温度调节系统及其控制方法和直写式曝光设备与流程

1.本发明涉及直写式曝光设备技术领域，尤其是涉及一种温度调节系统及其控制方法和直写式曝光设备。


背景技术：

2.直写式曝光设备相较于传统曝光设备，节省了掩膜版制作的环节，能够高效地曝光所需图形且对位精度高。基于此，在一些行业中直写式曝光设备取代了传统曝光设备。
3.相关技术中，现有直写式曝光设备中温度调节系统的设计存在差异，温度调节系统的设计中通过工业空调或者热交换器对整个设备内部进行冷却，例如将工业空调放置于设备后端，使用风管将冷风通入设备内部，以对设备内部的环境温度进行降温，或者在温度调节系统的设计中将热交换器安装于设备内部，对设备内部进行散热。但是，上述设计中，由于现有直写式曝光设备在非曝光状态与曝光状态之间，存在非常大的发热量差距，且在曝光状态下，发热量的聚集时间非常短，因此采用换热器或工业空调的手段，无法做到制冷量与发热量的快速匹配，且有一定的迟滞性，导致在巨大发热量出现时，无法进行有效的中和制冷量与发热量，从而使得设备内部存在较大的温度波动，影响设备性能。


技术实现要素：

4.本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提出一种温度调节系统，采用该温度调节系统可以使直写式曝光设备内部的温度保持稳定，从而解决了温度波动对直写式曝光设备性能影响的问题。
5.本发明的目的之二在于提出一种直写式曝光设备。
6.本发明的目的之三在于提出一种温度调节系统的控制方法。
7.为了解决上述问题，本发明第一方面实施例提出了一种温度调节系统，用于直写式曝光设备，所述直写式曝光设备包括机体，所述机体内形成有容纳腔，所述容纳腔内设置有曝光模块、对准模块和运动平台模块，所述温度调节系统包括：空调装置，所述空调装置安装于所述机体上，所述空调装置包括壳体以及设置于所述壳体内的压缩机，所述壳体上具有出风口和回风口，所述空调装置用于驱动空气从所述出风口经所述曝光模块后移动至所述回风口，以调节所述曝光模块的工作环境温度；第一温度采集装置，用于采集所述回风口的回风温度；加热装置，所述加热装置安装于所述空调装置内；控制装置，所述控制装置与所述空调装置、所述第一温度采集装置、所述加热装置连接，获取所述回风温度和所述压缩机的当前转速值，并根据所述回风温度和所述当前转速值控制所述加热装置的工作状态。
8.根据本发明实施例的温度调节系统，基于空调装置和加热装置的设置，通过回风口处的回风温度和压缩机的当前转速值来控制加热装置的工作状态，由此在直写式曝光设备内部出现较大的温度波动时，可通过加热装置的工作状态来稳定直写式曝光设备内的温度，解决因温度波动对直写式曝光设备性能影响的问题，如在直写式曝光设备内部发热量
较小时则控制加热装置开启加热功能，由此则可使得压缩机保持开启状态，使得空调装置一直处于制冷模式，从而在直写式曝光设备切换至曝光状态时，可以快速使得空调装置产生的制冷量与曝光模块的发热量进行中和，使得直写式曝光设备内的温度保持稳定，降低在温度波动时因空调无法及时降温造成的迟滞现象，而在直写式曝光设备内部发热量较大时则控制加热装置停止加热功能，由空调装置仅对直写式曝光设备进行降温，确保直写式曝光设备能够持续稳定的工作。
9.在一些实施例中，所述曝光模块包括第一龙门架构和设置于所述第一龙门架构上的光学组件；所述容纳腔内形成有第一隔间和第二隔间，所述空调装置和所述光学组件位于所述第一隔间内，所述第一龙门架构位于所述第二隔间内；所述温度调节系统还包括隔板，所述隔板用于格挡所述出风口和所述回风口，以使得所述出风口与所述回风口之间形成第一冷却循环回路，所述光学组件设于所述第一冷却循环回路上。
10.在一些实施例中，所述对准模块和所述运动平台模块位于所述第二隔间内；所述温度调节系统还包括：风机过滤机组，所述风机过滤机组安装于所述机体上且位于所述第二隔间内，用于吸入并过滤外部空气，并将过滤后的外部空气送入所述第二隔间；第一风机，所述第一风机安装于所述机体上且位于所述第二隔间内，所述第一风机用于将所述第二隔间的空气输送至所述机体的外部；其中，所述风机过滤机组与所述第一风机共同将所述第二隔间内的空气与外部空气进行热交换，以对所述对准模块、所述运动平台模块进行冷却散热。
