在半导体设备和洁净室中测量化学气体污染物的可携式盘的制作方法

技术特征：
1.一种检测器盘，包括：盘主体，包括底盘和顶盖，所述顶盖包括第一孔；传感器，设置在由所述盘主体形成的内部内并定位成经由所述顶盖中的所述第一孔而暴露于外部环境，其中所述传感器适于检测化学气体污染物的水平并基于所述化学气体污染物的检测的水平而输出检测信号；微控制器，设置在所述盘主体的所述内部中并耦接到所述传感器，所述微控制器适于由所述检测信号中包含的所述化学气体污染物的所述检测的水平产生测量数据；和无线通信电路，设置在所述盘主体的所述内部中并耦接到所述微控制器，所述无线通信电路适于将所述测量数据无线传输到无线接入点装置。2.如权利要求1所述的检测器盘，其中所述传感器适于检测空气分子污染物或挥发性有机化合物中至少一种的粒子的以ppm计的化学气体污染物水平。3.如权利要求1所述的检测器盘，其中所述传感器是固态传感器，所述固态传感器：在10秒内测量所述化学气体污染物的水平的浓度的百分之五十；和在30秒内测量所述化学气体污染物的水平的所述浓度的百分之九十。4.如权利要求1所述的检测器盘，进一步包括印刷电路板(pcb)，所述pcb设置在所述盘主体的所述内部中并且在所述pcb上至少设置有所述传感器，其中所述底盘包括基板且所述顶盖进一步包括侧壁，所述侧壁附接到所述底盘并包围所述pcb，所述侧壁包括至少一个开口以提供通往连接器接口的入口，所述连接器接口附接到所述pcb。5.如权利要求1所述的检测器盘，进一步包括：印刷电路板(pcb)，设置在所述盘主体的所述内部中，并且在所述pcb上至少设置有所述传感器；和串行通信接口，所述串行通信接口将所述传感器耦接到所述pcb，所述串行通信接口将所述检测信号从所述传感器传输到所述pcb，其中所述串行通信接口是串行外围接口或互集成电路接口中的一者。6.如权利要求1所述的检测器盘，其中所述顶盖包括靠近所述第一孔定位的第二孔，所述检测器盘进一步包括：印刷电路板(pcb)，设置在所述盘主体的所述内部中，并且在所述pcb上至少设置有所述传感器；和轴流风扇，在所述pcb上设置在所述第二孔下方，其中所述轴流风扇用以使空气移动通过所述传感器。7.如权利要求6所述的检测器，其中所述pcb包括位于所述第二孔下方的第三孔，且所述轴流风扇在所述pcb上设置在所述第二孔和所述第三孔之间，以使移动通过所述传感器的空气穿过所述第二孔进入并穿过所述pcb的所述第三孔排出。8.如权利要求1所述的检测器盘，进一步包括印刷电路板(pcb)，所述pcb设置在所述盘主体的所述内部中且在所述pcb上至少设置有所述传感器，其中所述顶盖包括一组第一孔，所述一组第一孔包括所述第一孔，且其中所述检测器盘进一步包括设置在所述pcb上的一组传感器，所述一组传感器包括所述传感器，其中所述一组传感器中的每个传感器靠近所述一组第一孔中的一个第一孔定位。9.如权利要求8所述的检测器盘，其中所述顶盖包括靠近所述一组第一孔的一组第二
孔，且所述pcb包括位于所述一组第二孔下方的一组第三孔，且其中所述检测器盘进一步包括设置在所述pcb上的在所述一组第二孔和所述一组第三孔之间的一组轴流风扇，所述一组轴流风扇用以使空气移动通过所述一组传感器。10.如权利要求1所述的检测器盘，进一步包括：印刷电路板(pcb)，设置在所述盘主体的所述内部中，其中所述传感器、所述微控制器、和所述无线通信电路设置在所述pcb上；存储卡，设置在所述pcb上，所述存储卡用于储存所述测量数据；电池，设置在所述pcb上；和电源管理器，所述电源管理器与所述电池耦接，所述电源管理器包括升压转换器以将所述电池的电压源转换为足以至少为所述微控制器、所述传感器、和所述存储卡供电的功率水平。11.如权利要求1所述的检测器盘，其中所述盘主体的厚度在6毫米(mm)和9mm之间，且其中所述盘主体的直径为约190mm至320mm。12.一种检测器盘，包括：基板盘；吸附剂管，附接到所述基板盘，所述吸附剂管包括在第一端的第一开口和在第二端的第二开口，所述第一开口被盖住；微机电系统(mems)泵，设置所述基板盘，所述mems泵包括附接到所述吸附剂管的所述第二开口以迫使环境空气进入所述吸附剂管的空气管，其中所述mems泵在启动后在校准时间段后自动关闭；和微控制器，设置在所述基板盘上，并耦接到所述mems泵，所述微控制器用以启动所述泵。