电感器部件以及其制造方法与流程

1.本发明涉及电感器部件以及其制造方法。


背景技术：

2.以往，作为电感器部件，有日本特开2016-122836号公报(专利文献1)以及日本特开2019-140202号公报(专利文献2)所记载的电感器部件。
3.日本特开2016-122836号公报中记载的电感器部件具有：电感布线、埋入有电感布线的第一磁性体主体、以及设置于第一磁性体主体的上部和下部的第二磁性体主体。第一磁性体主体包含大致球形的磁性粉。第二磁性体主体包含金属磁性板。
4.日本特开2019-140202公报中记载的电感器部件具有：电感布线、埋入有电感布线的第一磁性体主体、以及设置于第一磁性体主体的上部和下部的第二磁性体主体。第一磁性体主体包含大致球形的磁性粉。第二磁性体主体包含扁平形状的磁性粉。
5.专利文献1：日本特开2016-122836号公报
6.专利文献2：日本特开2019-140202号公报
7.然而，在上述现有的电感器部件中，在埋入有电感布线的第一磁性体主体中使用大致球形的磁性粉。因此，第一磁性体主体与包含金属磁性板、扁平形状的磁性粉的第二磁性体主体相比，磁导率较低，电感的获取效率不充分。
8.另外，作为在覆盖电感布线的第一磁性体主体中使用大致球形的磁性粉的理由是因为在扁平形状那样的非球形的磁性粉中得不到滚珠轴承效应等，难以在电感布线的周边充分填充磁性粉。
9.而且，可知在磁性粉的填充不足的情况下，在电感器部件的制造后的电特性筛选工序、安装电感器部件后，无法得到所希望的电感，此时，首次检测出磁性粉的填充不足。这样，若在制造电感器部件后检测出磁性粉的填充不良，则产品的制造损失变大。


技术实现要素：

10.因此，本公开提供能够提高电感的获取效率，还能够非破坏性地提早检测磁性粉的填充不良以减少产品的制造损失的电感器部件以及其制造方法。
11.为了解决上述课题，作为本公开的一方式的电感器部件具备：
12.坯体，具有沿着第一方向依次层叠的第一磁性层及第二磁性层；以及
13.电感布线，配置在上述第一磁性层与上述第二磁性层之间且与上述第一方向正交的平面上，
14.上述第一磁性层包含磁性粉和含有上述磁性粉的树脂，
15.上述第二磁性层包含扁平形状的磁性粉和含有上述磁性粉的树脂，
16.上述第一磁性层存在于上述电感布线的上述第一方向的相反方向上，
17.上述第二磁性层存在于上述电感布线的上述第一方向以及与上述第一方向正交的方向上，
18.在从与上述第二磁性层的上述第一方向的主面正交的方向观察上述第二磁性层的上述主面时，上述第二磁性层具有：沿着上述电感布线的暗部区域、以及明亮度比上述暗部区域亮的亮部区域，上述亮部区域是上述暗部区域以外的区域。
19.此处，沿着电感布线的暗部区域是指暗部区域沿着电感布线的延伸方向延伸，从与第二磁性层的主面正交的方向观察，暗部区域与电感布线邻接，或者，暗部区域与电感布线的至少一部分重叠。
20.根据上述实施方式，由于第二磁性层包含扁平形状的磁性粉，因此退磁场下降，得到较高的相对磁导率。另外，电感布线配置在第一磁性层与第二磁性层之间，第二磁性层存在于电感布线的第一方向以及与第一方向正交的方向上，因此能够在电感布线的周围配置扁平形状的磁性粉。由此，提高扁平形状的磁性粉的填充率，能够提高电感布线的周围的磁导率，并能够提高电感的获取效率。
21.另外，在从与第二磁性层的主面正交的方向观察时，第二磁性层具有沿着电感布线的暗部区域和暗部区域以外的区域的亮部区域，因此在第二磁性层的主面中，亮部区域的正上方看起来较亮，亮部区域的正上方看起来较暗。由此，在将第二磁性层压接于电感布线来制造时，能够确认第二磁性层所包含的磁性粉成为所希望的配置。若具体地叙述，能够判别亮部区域所包含的磁性粉的长轴与第二磁性层的主面实质上平行地配置，暗部区域所包含的磁性粉的长轴沿着与第二磁性层的主面实质上正交的方向配置。因此，扁平形状的磁性粉与大致球形的磁性粉相比，流动性差，因此在填充性上存在课题，但通过确认第二磁性层的主面的明暗，能够容易地判别第二磁性层的磁性粉是否以所希望的配置被填充，由此，能够非破坏性地提早检测磁性粉的填充不良，并能够减少产品的制造损失。