11.在一些实施例中，沿所述机体的长度方向，所述机体具有前端和后端；所述第一风机安装于所述机体的后端；所述对准模块包括第二龙门架构和设置于所述第二龙门架构上的对位相机；所述容纳腔内还设置有底座，所述第一龙门架构和所述第二龙门架构均架设于所述底座上，以及所述运动平台模块沿所述长度方向与所述底座可滑动连接；所述温度调节系统还包括：引风管，所述引风管安装于所述机体上，且所述引风管的第一端靠近所述风机过滤机组设置，所述引风管的第二端延伸至所述机体的前端；第二风机，所述第二风机安装于所述引风管的第二端，用于将所述风机过滤机组送入所述第二隔间的空气引流至所述机体的前端；第三风机，所述第三风机沿所述长度方向安装于所述底座的前端，用于将所述机体前端的空气引流至所述机体的后端；其中，通过所述风机过滤机组和所述第一风机组形成第二冷却循环回路，以及通过所述风机过滤机组、所述第二风机、所述第三风机和所述第一风机形成第三冷却循环回路，所述第一龙门架构和所述对位相机位于所述第二冷却循环回路上，所述第二龙门架构位于所述第三冷却循环回路上；在所述直写式曝光设备处于曝光状态时，所述运动平台模块依次滑过所述第二龙门架构和所述第一龙门架构。
12.在一些实施例中，控制所述风机过滤机组的排风量为第一风量，以及控制所述第一风机的排风量为第二风量，其中，所述第一风量大于所述第二风量。
13.在一些实施例中，所述温度调节系统还包括多个第二温度采集装置，多个第二温度采集装置分散设置于所述第一隔间内，多个第二温度采集装置均与所述控制装置连接；所述控制装置，还用于获取每个第二温度采集装置采集的温度值，并基于加权平均法，根据所述温度值控制所述空调装置的制冷量。
14.本发明第二方面实施例提供一种直写式曝光设备，包括：机体，所述机体内形成有容纳腔，所述容纳腔内设置有曝光模块、对准模块和运动平台模块；上述实施例中所述的温
度调节系统，所述温度调节系统设于所述容纳腔内；电控装置，所述电控装置与所述曝光模块、所述对准模块、所述运动平台模块、所述温度调节系统连接；激光装置，所述激光装置与所述曝光模块、所述电控装置连接。
15.根据本发明实施例的直写式曝光设备，通过上述实施例的温度调节系统，可以使直写式曝光设备内部的温度保持稳定，从而解决了温度波动对直写式曝光设备性能影响的问题。
16.在一些实施例中，还包括第一机柜，所述第一机柜用于放置所述电控装置；所述电控装置通过外接线与所述曝光模块、所述对准模块、所述运动平台模块、所述温度调节系统连接；和/或，还包括第二机柜，所述第二机柜用于放置所述激光装置；所述激光装置通过外接线与所述曝光模块连接。
17.本发明第三方面实施例提供一种温度调节系统的控制方法，用于上述实施例中所述的温度调节系统，所述温度调节系统包括空调装置和加热装置，所述空调装置包括壳体以及设置于所述壳体内的压缩机，所述壳体上具有出风口和回风口，所述控制方法包括：获取所述回风口处的回风温度和所述压缩机的当前转速值；根据所述回风温度和所述当前转速值控制所述加热装置的工作状态。
18.根据本发明实施例的温度调节系统的控制方法，通过回风口处的回风温度和压缩机的当前转速值来控制加热装置的工作状态，由此在直写式曝光设备内部出现较大的温度波动时，可通过加热装置的工作状态来稳定直写式曝光设备内的温度，解决因温度波动对直写式曝光设备性能影响的问题，如在直写式曝光设备内部发热量较小时则控制加热装置开启加热功能，由此则可使得压缩机保持开启状态，使得空调装置一直处于制冷模式，从而在直写式曝光设备切换至曝光状态时，可以快速使得空调装置产生的制冷量与曝光模块的发热量进行中和，使得直写式曝光设备内的温度保持稳定，降低在温度波动时因空调无法及时降温造成的迟滞现象，而在直写式曝光设备内部发热量较大时则控制加热装置停止加热功能，由空调装置仅对直写式曝光设备进行降温，确保直写式曝光设备能够持续稳定的工作。