13.如权利要求12所述的检测器盘，其中所述检测器盘的厚度在6毫米(mm)和9mm之间，且其中所述吸附剂管利用夹具附接到所述基板盘。14.如权利要求12所述的检测器盘，进一步包括：印刷电路板(pcb)，设置在所述基板盘的中央部分上，其中所述mems泵和所述微控制器设置在所述pcb上；第二吸附剂管，附接到所述基板盘，所述第二吸附剂管包括在第一端的第三开口和在第二端的第四开口，所述第三开口被盖住；和第二mems泵，设置在所述基板盘或所述pcb中的一者上，并且包括附接到所述第二吸附剂管的所述第四开口以迫使环境空气进入所述第二吸附剂管的第二空气管，其中所述第二mems泵在启动后在所述校准时间段之后自动关闭；并且其中所述微控制器进一步耦接到所述第二mems泵，所述微控制器进一步用以启动所述第二mems泵。15.如权利要求12所述的检测器盘，其中所述环境空气是基板处理系统的储存位置、工厂界面、装载锁定室、移送腔室、或处理腔室中的至少一者的环境空气。16.一种方法，包括：由第一机器人将检测器盘从储存位置移动穿过工厂界面到处理系统的装载锁定室中，所述检测器盘包括：
传感器，适于检测空气中化学气体污染物的水平；和与所述传感器耦接的无线通信电路；由第二机器人将所述检测器盘从所述装载锁定室移动穿过移送腔室并进入所述处理系统的处理腔室；使用所述检测器盘的所述传感器检测所述储存位置、所述工厂界面、所述装载锁定室、所述移送腔室、或所述处理腔室中的至少一者中的化学气体污染物的水平；和用所述检测器盘的所述无线通信电路将测量数据无线传输到无线接入点(wap)装置，其中所述测量数据包括指示在所述储存位置、所述工厂界面、所述装载锁定室、所述移送腔室、或所述处理腔室中的所述至少一者中的化学气体污染物的检测的水平的信息。17.如权利要求16所述的方法，其中传输的步骤包括以下至少之一：当所述检测器盘位于所述储存位置时，将所述测量数据的第一部分传输到所述wap装置；当所述检测器盘在所述工厂界面中时，将所述测量数据的第二部分传输到所述wap装置；当所述检测器盘在所述装载锁定室中时，将所述测量数据的第三部分传输到所述wap装置；当所述检测器盘在所述移送腔室中时，将所述测量数据的第四部分传输到所述wap装置；和当所述检测器盘在所述处理腔室中时，将所述测量数据的第五部分传输到所述wap装置。18.如权利要求16所述的方法，进一步包括：由所述第二机器人将所述检测器盘从所述处理腔室移动穿过所述移送腔室并返回到所述处理系统的所述装载锁定室中；由所述第一机器人将所述检测器盘从所述装载锁定室移动穿过所述工厂界面并返回到所述处理系统的所述储存位置；使用所述检测器盘的所述传感器在所述检测器盘到所述储存位置的返程期间检测所述处理腔室、所述移送腔室、所述装载锁定室、所述工厂界面、或所述储存位置中的至少一者中的化学气体污染物的水平；和使用所述无线通信电路将第二测量数据无线传输到所述wap装置，其中所述第二测量数据包括指示所述返程上的所述处理腔室、所述移送腔室、所述装载锁定室、所述工厂界面、或所述储存位置中的至少一者中的化学气体污染物的水平的信息。19.如权利要求16所述的方法，进一步包括在位于工厂界面外部的包括所述储存位置的空气中校准所述传感器，其中所述校准包括建立由所述传感器检测到的所述化学气体污染物的水平的基线。20.如权利要求16所述的方法，进一步包括：从所述传感器接收检测信号，所述检测信号指示化学气体污染物的检测的水平；使用信号调节器调节所述检测信号以产生经调节的模拟信号；使用模拟-数字转换器将经调节的所述模拟信号转换为数字信号；和通过测量所述数字信号内的化学气体污染物的所述检测的水平的离散值来转换所述
数字信号以产生所述测量数据。

技术总结
一种检测器盘包括盘主体，盘主体具有底盘和顶盖，顶盖包括第一孔。传感器设置在盘主体内部并定位成经由顶盖中的第一孔而暴露于外部环境。固态传感器适于检测化学气体污染物的水平并基于化学气体污染物的检测的水平输出检测信号。微控制器设置在PCB上并适于由检测信号中包含的化学气体污染物的检测的水平产生测量数据。无线通信电路设置在PCB上，无线通信电路适于将测量数据无线传输到无线接入点装置。装置。装置。


技术研发人员：德文德拉
受保护的技术使用者：应用材料公司
技术研发日：2021.06.08
技术公布日：2023/1/31