22.优选地，在电感器部件的一个实施方式中，上述第二磁性层的上述主面与上述电感布线的上述第一方向的顶面之间的、上述第二磁性层的上述第一方向的厚度为上述电感布线的上述第一方向的高度的3倍以下。
23.根据上述实施方式，第二磁性层的主面与电感布线的顶面之间的厚度为电感布线的高度的3倍以下，因此能够容易地确认暗部区域和亮部区域。
24.优选地，在电感器部件的一个实施方式中，
25.上述坯体还具备被覆膜，上述被覆膜覆盖上述第二磁性层的上述主面，
26.隔着上述被覆膜不能判别上述暗部区域以及上述亮部区域。
27.根据上述实施方式，由于隔着被覆膜不能判别暗部区域和亮部区域，因此在电感器部件的制造后的外观筛选工序时，能够抑制过度分类(过多筛选)。
28.优选地，在电感器部件的一个实施方式中，
29.在上述第二磁性层的上述主面还具备外部端子，上述外部端子与上述电感布线电连接，
30.上述被覆膜配置于上述第二磁性层的上述主面的一部分，以便上述外部端子露出，
31.上述第一磁性层的上述第一方向的相反方向的主面成为上述坯体的最表面。
32.根据上述实施方式，通过使赋予功能的层为最小限度，能够减少制造成本。
33.优选地，在电感器部件的一个实施方式中，上述第一磁性层是平板状。
34.根据上述实施方式，由于第一磁性层是平板状，因此在第一磁性层中，在与电感布
线的关系上不需要考虑磁性粉的填充性，能够自由地选择磁性粉的材料。即，磁性粉的材料的选择自由度提高。
35.优选地，在电感器部件的一个实施方式中，在从与上述第一磁性层的上述第一方向的相反方向的主面正交的方向观察上述第一磁性层的上述主面时，上述第一磁性层具有：沿着上述电感布线的第一区域、以及不能从明亮度上与上述第一区域区分的第二区域，上述第二区域是上述第一区域以外的区域。
36.此处，沿着电感布线的第一区域是指第一区域沿着电感布线的延伸方向延伸，从与第一磁性层的主面正交的方向观察，第一区域与电感布线邻接，或者，第一区域与电感布线的至少一部分重叠。不能从明亮度上区分是指不需要明亮度的差异为0，允许些许的差异。
37.根据上述实施方式，在第一磁性层的主面中，第一区域的正上方和第二区域的正上方看起来是相同的明亮度。因此，能够在外观上容易地区分电感器部件的上下。
38.优选地，在电感器部件的一个实施方式中，还具备柱状布线，上述柱状布线与上述电感布线连接，并在上述第一方向上延伸以贯通上述第二磁性层。
39.根据上述实施方式，能够从电感布线以直线状引出柱状布线，并能够抑制因额外的引绕导致的直流电阻的增加、电感获取效率的降低。
40.优选地，在电感器部件的一个实施方式中，上述电感布线以及上述柱状布线的至少一方与上述磁性粉接触。
41.根据上述实施方式，通过消除不必要的绝缘部，能够提高电感的获取效率。另外，若多个磁性粉在与第一方向正交的方向上电连结，则不同的电感布线之间、相同的电感布线的匝间有可能经由磁性粉短路，但沿着电感布线的暗部区域所包含的磁性粉的长轴沿着与第二磁性层的主面实质上正交的方向配置，因此即使电感布线以及柱状布线的至少一方与磁性粉接触，短路的可能性也较低。
42.优选地，在电感器部件的一个实施方式中，
43.上述电感布线包含朝向与上述第一方向正交的方向的侧面，
44.上述电感器部件还具备仅覆盖上述侧面的一部分的侧面绝缘部。
