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一种氦测仪器的制作方法

2023-01-15 18:50:31 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种氦测仪器,其特征在于,包括固定座、活动丝杆、固定板、升降板、氦气填充组件、密封组件和氦气浓度探测头,所述活动丝杆设置于所述固定座的上方,所述固定板设置于所述活动丝杆的顶端,所述升降板与所述活动丝杆的输出端活动连接,所述密封组件设置于所述升降板的上方,所述氦气填充组件与所述密封组件管道连接,所述氦气浓度探测头设置于所述升降板的上方;所述密封组件包括固定框和滑动框,所述升降板的顶端设置有第一通孔和滑动槽,所述滑动框与所述滑动槽滑动连接,并位于所述升降板的上方,所述固定框与所述升降板固定连接,并位于所述滑动框的一侧,所述固定框和所述滑动框的顶端均设置有半圆孔,所述固定框与所述氦气填充组件管道连接。2.如权利要求1所述的一种氦测仪器,其特征在于,所述固定框包括第一框体和电磁铁,所述第一框体与所述升降板固定连接,并位于所述升降板的上方,所述电磁铁的数量为两个,两个所述电磁铁分别设置于所述第一框体的相对两侧。3.如权利要求2所述的一种氦测仪器,其特征在于,所述滑动框包括第二框体和滑动块,所述滑动块与所述滑动槽滑动连接,并位于所述滑动槽的内部,所述第二框体与所述滑动块固定连接,并位于所述滑动块的上方。4.如权利要求3所述的一种氦测仪器,其特征在于,所述滑动块还包括金属片,所述金属片的数量为两个,两个所述金属片分别设置于所述第二框体的相对两侧。5.如权利要求4所述的一种氦测仪器,其特征在于,所述固定框和所述滑动框均还包括橡胶环,两个所述橡胶环分别设置于对应的所述半圆孔内。6.如权利要求1所述的一种氦测仪器,其特征在于,所述固定座的顶端设置有第二通孔,所述固定板的顶端设置有第三通孔,所述第三通孔位于所述第二通孔的上方。7.如权利要求6所述的一种氦测仪器,其特征在于,所述氦测仪器还包括风机,所述风机设置于所述固定座的一侧,并通过管道与所述第二通孔连通。8.如权利要求7所述的一种氦测仪器,其特征在于,所述氦测仪器还包括透气塞,所述透气塞与所述氦气浓度探测头固定连接,并位于所述氦气浓度探测头的外侧壁。9.如权利要求1所述的一种氦测仪器,其特征在于,所述氦气填充组件包括高压气罐、控制阀和软管,所述高压气罐内填充有氦气,所述控制阀设置于所述高压气罐的顶端,所述软管的一端与所述控制阀连通,所述软管的另一端与所述固定框连通。10.如权利要求1所述的一种氦测仪器,其特征在于,所述活动丝杆包括第一电机、螺纹杆和滑轨,所述第一电机设置于所述固定座的内部,所述螺纹杆通过联轴器安装于所述第一电机的上方,所述滑轨与所述固定座固定连接,并位于所述固定座的上方。

技术总结
本实用新型涉及半导体气体施工技术领域,具体涉及一种氦测仪器,包括固定座、活动丝杆、固定板、升降板、氦气填充组件、密封组件和氦气浓度探测头,密封组件包括固定框和滑动框,进行检测时,将滑动框与固定框组合,与被测管道的外侧壁形成密闭空间,将氦气浓度探测头放置在被测管道的内部,氦气填充组件向密封组件填充氦气,活动丝杆带动升降板沿被测管道缓慢上升,当氦气浓度探测头检测到数值时,说明被测管道具有裂缝或小孔,通过上述结构,对长度较长的管道进行逐段检测,便于查找裂缝位置,且氦气消耗量较小。氦气消耗量较小。氦气消耗量较小。


技术研发人员:刘兵 黄永功 叶超
受保护的技术使用者:瑞奥华科技工程(成都)有限公司
技术研发日:2022.04.06
技术公布日:2022/12/30
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