19.在一些实施例中，根据所述回风温度和所述当前转速值控制所述加热装置的工作状态，包括：若确定所述回风温度小于或等于设定温度，且所述当前转速值小于或等于最低允许转速，则控制所述加热装置的工作状态为启动加热状态；若确定所述回风温度大于设定温度，则控制所述加热装置的工作状态为停止加热状态。
20.本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
附图说明
21.本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
22.图1是根据本发明一个实施例的直写式曝光设备的示意图；
23.图2是根据本发明一个实施例的温度调节系统的结构框图；
24.图3是根据本发明一个实施例的温度调节系统的示意图；
25.图4是根据本发明另一个实施例的温度调节系统的结构框图；
26.图5是根据本发明另一个实施例的直写式曝光设备的示意图。
27.附图标记：
28.直写式曝光设备100；温度调节系统90；
29.机体1；容纳腔2；曝光模块3；对准模块4；运动平台模块5；空调装置6；第一温度采集装置7；加热装置8；控制装置9；隔板10；风机过滤机组11；第一风机12；引风管13；第二风机14；第三风机15；第二温度采集装置16；电控装置17；激光装置18；第一机柜19；第二机柜20；第一隔间21；第二隔间22；底座23；水冷机24；鼓风机25；第一龙门架构31；光学组件32；第二龙门架构41；对位相机42；壳体61；出风口62；回风口63。
具体实施方式
30.下面详细描述本发明的实施例，参考附图描述的实施例是示例性的，下面详细描述本发明的实施例。
31.为了解决上述问题，本发明第一方面实施例提出了一种温度调节系统90，用于直写式曝光设备100，如图1所示，直写式曝光设备100包括机体1，机体1内形成有容纳腔2，容纳腔2内设置有曝光模块3、对准模块4和运动平台模块5，如图2所示，温度调节系统90包括：空调装置6、第一温度采集装置7、加热装置8和控制装置9。
32.其中，空调装置6安装于机体1上，空调装置6包括壳体61以及设置于壳体61内的压缩机，壳体61上具有出风口62和回风口63，空调装置6用于驱动空气从出风口62经曝光模块3后移动至回风口63，以调节曝光模块3的工作环境温度；第一温度采集装置7，用于采集回风口63的回风温度；加热装置8，加热装置8安装于空调装置6内；控制装置9，控制装置9与空调装置6、第一温度采集装置7、加热装置8连接，获取回风温度和压缩机的当前转速值，并根据回风温度和当前转速值控制加热装置8的工作状态。
33.现有直写式曝光设备在非曝光状态与曝光状态之间，存在非常大的发热量差距，且发热量的聚集时间非常短，因此采用换热器或工业空调的手段，无法做到制冷量与发热量的快速匹配，且有一定的迟滞性，导致在巨大发热量出现时，无法进行有效的中和制冷量与发热量，从而使得设备内部存在较大的温度波动，而由于现有的直写式曝光设备内部处于冷机状态或小剂量曝光状态下时，冷机状态为直写式曝光设备处于上电不曝光状态，此时曝光模块产生的发热量较小而压缩机无法开启，但其产生发热量会在曝光模块所在区域内聚集，当发热量聚集到一定程度以后，压缩机处于开启状态，此时空调装置开启制冷模式，使得曝光模块所在区域内的温度下降，但由于空调装置的最小制冷量高于发热量，当曝光模块所在区域内的温度达到一定温度后，空调装置的压缩机再次关闭，以此往复循环，导致曝光模块所在区域内的温度产生波动，为了解决此问题，本技术中通过设置加热装置8和空调装置6，在直写式曝光设备100内部出现较大的温度波动时，控制装置9通过出风口62的回风温度和压缩机的当前转速值来判断直写式曝光设备100的发热量多少，进而控制加热装置8的工作状态，以稳定直写式曝光设备100内的温度，解决因温度波动对直写式曝光设备100性能影响的问题，如在根据回风温度和当前转速值确定直写式曝光设备100的发热量较小时，则控制加热装置8的工作状态为启动加热状态，以开启加热功能，由此在加热装置8的加热下，可以使得空调装置6周围的热量升高，从而促使空调装置6仍然满足开启条件，即确保压缩机始终保持开启状态，使得空调装置6一直处于制冷模式，进而当直写式曝光设备