45.此处，侧面绝缘部仅覆盖电感布线的侧面的一部分不仅是侧面绝缘部仅与电感布线的侧面的一部分接触的状态，还包括在侧面绝缘部与电感布线的侧面的一部分之间存在其它部件，侧面绝缘部与其它部件一起仅覆盖电感布线的侧面的一部分的状态。
46.根据上述实施方式，由于侧面绝缘部仅与电感布线的侧面的一部分接触，因此例如即使在多个磁性粉在与第一方向正交的方向上电连结的情况下，电感布线的侧面的一部分也通过侧面绝缘部而不与磁性粉接触。由此，能够确保绝缘性。
47.优选地，在电感器部件的一个实施方式中，
48.上述电感布线包含朝向上述第一方向的相反方向的底面，
49.上述电感器部件还具备底面绝缘部，上述底面绝缘部与上述底面接触。
50.根据上述实施方式，通过底面绝缘部，电感布线的底面不与第一磁性层的磁性粉接触。由此，能够提高绝缘性。
51.优选地，在电感器部件的一个实施方式中，上述侧面绝缘部的上述第一方向的高度为上述电感布线的上述第一方向的高度的一半以下。
52.此处，高度是指在与电感布线延伸的方向正交的剖面上测定出的值。
53.根据上述实施方式，通过降低侧面绝缘部的高度，从而磁性层的体积增加，确保绝缘性，并且进一步提高电感获取效率。
54.优选地，在电感器部件的一个实施方式中，
55.上述电感布线包含朝向上述第一方向的顶面，
56.上述电感器部件还具备周面绝缘部，上述周面绝缘部与上述侧面和上述顶面接触，
57.上述周面绝缘部的组成与上述侧面绝缘部的组成以及上述底面绝缘部的组成不同，
58.上述侧面绝缘部的厚度比上述周面绝缘部的厚度厚。
59.此处，厚度是指在与电感布线延伸的方向正交的剖面上测定出的最大值。
60.根据上述实施方式，能够进一步提高绝缘性。
61.优选地，在电感器部件的一个实施方式中，
62.上述电感布线包含朝向与上述第一方向正交的方向的侧面，
63.在与上述电感布线延伸的方向正交的剖面中，
64.上述第二磁性层具有上述电感布线的上述侧面和在与上述第一方向正交的方向上与上述侧面分离规定距离的位置之间的侧面附近区域，
65.上述侧面附近区域所包含的上述扁平形状的磁性粉的长轴相对于上述侧面所成的角度为45
°
以下。
66.此处，侧面附近区域是由侧面、与侧面分离规定距离的位置、包含顶面的延长面以及包含底面的延长面围起的区域。距电感布线的侧面的距离设为距电感布线的侧面的底面侧的端部的距离。规定距离是电感布线的与第一方向正交的方向的宽度的1/3。
67.另外，磁性粉的长轴是指在上述剖面中通过磁性粉最长的部分的直线。通过获取与电感布线延伸的方向正交的剖面中的sem图像，并对sem图像进行二值化，将白色设为磁性粉，将黑色设为树脂，测定磁性粉的长轴与电感布线的侧面交叉的角度来导出磁性粉的长轴相对于侧面所成的角度。
68.根据上述实施方式，磁性粉的长轴相对于侧面所成的角度为45
°
以下，因此在侧面附近区域中，磁性粉的长轴与于电感布线的侧面大致平行地配置。因此，在侧面附近区域中，沿着与第一方向正交的方向交替地配置磁性粉和树脂，能够维持电感的获取效率并且确保绝缘性。
69.优选地，在电感器部件的一个实施方式中，
70.上述电感布线包含朝向与上述第一方向正交的方向的侧面，
71.在与上述电感布线延伸的方向正交的剖面中，
72.上述第二磁性层所包含的上述扁平形状的磁性粉的长轴相对于上述侧面所成的角度随着从上述电感布线的上述侧面沿与上述第一方向正交的方向远离而变大。
73.此处，磁性粉的长轴相对于侧面所成的角度变大是指角度从0
°
朝向90
°
变化。
74.根据上述实施方式，在电感布线的侧面的附近区域中，磁性粉的长轴与侧面大致平行地配置，因此沿着与第一方向正交的方向交替地配置磁性粉和树脂，能够维持电感的获取效率并且确保绝缘性。
75.优选地，在电感器部件的一个实施方式中，
76.上述第一磁性层包含扁平形状的磁性粉，
