特征以外，本实施例进一步地包括了以下技术特征。
51.如图1和图5所示，第二夹持部130包括第一子夹持部132和第二子夹持部134；第一子夹持部132的一端与第一夹持部120的一端连接；第二子夹持部134与第一夹持部120的另
一端或第一子夹持部132的另一端相连接；至少一个检测探针160包括第一检测探针162和第二检测探针164，第一检测探针162穿设于第一子夹持部132，第二检测探针164穿设于第二子夹持部134。
52.在该实施例中，第二夹持部130包括第一子夹持部132和第二子夹持部134；第一子夹持部132的一端与第一夹持部120的一端连接，使得第一子夹持部132可以相对于第一夹持部120进行滑动。第二子夹持部134与第一夹持部120的另一端或第一子夹持部132的另一端相连接，以实现对第二子夹持部134的安装。至少一个检测探针160包括第一检测探针162和第二检测探针164，即检测探针160的数量为两个，使得两个检测探针160对功率器件进行检测。第一检测探针162穿设于第一子夹持部132，以使第一子夹持部132对第一检测探针162进行固定，使得第一子夹持部132在滑动的时候可以带动第一检测探针162运动。第二检测探针164穿设于第二子夹持部134，以使第二子夹持部134对第二检测探针164进行固定，使得第二子夹持部134在滑动的时候可以带动第二检测探针164运动，从而在功率器件具有三个端子的情况下，根据端子间的不同距离对接地探针140、第一检测探针162和第二检测探针164的距离进行调整，从而与端子适配对功率器件进行检测，从而实现了接地探针140、第一检测探针162和第二检测探针164结构之间间距的可调性。
53.具体地，如图1和图5所示，在第一子夹持部132上设置有第一安装孔，第二子夹持部134上设置有第二安装孔，第一检测探针162穿设于第一安装孔，第二检测探针164穿设于第二安装孔；并且，在第一安装孔的侧壁上设置有第一通孔与第一安装孔相连通；在第二安装孔的侧壁上设置有第二通孔与第二安装孔相连通，在对功率检测组件100进行检测时，在特殊情况下，需要拆开功率器件对内部结构进行测试，此时测点的高度不一致，即功率器件中各个端子的位置高度不一致，需要对第一检测探针162和第二检测探针164在轴向方向上的长度(高度)进行调整，以使探针可以和端子的位置进行匹配，在对第一检测探针162和第二检测探针164的高度进行调整后，将第一固定件穿设于第一安装孔，使得第一固定件可以压紧第一检测探针162，从而可以对第一检测探针162进行固定。将第二固定件穿设于第二安装孔，使得第二固定件可以压紧第二检测探针164，从而可以对第二检测探针164进行固定，以此实现对第一检测探针162和第二检测探针164垂直高度的调整。
54.本实施例提供了一种检测组件100，除上述实施例的技术特征以外，本实施例进一步地包括了以下技术特征。
55.第一夹持部120滑动的距离大于等于0.5mm，小于等于10mm；第一子夹持部132滑动的距离大于等于0.5mm，小于等于10mm；第二子夹持部134滑动的距离大于等于0.5mm，小于等于10mm。
56.在该实施例中，第一夹持部120、第一子夹持部132和第二子夹持部134滑动的距离大于等于0.5mm，小于等于10mm，通过对第一夹持部120、第一子夹持部132和第二子夹持部134滑动距离的调整，进而实现对接地探针140、第一检测探针162和第二检测探针164间距的调整，通过将第一夹持部120、第一子夹持部132和第二子夹持部134滑动距离设置为大于等于0.5mm，小于等于10mm，进而使得地探针、第一检测探针162和第二检测探针164与频率器件端子的位置适配，便于检测组件100对功率器件进行检测。
57.本实施例提供了一种检测组件100，除上述实施例的技术特征以外，本实施例进一步地包括了以下技术特征。
58.第一夹持部120、第一子夹持部132、第二子夹持部134的移动方向相同或不同。
59.在该实施例中，第一夹持部120、第一子夹持部132、第二子夹持部134的移动方向相同或不同，确定功率器件中各端子之间的间距后，根据间距对接地探针140、第一检测探针162和第二检测探针164之间的距离进行调整，此时可以通过对第一夹持部120、第一子夹持部132、第二子夹持部134进行移动，以使接地探针140、第一检测探针162和第二检测探针164与各个端子之间进行适配，进而便于检测组件100对功率器件进行检测，在对间距进行调整时，可以通过控制第一夹持部120、第一子夹持部132、第二子夹持部134的移动方向相同或不同，进而使得对间距的调整更加地方便。
60.本实施例提供了一种检测组件100，除上述实施例的技术特征以外，本实施例进一步地包括了以下技术特征。