100切换曝光状态，即曝光模块3所在区域的工作环境温度升高，即曝光模块3的发热量变大时，因空调装置6处于制冷模式，因此空调装置6可以快速根据曝光模块3的发热量调节空调装置6的制冷量，以及时中和空调装置6产生的制冷量与曝光模块3的发热量，使得直写式曝光设备100的工作环境温度保持稳定，由此既避免了因空调装置6往复开启和关闭而导致温度产生波动的问题，又可以有效降低在温度波动时因空调无法及时降温造成的迟滞现象。而在直写式曝光设备100内部发热量较大时则控制加热装置8的工作状态为停止加热状态，以停止加热功能，由空调装置6仅对直写式曝光设备100进行降温，确保直写式曝光设备100能够持续稳定的工作。
34.具体地，当第一温度采集装置7将采集到的回风温度传送到控制装置9，以及将转速传感器检测到的压缩机的当前转速值传送到控制装置9，控制装置9根据回风温度和当前转速值，以控制加热装置8的工作状态。当回风温度未达到设定温度，且压缩机的当前转速值为最低允许转速时，则说明直写式曝光设备100切换至非曝光状态，或者在小剂量曝光状态下，曝光模块3所在区域内的工作环境温度较低，即曝光模块3的发热量变小，此时为避免因直写式曝光设备100的工作环境温度达不到空调装置6的开启条件，导致压缩机无法正常工作而造成温度波动的问题，本技术中的控制装置9控制加热装置8的工作状态为启动加热状态，以开启加热功能，由此则可使得压缩机保持开启状态，使得空调装置6一直处于制冷模式，由此即使当直写式曝光设备100切换至曝光状态，发热量的聚集时间非常短时，而由于空调装置6仍保持运行制冷模式，且空调装置6的压缩机采用变频压缩机，从而使得空调装置6可根据曝光模块的3发热量实时调节制冷量，实现制冷量与发热量的快速匹配，可以快速使得空调装置6产生的制冷量与曝光模块3的发热量进行中和，使得直写式曝光设备100内的温度保持稳定，降低在温度波动时因空调无法及时降温造成的迟滞现象；当回风温度达到设定温度，则说明在曝光状态下，曝光模块3所在区域内的工作环境温度已逐渐升高，曝光模块3的发热量已达到空调装置6的开启条件，此时压缩机可以正常工作，因此无需开启加热装置8，因此控制加热装置8的工作状态为停止加热状态，以停止加热功能，并且空调装置6在制冷模式下根据曝光模块的3发热量实时调节制冷量，以对直写式曝光设备100进行降温，避免因工作环境温度过高而影响直写式曝光设备100的精度，确保直写式曝光设备100能够持续稳定的工作，由此，本技术中通过设置加热装置8和空调装置6来稳定直写式曝光设备100内的温度，解决因温度波动对直写式曝光设备100性能影响的问题。
35.其中，设定温度可以理解为根据直写式曝光设备100内部工作环境温度设置的温度值，如设定温度可以为22℃。
36.根据本发明实施例的温度调节系统90，基于空调装置6和加热装置8的设置，通过回风口处的回风温度和压缩机的当前转速值来控制加热装置8的工作状态，由此在直写式曝光设备10内部出现较大的温度波动时，可通过加热装置8的工作状态来稳定直写式曝光设备100内的温度，解决因温度波动对直写式曝光设备100性能影响的问题，如在直写式曝光设备100内部发热量较小时则控制加热装置8开启加热功能，由此则可使得压缩机保持开启状态，使得空调装置6一直处于制冷模式，从而在直写式曝光设备100切换至曝光状态时，可以快速使得空调装置6产生的制冷量与曝光模块3的发热量进行中和，使得直写式曝光设备内的温度保持稳定，降低在温度波动时因空调无法及时降温造成的迟滞现象，而在直写式曝光设备100内部发热量较大时则控制加热装置8停止加热功能，由空调装置6仅对直写
式曝光设备100进行降温，确保直写式曝光设备100能够持续稳定的工作。
37.在一些实施例中，如图1所示，曝光模块3包括第一龙门架构31和设置于第一龙门架构31上的光学组件32。如图3所示，温度调节系统90还包括隔板10。