77.上述电感布线包含朝向上述第一方向的相反方向的底面，
78.在与上述电感布线延伸的方向正交的剖面中，
79.上述第一磁性层所包含的上述扁平形状的磁性粉的长轴相对于上述底面所成的角度为45
°
以下。
80.根据上述实施方式，磁性粉的长轴相对于底面所成的角度为45
°
以下，因此磁性粉的长轴与电感布线的底面大致平行地配置。因此，磁性粉的排列与磁通平行，能够获得较高的相对磁导率。
81.优选地，在电感器部件的一个实施方式中，
82.在上述电感布线延伸的方向的中央且与上述电感布线的延伸方向正交的剖面中，
83.在将上述磁性粉的最大费雷特长度设为lf，将上述磁性粉的与上述最大费雷特长度正交的厚度设为tf时，lf/tf≥10，最大费雷特长度的d90为100μm以下。
84.此处，最大费雷特长度的d90通过在200μm
×
200μm的区域获取约三点上述剖面中的sem图像，并计算其d90而求出。
85.根据上述实施方式，由于lf/tf≥10，因此能够增大磁性粉的扁平率，由此，能够获得更高的相对磁导率。
86.另外，由于最大费雷特长度的d90为100μm以下，因此能够确保绝缘性。例如，在最大费雷特长度过大的情况下，不同的电感布线间、相同的电感布线的匝间经由磁性粉短路的可能性变高。
87.优选地，在电感器部件的一个实施方式中，在上述第一磁性层以及上述第二磁性层的每个磁性层中，空隙率为1vol％以上且10vol％以下。
88.根据上述实施方式，由于空隙率为1vol％以上，因此能够通过空隙缓和残留应力、来自外部应力的应力。由于空隙率为10vol％以下，因此能够抑制电感的降低以及坯体的强度的降低。
89.优选地，在电感器部件的一个实施方式中，
90.沿着上述第一方向配置多个上述电感布线，
91.上述暗部区域是沿着位于上述第一方向的最外侧的上述电感布线的区域。
92.根据上述实施方式，通过对电感布线进行层叠化，从而能够减少对安装面积的影响。并且，若将层叠化后的电感布线串联连接，则能够提高电感。
93.优选地，在电感器部件的制造方法的一个实施方式中，具备：
94.在基底基板的主面上形成电感布线的工序；
95.从上述基底基板的主面的上方朝向上述电感布线压接磁性片，通过上述磁性片覆盖上述电感布线的顶面以及侧面的工序，其中，上述磁性片包含扁平形状的磁性粉和含有上述磁性粉的树脂；以及
96.从上述磁性片的上方观察上述磁性片，通过明暗来识别并检查在上述电感布线的上述侧面是否填充有上述磁性粉的工序。
97.根据上述实施方式，通过从磁性片的上方观察磁性片来确认明暗，从而能够容易地判别在电感布线的侧面是否填充有磁性粉，由此，能够非破坏性地且在电感器部件的制
造阶段提早检测磁性粉的填充不良，能够减少产品的制造损失。
98.根据作为本公开的一方式的电感器部件及其制造方法，能够提高电感的获取效率，另外，能够非破坏性地提早检测磁性粉的填充不良以减少产品的制造损失。
附图说明
99.图1是表示电感器部件的第一实施方式的俯视图。
100.图2a是图1的a-a剖视图。
101.图2b是图1的b-b剖视图。
102.图2c是图1的c-c剖视图。
103.图3是与第一电感布线延伸的方向正交的简要剖视图。
104.图4是对应于图3的图像图。
105.图5是图3的一部分的放大图。
106.图6是与第一电感布线的延伸方向正交的剖面中的放大图像图。
107.图7a是电感器部件的俯视图。
108.图7b是与电感器部件的第一电感布线延伸的方向正交的简要剖视图。
109.图7c是电感器部件的仰视图。
110.图8是从平面方向拍摄电感器部件并调整了明亮度的图像图。
111.图9a是对电感器部件的制造方法进行说明的说明图。
112.图9b是对电感器部件的制造方法进行说明的说明图。