61.第一夹持部120的一端设置有第一条形孔，另一端设置有第二条形孔；第一子夹持部132的一端设置有第三条形孔，另一端设置有第四条形孔；第二子夹持部134的一端设置有第五条形孔；检测组件100还包括第一连接件170和第二连接件180，第一连接件170穿设于第一条形孔和第三条形孔；在第二子夹持部134与第一夹持部120的另一端相连接的情况下，第二连接件180穿设于第五条形孔和第二条形孔；在第二子夹持部134与第一子夹持部132的另一端相连接的情况下，第二连接件180穿设于第五条形孔和第四条形孔。
62.在该实施例中，第一夹持部120的一端设置有第一条形孔，另一端设置有第二条形孔；第一子夹持部132的一端设置有第三条形孔，另一端设置有第四条形孔；第二子夹持部134的一端设置有第五条形孔；第一连接件170穿设于第一条形孔和第三条形孔，进而使得第一连接件170可以对第一夹持部120和第一子夹持部132进行固定，并且设置为长条形的孔，便于第一连接件170在条形孔内移动，从而在对接地探针140和第一检测探针162的距离进行调整时，可以先松开第一连接件170，使得第一夹持部120和第一子夹持部132可以相对滑动，通过滑动第一夹持部120和第一子加持部至预设的距离后，紧固第一连接件170，使得第一夹持部120和第一子夹持部132进行固定。如图5、图6和图7所示，在第二子夹持部134与第一夹持部120的另一端相连接的情况下，第二连接件180穿设于第五条形孔和第二条形孔，即第一夹持部120位于第一子夹持部132和第二子夹持部134中间，也就是接地探针140位于第一检测探针162和第二检测探针164中间，从而在对接地探针140和第二检测探针164的距离进行调整时，可以先松开第二连接件180，使得第一夹持部120和第二子夹持部134可以相对滑动，通过滑动第一夹持部120和第二子加持部至预设的距离后，紧固第二连接件180，使得第一夹持部120和第二子夹持部134进行固定，以实现对接地探针140和第二检测探针164的距离的调整。如图1、图3和图4所示，在第二子夹持部134与第一子夹持部132的另一端相连接的情况下，第二连接件180穿设于第五条形孔和第四条形孔，即第一检测探针162位于接地探针140和第二检测探针164中间的位置，从而在对第一检测探针162和第二检测探针164的距离进行调整时，可以先松开第二连接件180，使得第一子夹持部132和第二子夹持部134可以相对滑动，通过滑动第一子夹持部132和第二子加持部至预设的距离后，紧固第二连接件180，使得第一子夹持部132和第二子夹持部134进行固定，以实现对第一检测探针162和第二检测探针164的距离的调整，即通过可移动的第一连接件170和第二连接件180实现接地探针140、第一检测探针162和第二检测探针164之间的可调固定。
63.具体地，第一连接件170为第一螺栓和第一螺母，第一螺栓能够与第一螺母旋紧。
64.具体地，第二连接件180为第二螺栓和第二螺母，第二螺栓能够与第二螺母旋紧。
65.具体地，通过接地探针140、第一检测探针162和第二检测探针164之间所设计的夹持组件110和第一连接件170、第二连接件180，即可移动螺栓固定结构，实现了接地探针140、第一检测探针162和第二检测探针164之间间距的可调，从而能够适应不同封装结构分立器件(如：to-247、to-220、to-92等封装结构端子之间的间距不同)的通用性测试需求。
66.本实施例提供了一种检测组件100，除上述实施例的技术特征以外，本实施例进一步地包括了以下技术特征。
67.如图1和图5所示，至少一个检测探针160包括第一本体1622和第一套筒1624；第一套筒1624与第一本体1622的一端可拆卸连接，在第一套筒1624拆卸后，将第一本体1622的一端嵌入校准组件，以使频域测量的平面从扫频组件200校准到第一本体1622的一端。
68.在该实施例中，至少一个检测探针160包括第一本体1622和第一套筒1624；第一套筒1624与第一本体1622的一端可拆卸连接，以实现第一套筒1624和第一本体1622之间的安装。由于在对功率器件进行检测时，频域测量的平面的是位于扫频组件200上的，扫频组件200与至少一个检测探针160与功率器件接触的位置之间具有一定的距离，这段距离会对检测造成误差，因此通过第一本体1622和第一套筒1624设置为可拆卸式的结构，在将扫频组件200与检测组件100连接后，可以先将第一套筒1624拆卸下来，将第一本体1622的一端嵌入校准组件，以使频域测量的平面从扫频组件200校准到第一本体1622的一端，在校准后将第一套筒1624安装到第一本体1622上，然后利用至少一个检测探针160对功率器件进行检测，通过这样的方式能够消除绝大部分的由于检测组件100所引入的测量误差，以此提升检测组件100的检测精度，保证检测的准确性。