38.其中，容纳腔2内形成有第一隔间21和第二隔间22，空调装置6和光学组件32位于第一隔间21内，第一龙门架构31位于第二隔间22内；隔板10用于格挡出风口62和回风口63，以使得出风口62与回风口63之间形成第一冷却循环回路，光学组件32设于第一冷却循环回路上。
39.具体地，大功率的激光通过光学组件32形成曝光图案，由于激光存在50％以上的能量损失，导致光学组件32在曝光时会产生大量的发热量，且该发热量是引起机体1内部温度波动的重要因素。因此本技术中通过将空调装置6和光学组件32位于第一隔间21内，通过空调装置6对光学组件32的发热量进行独立控制。也就是说，当光学组件32在曝光时会产生大量的发热量，由于隔板10将出风口62和回风口63隔离，回风口63将光学组件32的发热量吸入到空调装置6，空调装置6可根据光学组件32的发热量实时调节空调装置6的制冷量，空调装置6通过出风口62将制冷量排出，以中和空调装置6产生的制冷量与光学组件32的发热量，从而平衡光学组件32在曝光过程中产生的热量，达到稳定温度的目的。此外，曝光模块3还可以包括数字处理系统。容纳腔2内由钣金结构件形成第一隔间21和第二隔间22。
40.在一些实施例中，如图3所示，温度调节系统90还包括风机过滤机组11和第一风机12。
41.其中，对准模块4和运动平台模块5位于第二隔间22内；风机过滤机组11安装于机体1上且位于第二隔间22内，用于吸入并过滤外部空气，并将过滤后的外部空气送入第二隔间22；第一风机12安装于机体1上且位于第二隔间22内，第一风机12用于将第二隔间22的空气输送至机体1的外部；其中，风机过滤机组11与第一风机12共同将第二隔间22内的空气与外部空气进行热交换，以对对准模块4、运动平台模块5进行冷却散热。
42.具体地，由于对准模块4对温度调节系统90的散热有较高的要求，且机体1内的温度变化会影响到对准模块4的稳定性，由此本技术中通过风机过滤机组11和第一风机12，以对对准模块4进行冷却散热，也就是说，当风机过滤机组11将外部空气吸入第二隔间22，并且对外部空气进行过滤后，吸入第二隔间22的一部分空气与第二隔间22内的对准模块4产生的热量进行热交换，以对对准模块4进行冷却散热，以及第二隔间22的一部分空气再与第二隔间22内的运动平台模块5在移动过程中产生的热量进行热交换，即对运动平台模块5的电机进行冷却散热，第一风机12再将与对准模块4和运动平台模块5进行热交换后的空气抽出机体1。由此，外部空气通过风机过滤机组11和第一风机12，以对对准模块4和运动平台模块5进行冷却散热。此外，风机过滤机组11可以由高效空气过滤器(hepa，high efficiency particulate air filter)以及轴流风机组成。
43.在一些实施例中，如图1和图3所示，沿机体1的长度方向，机体1具有前端和后端；第一风机12安装于机体1的后端；对准模块4包括第二龙门架构41和设置于第二龙门架构41上的对位相机42；容纳腔2内还设置有底座23，第一龙门架构31和第二龙门架构41均架设于底座23上，以及运动平台模块5沿长度方向与底座23可滑动连接。
44.在一些实施例中，如图3所示，温度调节系统90还包括引风管13、第二风机14和第三风机15，其中，引风管13安装于机体1上，且引风管13的第一端靠近风机过滤机组11设置，
引风管13的第二端延伸至机体1的前端；第二风机14安装于引风管13的第二端，用于将风机过滤机组11送入第二隔间22的空气引流至机体1的前端；第三风机15沿长度方向安装于底座23的前端，用于将机体1前端的空气引流至机体1的后端；其中，通过风机过滤机组11和第一风机12组形成第二冷却循环回路，以及通过风机过滤机组11、第二风机14、第三风机15和第一风机12形成第三冷却循环回路，第一龙门架构31和对位相机42位于第二冷却循环回路上，第二龙门架构41位于第三冷却循环回路上；在直写式曝光设备100处于曝光状态时，运动平台模块5依次滑过第二龙门架构41和第一龙门架构31。