113.图9c是对电感器部件的制造方法进行说明的说明图。
114.图9d是对电感器部件的制造方法进行说明的说明图。
115.图9e是对电感器部件的制造方法进行说明的说明图。
116.图9f是对电感器部件的制造方法进行说明的说明图。
117.图9g是对电感器部件的制造方法进行说明的说明图。
118.图9h是对电感器部件的制造方法进行说明的说明图。
119.图9i是对电感器部件的制造方法进行说明的说明图。
120.图9j是对电感器部件的制造方法进行说明的说明图。
121.图9k是对电感器部件的制造方法进行说明的说明图。
122.图9l是对电感器部件的制造方法进行说明的说明图。
123.图10是表示电感器部件的第二实施方式的俯视图。
124.图11a是图10的a-a剖视图。
125.图11b是图10的b-b剖视图。
126.图12是电感器部件的俯视图。
127.图13a是表示电感器部件的第三实施方式的剖视图。
128.图13b是电感器部件的俯视图。
129.附图标记说明
130.1、1a、1b
…
电感器部件；10
…
坯体；10a
…
第一主面；11
…
第一磁性层；11a
…
主面；12
…
第二磁性层；12a
…
主面；21、21b
…
第一电感布线；21a
…
电感布线；210
…
侧面；211
…
底面；212
…
顶面；22
…
第二电感布线；220
…
侧面；221
…
底面；222
…
顶面；31
…
第一柱状布线；
32
…
第二柱状布线；33
…
第三柱状布线；41
…
第一外部端子；42
…
第二外部端子；43
…
第三外部端子；50
…
被覆膜；61
…
侧面绝缘部；62
…
底面绝缘部；63
…
周面绝缘部；70
…
基底基板；80
…
磁性片；100
…
磁性粉；101
…
树脂；l
…
长轴；z0
…
侧面附近区域；z1
…
第一区域；z2
…
第二区域；za
…
暗部区域；zb
…
亮部区域。
具体实施方式
131.以下，通过图示的实施方式对作为本公开的一方式的电感器部件及其制造方法进行详细说明。此外，附图包含部分示意的结构，存在未反映实际的尺寸、比率的情况。
132.(第一实施方式)
133.(结构)
134.图1是表示电感器部件的第一实施方式的俯视图。图2a是图1的a-a剖视图。图2b是图1的b-b剖视图。图2c是图1的c-c剖视图。
135.电感器部件1例如是搭载于个人计算机、dvd播放器、数码相机、tv、移动电话、汽车电子等电子设备，例如是整体为长方体形状的部件。但是，对于电感器部件1的形状并不特别限定，也可以是圆柱状、多边形柱状、圆锥台形状、多边形锥台形状。
136.如图1、图2a、图2b以及图2c所示，电感器部件1具备：坯体10、配置在坯体10内的第一电感布线21及第二电感布线22、覆盖第一电感布线21及第二电感布线22的一部分的侧面绝缘部61及底面绝缘部62、被埋入坯体10以便端面从坯体10的第一主面10a露出的第一柱状布线31、第二柱状布线32及第三柱状布线33、设置于坯体10的第一主面10a的第一外部端子41、第二外部端子42以及第三外部端子43以及设置于坯体10的第一主面10a的被覆膜50。
137.图中，将电感器部件1的厚度方向设为z方向，将正z方向设为上侧，将负z方向设为下侧。在与电感器部件1的z方向正交的平面中，将电感器部件1的长度方向设为x方向，将电感器部件1的宽度方向设为y方向。在图1中，省略被覆膜50来描绘。
138.坯体10具有沿着正z方向(相当于权利要求书中所记载的“第一方向”)依次层叠的第一磁性层11和第二磁性层12。第一磁性层11和第二磁性层12分别包含扁平形状的磁性粉和含有该磁性粉的树脂。树脂例如是由环氧系树脂、双马来酰亚胺、液晶聚合物、聚酰亚胺等构成的有机绝缘材料。磁性粉例如是fesicr等fesi系合金、feco系合金、nife等fe系合金、或者它们的非晶合金。