69.具体地，第一本体1622和第一套筒1624旋紧啮合的方式连接，可以在校准的时候使测量平面从扫频组件200校准到检测组件100的第一套筒1624位置处，这样就基本消除了检测组件100引入的测量误差。当校准结束后，可以将第一套筒1624安装在检测组件100上测量，这样分离设计满足了高精度的双端口频域测量的特殊需要。
70.具体地，第一本体1622和第一套筒1624采用分离结构设计，可以在扫频组件200校准的时候使测量平面从扫频组件200校准到检测组件100的第一套筒1624位置处，这样就基本消除了检测组件100引入的测量误差。这样创新的分离设计满足了高精度的双端口频域测量的特殊需要。
71.本实施例提供了一种检测组件100，除上述实施例的技术特征以外，本实施例进一步地包括了以下技术特征。
72.如图2所示，扫频组件200包括线缆210和连接端口220，线缆210的一端与连接端口220相连接；至少一个检测探针160与线缆210的另一端相连接；接地探针140的一端通过夹持组件110、线缆210与扫频组件200接地。
73.在该实施例中，扫频组件200包括线缆210和连接端口220，线缆210的一端与连接端口220相连接，进而使得扫频组件200可以将检测信号输入到线缆210中，至少一个检测探针160与线缆210的另一端相连接，以使检测信号可以通过线缆210进入到检测探针160，在检测探针160与功率器件的端子进行连接时，检测信号可以通过检测探针160进入到功率器件内。接地探针140的一端通过夹持组件110、线缆210与扫频组件200接地，即接地探针140可以通过夹持组件110和检测探针160的外壳、线缆210的外壳连通到扫频组件200，从而使
得检测信号通过功率器件后从接地探针140输出，从而构成检测的回路，以实现对功率器件的检测。
74.具体地，检测探针160的数量为一个，从而可以实现单端口的频域测量。
75.本实施例提供了一种检测组件100，除上述实施例的技术特征以外，本实施例进一步地包括了以下技术特征。
76.如图2所示，线缆210包括第一线缆212和第二线缆214，端口包括输入端口222和输出端口224；第一线缆212的一端与输入端口222相连接，另一端与第一检测探针162的一端相连接；第二线缆214的一端与输出端口224相连接，另一端与第二检测探针164的一端相连接；接地探针140的一端通过夹持组件110、第一线缆212、第二线缆214与扫频组件200接地。
77.在该实施例中，线缆210包括第一线缆212和第二线缆214，端口包括输入端口222和输出端口224，进而实现扫频组件200可以对检测信号进行输出和回收。第二线缆214的一端与输出端口224相连接，另一端与第二检测探针164的一端相连接，在对功率器件进行检测时，以使检测信号可以从扫频组件200进入到功率器件中。接地探针140的一端通过夹持组件110、第一线缆212、第二线缆214与扫频组件200接地。第一线缆212的一端与输入端口222相连接，另一端与第一检测探针162的一端相连接，以使检测信号可以从功率器件输出进入到扫频组件200中，以完成对功率器件的检测，从而实现对双端口的频域测量。
78.具体地，第一检测探针162与第一线缆212连接的一端设置有螺纹结构，便于第一检测探针162与第一线缆212连接，第二检测探针164与第二线缆214连接的一端设置有螺纹结构，便于第二检测探针164与第二线缆214连接。第一检测探针162与第一线缆212连接的一端设置有螺纹结构，便于第一检测探针162与第一线缆212连接，通过螺纹结构实现了可调检测组件100和扫频组件200(如：矢量网络分析仪或阻抗分析仪)port1(输入端口222)和port2(输出端口224)的互连，第一检测探针162和第二检测探针164按照常规的50ω的特征阻抗设计(由50ω内部走线、绝缘层和金属外壳组成)。
79.具体地，至少一个检测探针160和扫频组件200系统通过螺纹啮合连，至少一个检测探针160内是50ω的内部传输线和扫频组件200的50ω线缆210通过sma转接口实现了压合互连。调整探针间距可以实现不同封装的不同端子间距的分立器件的在线频域测量，即满足了扫频组件200、检测组件100和功率器件三者之间的50ω阻抗匹配要求，又避免了外加测试夹具和焊接操作。
80.本实施例提供了一种检测组件100，除上述实施例的技术特征以外，本实施例进一步地包括了以下技术特征。
81.如图1和图5所示，功率器件包括第一端子、第二端子和第三端子；接地探针140的另一端设置有第一探头150，第一探头150能够与第一端子欧姆接触；第一检测探针162的另一端设置有第二探头166，第二探头166能够与第二端子欧姆接触；第二检测探针164的另一端设置有第三探头168，第三探头168能够与第三端子欧姆接触。