45.具体地，过滤后外部空气进入第二隔间22内后，第二隔间22内的一部分空气从引风管13的第一端进入引风管13，空气再从引风管13流到第二风机14，第二风机14将引风管13内的第二隔间22的空气引流至机体1的前端，即第二风机14将第二隔间22的空气吹到机体1的前端，第三风机15再将第二隔间22的空气引流至机体1的后端，即第三风机15将第二隔间22的空气吹到机体1的后端，由此第二隔间22的空气通过风机过滤机组11、第二风机14、第三风机15和第一风机12形成第三冷却循环回路，第三冷却循环回路将所在区域的热量带走，即流动的空气可持续带走运动平台模块5的电机产生的热量，将待曝光的基板放置在电机的吸盘组件上，当直写式曝光设备100处于曝光状态时，运动平台模块5依次滑过第二龙门架构41和第一龙门架构31，将基板输送到曝光模块3所在位置的下方进行曝光时，当曝光模块3将激光照射到运动平台模块5上时，运动平台模块5会产生大量热量，由此第三冷却循环回路内流动的空气可持续带走运动平台模块5产生的热量，以及第二冷却循环回路内流动的空气也可对运动平台模块5进行散热，由此降低运动平台模块5的温度，再由机体1后端第一风机12将进行热交换后的第二隔间22的空气抽出机体1内部。此外，通过控制机体1上的自动门打开，将基板放置在电机的吸盘组件上。对准模块4可以包括直线电机，对位相机42安装于直线电机上。
46.由此，当曝光模块3在曝光状态时产生的大量热量而引起温度波动时，本技术中通过将曝光模块3设置在第一隔间21，以及在第一隔间21内设计第一冷却循环回路，使得温度波动的空气沿着第一冷却循环回路有序流动，以及将对准模块4和运动平台模块5设置于机体1的第二隔间22，从而避免温度波动的空气对对准模块4和运动平台模块5精度较高的模块产生严重影响，进而避免影响直写式曝光设备100的性能指标，并在第二隔间22内设计第二冷却循环回路和第三冷却循环回路，以对对准模块4和运动平台模块5进行冷却散热。
47.在一些实施例中，控制风机过滤机组11的排风量为第一风量，以及控制第一风机12的排风量为第二风量，其中，第一风量大于第二风量，由于风机过滤机组11的排风量大于第一风机12的排风量，从而使直写式曝光设备100的机体1内处于正压状态，使得外部灰尘无法在机体1内停留，也就是说，当外部灰尘进入机体1后时，由于风机过滤机组11的排风量大于第一风机12的排风量，从而将外部灰尘从第一风机12处吹出，以为机体1内提供无尘空间。
48.在一些实施例中，如图4所示，温度调节系统90还包括多个第二温度采集装置16。
49.其中，多个第二温度采集装置16分散设置于第一隔间21内，多个第二温度采集装置16均与控制装置9连接；控制装置9，还用于获取每个第二温度采集装置16采集的温度值，并基于加权平均法，根据温度值控制空调装置6的制冷量。
50.具体地，当多个第二温度采集装置16实时采集到对应位置处的温度值后，将采集
到的温度值传送到控制装置9，由于曝光模块3在曝光状态时其所在区域会聚集大量的发热量，而每个第二温度采集装置16的所处位置与曝光模块3的距离不同，使得每个第二温度采集装置16所采集的温度值对应的权重值不同，可以理解的是权重值代表不同位置的温度值对第一隔间21全局温度状态影响的程度，例如，在曝光模块3的位置处设置的第二温度采集装置16，其采集的温度值对应的权重值为40％，因此控制装置9基于加权平均法对所有采集的温度值进行计算，可以获取能够准确代表第一隔间21内全局温度状态的温度值，再根据该温度值控制空调装置6的制冷量，即根据第一隔间21内的温度变化情况增加或减少空调装置6的制冷量，从而不会发生因一个位置处的温度值的剧烈变化，而引起制冷量的剧烈波动，进而导致第一隔间21区域内的温度不稳定。其中，权重值可以理解为根据温度调节系统90的实际情况测试的数值，对此不作限制。
51.本发明第二方面实施例提供一种直写式曝光设备100，该直写式曝光设备100包括，包括机体1、上述实施例中的温度调节系统90、电控装置17和激光装置18。