139.优选地，磁性粉包含80wt％以上的fe，并包含2wt％以上的si和al。磁性粉的组成由edx计算。例如，倍率为5000倍，求出5个点的平均值。根据上述结构，通过添加si和al，能够使磁致伸缩降低，并能够提高相对磁导率。
140.优选地，在第一磁性层11以及第二磁性层12中的每个磁性层中，磁性粉的填充率为50vol％以上且75vol％以下。根据上述结构，磁性粉的填充率为50vol％以上，因此能够增加磁性粉的量来提高相对磁导率。另外，由于磁性粉的填充率为75vol％以下，因此能够减少多个磁性粉的电连接，确保绝缘性。
141.优选地，在第一磁性层11以及第二磁性层12的每个磁性层中，空隙率为1vol％以上且10vol％以下。根据上述结构，由于空隙率为1vol％以上，因此能够通过空隙缓和残留应力、来自外部应力的应力。由于空隙率为10vol％以下，因此能够抑制电感的降低以及坯体的强度的降低。
142.第一电感布线21以及第二电感布线22配置在第一磁性层11与第二磁性层12之间与z方向正交的平面上。也就是说，第一电感布线21以及第二电感布线22配置在同一平面上。由此，能够实现电感器部件1的低高度化。另外，能够通过配置在同一平面内的第一电感布线21以及第二电感布线22构成电感器阵列。
143.若具体叙述，第一磁性层11存在于第一电感布线21以及第二电感布线22的负z方向上。第二磁性层12存在于第一电感布线21以及第二电感布线22的正z方向以及与正z方向正交的方向上。
144.在从z方向观察时，第一电感布线21沿着x方向呈直线状地延伸。在从z方向观察时，第二电感布线22的一部分沿着x方向呈直线状地延伸，其它部分沿着y方向呈直线状地延伸，也就是说，呈l字状地延伸。
145.第一、第二电感布线21、22的厚度例如优选为40μm以上且120μm以下。作为第一、第二电感布线21、22的实施例，厚度为35μm，布线宽度为50μm，布线间的最大空间为200μm。
146.第一电感布线21以及第二电感布线22由导电性材料构成，例如由cu、ag、au、al等低电阻的金属材料构成。在本实施方式中，电感器部件1仅具备一层第一、第二电感布线21、22，能够实现电感器部件1的低高度化。
147.第一电感布线21的第一端与第一柱状布线31电连接，第一电感布线21的第二端与第二柱状布线32电连接。也就是说，第一电感布线21在其两端具有线宽较大的焊盘部，在焊盘部中，直接连接到第一、第二柱状布线31、32。
148.第二电感布线22的第一端与第三柱状布线33电连接。也就是说，第二电感布线22在第一端具有焊盘部，在焊盘部中，直接连接到第三柱状布线33。第二电感布线22的第二端与第一电感布线21的第二端的焊盘部连接，并与第二柱状布线32电连接。在从z方向观察时，第一电感布线21的第一端和第二电感布线22的第一端位于坯体10的相同的一边侧。
149.第一电感布线21在与延伸方向正交的剖面中形成为四边形。第一电感布线21包含：朝向正y方向的第一侧面210、朝向负y方向的第二侧面210、朝向负z方向的底面211以及朝向正z方向的顶面212。第一侧面210不需要与正y方向完全对置，也可以以稍微倾斜的状态与正y方向对置，也就是说，第一侧面210与正y方向实质上对置。同样地，第二侧面210与负y方向实质上对置，底面211与负z方向实质上对置，顶面212与正z方向实质上对置。
150.同样地，第二电感布线22在与延伸方向正交的剖面中形成为四边形。第二电感布线22包含：朝向正y方向的第一侧面220、朝向负y方向的第二侧面220、朝向负z方向的底面221以及朝向正z方向的顶面222。