82.在该实施例中，功率器件包括第一端子、第二端子和第三端子；接地探针140的另一端设置有第一探头150，第一探头150能够与第一端子欧姆接触，以实现检测信号的传输。第一检测探针162的另一端设置有第二探头166，第二探头166能够与第二端子欧姆接触以实现检测信号的传输。第二检测探针164的另一端设置有第三探头168，第三探头168能够与第三端子欧姆接触，以实现检测信号的传输。
83.具体地，接地探针140通过第一检测探针162和第二检测探针164的sma外壳实现了与扫频组件200地的互连，而第一探头150通过欧姆接触和功率器件剩下的第三个端子互连。
84.具体地，第一检测探针160和第二检测探针164与扫频组件200相连接的一端设计为sma结构用于和扫频组件200信号的输入和输出端口224直接互连，第二探头166和第三探头168和功率器件的任二端子通过欧姆接触互连(人为施加压力，探针头为刚性不可伸缩)。
85.具体地，第一探头150、第二探头166和第三探头168为针尖式结构。
86.在本发明的一个实施例中提供了一种检测仪器，包括上述任一实施例中的检测组件100，因此，该检测仪器包括检测组件100的全部有益效果，在此不再赘述。
87.在本发明的一个实施例中提供了一种检测方法，用于对功率器件进行检测，如图8所示，检测方法包括：
88.步骤302：将检测组件与扫频组件相连接；
89.步骤304：对检测组件进行校准；
90.步骤306：调节第一夹持部和第二夹持部之间的距离；
91.步骤308：将检测组件中接地探针和至少一个检测探针与功率器件的端子相接触；
92.步骤310：扫频组件将检测信号通过检测组件传递到功率器件，检测信号通过功率器件后传回到扫频组件。
93.在该实施例中，检测方法用于对功率器件进行检测，从而使得检测组件可以检测功率器件在不同频率下的阻抗变化，即通过频域反射阻抗的测量来快速识别出功率器件失效类型及损伤程度。检测方法包括将检测组件与扫频组件相连接，进而可以将检测信号传递到检测组件，对检测组件进行校准，进而可以消除检测组件造成的误差，从而提升检测精度，保证检测的准确性。将检测组件中接地探针和至少一个检测探针与功率器件的端子相接触；扫频组件将检测信号通过检测组件传递到功率器件，检测信号通过功率器件后传回到扫频组件，从而构成检测信号传递的回路，以实现对功率器件的检测。由于接地探针是安装在第一夹持部件上的，至少一个检测探针是安装在第二夹持部件上的，因此通过调节第一夹持部和第二夹持部之间的距离，进而实现对接地探针和检测探针之间距离的调整，以使接地探针和检测探针之间距离可以匹配功率部件端子之间的距离，进而可以对不同类型的功率器件进行检测。
94.如图9所示，检测方法还包括：
95.步骤402：将检测组件与扫频组件相连接；
96.步骤404：将至少一个检测探针的一端嵌入校准组件，以使频域测量的平面从扫频组件校准到至少一个检测探针的一端；
97.步骤406：调节第一夹持部和第二夹持部之间的距离；
98.步骤408：将检测组件中接地探针和至少一个检测探针与功率器件的端子相接触；
99.步骤410：扫频组件将检测信号通过检测组件传递到功率器件，检测信号通过功率器件后传回到扫频组件。
100.在该实施例中，将至少一个检测探针的一端嵌入校准组件，以使频域测量的平面从扫频组件校准到至少一个检测探针的一端，通过这样的方式能够消除绝大部分的由于检测组件所引入的测量误差，以此提升检测组件的检测精度，保证检测的准确性。
101.在本发明的权利要求书、说明书和说明书附图中，术语“多个”则指两个或两个以上，除非有额外的明确限定，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了更方便地描述本发明和使得描述过程更加简便，而不是为了指示或暗示所指的装置或元件必须具有所描述的特定方位、以特定方位构造和操作，因此这些描述不能理解为对本发明的限制；术语“连接”、“安装”、“固定”等均应做广义理解，举例来说，“连接”可以是多个对象之间的固定连接，也可以是多个对象之间的可拆卸连接，或一体地连接；可以是多个对象之间的直接相连，也可以是多个对象之间的通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据上述数据地具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
102.在本发明的权利要求书、说明书和说明书附图中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本发明的权利要求书、说明书和说明书附图中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
103.以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。