52.其中，机体1内形成有容纳腔2，容纳腔2内设置有曝光模块3、对准模块4和运动平台模块5；温度调节系统90设于容纳腔2内；电控装置17与曝光模块3、对准模块4、运动平台模块5、温度调节系统90连接；激光装置18与曝光模块3、电控装置17连接。
53.具体地，外接线可以为电源线和控制线，电控装置17通过电源线为曝光模块3、对准模块4、运动平台模块5、温度调节系统90和激光装置18提供电力，以及通过控制线对曝光模块3、对准模块4、运动平台模块5、温度调节系统90和激光装置18进行控制，以实现相关的控制功能。激光装置18通过光纤与曝光模块3连接，也就是说，直写式曝光设备100在曝光状态时，电控装置17为激光装置18输入电能，激光装置18再将电能转化为激光能量，激光装置18再通过光纤将激光能量输送到曝光模块3，从而为直写式曝光设备100提供曝光所需的光源。此外，电控装置17包括控制器、电源模块、驱动器、服务器和工控机。如图5所示，直写式曝光设备100还可以包括水冷机24和鼓风机25，其中水冷机24为直写式曝光设备100中的一些内部芯片提供水冷散热，鼓风机25为直写式曝光设备100提供真空环境。
54.根据本发明实施例的直写式曝光设备100，通过上述实施例的温度调节系统90，可以使直写式曝光设备100内部的温度保持稳定，从而解决了温度波动对直写式曝光设备100性能影响的问题。
55.在一些实施例中，如图5所示，直写式曝光设备100还包括第一机柜19，第一机柜19用于放置电控装置17；电控装置17通过外接线与曝光模块3、对准模块4、运动平台模块5、温度调节系统90连接；和/或，还包括第二机柜20，第二机柜20用于放置激光装置18；激光装置18通过外接线与曝光模块3连接。
56.具体地，电控装置17可以设置于直写式曝光设备100内部，如将电控装置17设置在直写式曝光设备100内部划分的第三隔间区域内；或者，也可以独立设置于直写式曝光设备100外部，即通过在直写式曝光设备100外部的第一机柜19放置电控装置17，由于，直写式曝光设备100的曝光功率大，使得电控装置17发出的热量较大，且电控装置17发出的热量在直写式曝光设备100内部堆积，因此通过设置第三隔间或独立设置第一机柜19放置电控装置17，以对电控装置17进行隔离，从而避免引起直写式曝光设备100内部的温度波动。
57.以及，激光装置18可以设置于直写式曝光设备100内部，如将激光装置18设置在直写式曝光设备100内部划分的第四隔间区域内；或者，也可以独立设置于直写式曝光设备
100外部，即通过在直写式曝光设备100外部的第二机柜20放置激光装置18。因此通过设置第四隔间或独立设置第二机柜20放置激光装置18，以对激光装置18进行隔离。
58.由于将电控装置17和激光装置18可以通过在外部单独设置机柜放置，使得直写式曝光设备100的外部无较大发热量器件，因此未设置空调等制冷设备对电控装置17和激光装置18进行散热，而通过外部空气对电控装置17和激光装置18进行散热，从而降低成本，以及本技术中从系统架构层面对直写式曝光设备100进行了梳理，通过将原先安装于设备内部的部分热源移出设备内部，使得设备内部的发热量容易控制，从而对设备内部温度调节系统90的设计带来了益处。
59.此外，激光装置18为整个设备提供曝光最核心的激光光源，通过给激光器输入电能，激光器即可将电能转化为激光能量，因存在光电转化效率的问题，所以激光器本身发热量较大，因此可在激光装置18内部设计散热流道，由此可通过水冷方式对激光装置18所产生出的热量进行散热。
60.本发明第三方面实施例提供一种温度调节系统的控制方法，用于上述实施例中的温度调节系统，温度调节系统包括空调装置和加热装置，空调装置包括壳体以及设置于壳体内的压缩机，壳体上具有出风口和回风口，控制方法包括：获取回风口处的回风温度和压缩机的当前转速值；根据回风温度和当前转速值控制加热装置的工作状态。