151.此外，布线从第一、第二电感布线21、22的与第一～第三柱状布线31～33的连接位置朝向芯片的外侧进一步延伸，该布线在芯片的外侧露出。也就是说，第一、第二电感布线21、22具有从与电感器部件1的层叠方向平行的侧面露出到外部的露出部。该布线是在电感器部件1的制造过程中，在形成第一、第二电感布线21、22的形状后，与额外进行电镀时的供电布线连接的布线。通过该供电布线，在对电感器部件1进行单片化之前的电感器基板状态下，能够容易地额外进行电镀，并能够缩小布线间距离。另外，通过额外进行电镀来缩小第一、第二电感布线21、22的布线间距离，从而能够提高第一、第二电感布线21、22的磁耦合。
152.第一～第三柱状布线31～33从各电感布线21、22在z方向上延伸，贯通第二磁性层12的内部。第一柱状布线31从第一电感布线21的一端的上表面向上侧延伸，第一柱状布线
31的端面从坯体10的第一主面10a(也是第二磁性层12的主面)露出。第二柱状布线32从第一电感布线21的另一端的上表面向上侧延伸，第二柱状布线32的端面从坯体10的第一主面10a露出。第三柱状布线33从第二电感布线22的一端的上表面向上侧延伸，第三柱状布线33的端面从坯体10的第一主面10a露出。
153.因此，第一柱状布线31、第二柱状布线32、第三柱状布线33从第一电感布线21、第二电感布线22到从上述第一主面10a露出的端面在与第一主面10a正交的方向上呈直线状地延伸。由此，能够以更短的距离连接第一外部端子41、第二外部端子42、第三外部端子43和第一电感布线21、第二电感布线22，能够实现电感器部件1的低电阻化、高电感化。另外，能够从第一、第二电感布线21、22以直线状引出第一～第三柱状布线31～33，能够抑制由额外的引绕导致的直流电阻的增加、电感获取效率的降低。第一～第三柱状布线31～33由导电性材料构成，例如，由与电感布线21、22相同的材料构成。此外，第一～第三柱状布线31～33也可以经由未图示的导通孔导体与第一、第二电感布线21、22电连接。
154.第一～第三外部端子41～43设置于坯体10的第一主面10a。第一～第三外部端子41～43由导电性材料构成，例如是低电阻且耐应力性优异的cu、耐腐蚀性优异的ni、焊料润湿性和可靠性优异的au从内侧朝向外侧依次排列的三层结构。
155.第一外部端子41与第一柱状布线31的从坯体10的第一主面10a露出的端面接触，并与第一柱状布线31电连接。由此，第一外部端子41与第一电感布线21的一端电连接。第二外部端子42与第二柱状布线32的从坯体10的第一主面10a露出的端面接触，并与第二柱状布线32电连接。由此，第二外部端子42与第一电感布线21的另一端以及第二电感布线22的另一端电连接。第三外部端子43与第三柱状布线33的端面接触，并与第三柱状布线33电连接，与第二电感布线22的一端电连接。
156.被覆膜50设置于坯体10的第一主面10a中的未设置第一～第三外部端子41～43的部分。但是，被覆膜50也可以通过第一～第三外部端子41～43的端部搭上而与第一～第三外部端子41～43重叠。被覆膜50例如由丙烯酸树脂、环氧系树脂、聚酰亚胺等电绝缘性较高的树脂材料构成。由此，能够提高第一～第三外部端子41～43之间的绝缘性。另外，被覆膜50成为形成第一～第三外部端子41～43的图案时的掩模代替，制造效率提高。另外，在磁性粉从树脂露出的情况下，被覆膜50通过覆盖该露出的磁性粉，能够防止磁性粉露出到外部。此外，被覆膜50也可以含有由绝缘材料构成的填料。
157.侧面绝缘部61仅覆盖第一电感布线21的两个侧面210的每个侧面一部分。另外，侧面绝缘部61仅覆盖第二电感布线22的两个侧面220的每个侧面的一部分。底面绝缘部62覆盖第一电感布线21的底面211。另外，底面绝缘部62覆盖第二电感布线22的底面221。