61.具体地，现有直写式曝光设备在非曝光状态与曝光状态之间，存在非常大的发热量差距，且发热量的聚集时间非常短，现有设备中采用的换热器和工业空调等手段，无法进行有效的中和制冷量与发热量，从而使得设备内部存在较大的温度波动，由此，在直写式曝光设备内部出现较大的温度波动时，通过出风口的回风温度和压缩机的当前转速值来判断直写式曝光设备的发热量多少，进而控制加热装置的工作状态，以稳定直写式曝光设备内部的温度，解决因温度波动对直写式曝光设备性能影响的问题，如在根据回风温度和当前转速值确定直写式曝光设备的发热量较小时，则控制加热装置的工作状态为启动加热状态，以开启加热功能，由此在加热装置的加热下，可以使得空调装置周围的热量升高，从而促使空调装置仍然满足开启条件，即确保压缩机始终保持开启状态，使得空调装置一直处于制冷模式，进而当直写式曝光设备切换曝光状态，即曝光模块所在区域的工作环境温度升高，即曝光模块的发热量变大时，因空调装置处于制冷模式，因此空调装置可以快速根据曝光模块的发热量调节空调装置的制冷量，以及时中和空调装置产生的制冷量与曝光模块的发热量，使得直写式曝光设备的工作环境温度保持稳定，由此既避免了因空调装置往复开启和关闭而导致温度产生波动的问题，又可以有效降低在温度波动时因空调无法及时降温造成的迟滞现象。而在直写式曝光设备内部发热量较大时则控制加热装置的工作状态为停止加热状态，以停止加热功能，由空调装置仅对直写式曝光设备进行降温，确保直写式曝光设备能够持续稳定的工作。
62.根据本发明实施例的温度调节系统的控制方法，通过回风口处的回风温度和压缩机的当前转速值来控制加热装置的工作状态，由此在直写式曝光设备内部出现较大的温度波动时，可通过加热装置的工作状态来稳定直写式曝光设备内的温度，解决因温度波动对直写式曝光设备性能影响的问题，如在直写式曝光设备内部发热量较小时则控制加热装置开启加热功能，由此则可使得压缩机保持开启状态，使得空调装置一直处于制冷模式，从而在直写式曝光设备切换至曝光状态时，可以快速使得空调装置产生的制冷量与曝光模块的
发热量进行中和，使得直写式曝光设备内的温度保持稳定，降低在温度波动时因空调无法及时降温造成的迟滞现象，而在直写式曝光设备内部发热量较大时则控制加热装置停止加热功能，由空调装置仅对直写式曝光设备进行降温，确保直写式曝光设备能够持续稳定的工作。
63.在一些实施例中，当直写式曝光设备处于冷机状态或小剂量曝光状态下时，通过获取到的回风温度和当前转速值控制加热装置的工作状态，若确定回风温度小于或等于设定温度，且当前转速值小于或等于最低允许转速，则说明直写式曝光设备切换至非曝光状态，或者在小剂量曝光状态下，曝光模块所在区域内的温度较低，即曝光模块的发热量较小，此时为避免因直写式曝光设备的工作环境温度达不到空调装置的开启条件，导致压缩机无法正常工作而造成温度波动的问题，则控制加热装置的工作状态为启动加热状态，以开启加热功能，由此则可使得压缩机保持开启状态，使得空调装置一直处于制冷模式，由此即使当直写式曝光设备切换至曝光状态，发热量的聚集时间非常短时，而由于空调装置仍保持运行制冷模式，空调装置在制冷模式下可根据曝光模块的发热量实时调节制冷量，实现制冷量与发热量的快速匹配，可以快速使得空调装置产生的制冷量与曝光模块的发热量进行中和，使得直写式曝光设备内的温度保持稳定，降低在温度波动时因空调无法及时降温造成的迟滞现象。
64.若确定回风温度大于设定温度，则说明在曝光状态下，曝光模块所在区域内的工作环境温度已逐渐升高，曝光模块的发热量已达到空调装置的开启条件，此时压缩机可以正常工作，因此无需开启加热装置，因此控制加热装置的工作状态为停止加热状态，以停止加热功能，并且空调装置在制冷模式下根据曝光模块的发热量实时调节制冷量，以对直写式曝光设备进行降温，避免因工作环境温度过高而影响直写式曝光设备的精度，确保直写式曝光设备能够持续稳定的工作。
65.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。
66.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。