158.图3是第一电感布线21延伸的方向的中央且与第一电感布线21延伸的方向正交的简要剖视图。图4是对应于图3的图像图。在图3中，省略第一电感布线21的左侧的磁性粉100来描绘，但与第一电感布线21的右侧相同。另外，此外，关于第二电感布线22的周围的剖视图也是相同的，省略其说明。
159.如图3和图4所示，第一磁性层11以及第二磁性层12包含扁平形状的磁性粉100和含有磁性粉100的树脂101。在图3中，省略磁性粉100和树脂101的阴影线来描绘。在图4中，磁性粉100显示成白色的线状。扁平形状的磁性粉100具有至少一个短轴、即至少一个方向的尺寸比另一个方向的尺寸小即可，例如，在三维上，可以是如圆板那样的扁平粉，或者也
可以是如针状那样的扁平粉。另外，磁性粉100的外表面可以是圆滑的，或者也可以具有凹凸。
160.根据上述结构，由于第一磁性层11以及第二磁性层12包含扁平形状的磁性粉100，因此退磁场下降，获得较高的相对磁导率。另外，由于第一电感布线21配置在第一磁性层11与第二磁性层12之间，因此能够在第一电感布线21的周围配置扁平形状的磁性粉100。由此，提高扁平形状的磁性粉100的填充率，能够提高第一电感布线21的周围的磁导率，并能够提高电感的获取效率。
161.另外，侧面绝缘部61仅与第一电感布线21的侧面210的一部分接触。由此，例如，即使在多个磁性粉100在y方向上电连结的情况下，第一电感布线21的侧面210的一部分也通过侧面绝缘部61而不与磁性粉100接触。由此，能够确保绝缘性。
162.另外，侧面绝缘部61由与第二磁性层12的树脂101相同的材料构成。由此，能够减少坯体10内的残留应力。此外，侧面绝缘部61与树脂101之间具有界面，但侧面绝缘部61可以与第二磁性层12之间不具有界面，也就是说，侧面绝缘部61也可以与第二磁性层12的树脂101连续地一体化。
163.另外，底面绝缘部62与第一电感布线21的底面211接触。由此，第一电感布线21的底面211通过底面绝缘部62而不与第一磁性层11的磁性粉100接触。因此，能够提高绝缘性。
164.另外，侧面绝缘部61与底面绝缘部62接触。也就是说，侧面绝缘部61与侧面210中的接近底面211的部分接触。由此，能够通过侧面绝缘部61和底面绝缘部62覆盖第一电感布线21的侧面210与底面211之间的角部，能够进一步提高绝缘性。也就是说，在第一磁性层11中，通过与第一电感布线21的底面211大致平行地配置磁性粉100的长轴(图5所示的长轴l)，从而即使在多个磁性粉100在y方向上电连结的情况下，第一电感布线21的角部也通过侧面绝缘部61以及底面绝缘部62而不与磁性粉100接触。
165.另外，侧面绝缘部61的组成与底面绝缘部62的组成不同。例如，侧面绝缘部61的树脂与底面绝缘部62的树脂不同。由此，侧面绝缘部61以及底面绝缘部62的设计范围扩大。例如，通过底面绝缘部62选择与第一电感布线21的紧贴性较高的树脂，能够提高电感器部件1的可靠性。另外，通过侧面绝缘部61选择缓和应力的特性(例如，热膨胀率、杨氏模量)的树脂，能够缓和电感器部件1整体的残留应力。
166.另外，侧面绝缘部61的z方向的高度t61为第一电感布线21的z方向的高度t21的一半以下。优选地，高度t61为高度t21的1/3以下。高度t61、t21是在与第一电感布线21延伸的方向正交的剖面上测定出的值。由此，通过降低侧面绝缘部61的高度，从而第二磁性层12的体积增加，确保绝缘性并且进一步提高电感获取效率。
167.图5是图3的部分放大图。如图3和图5所示，在与第一电感布线21延伸的方向正交的剖面(在本实施方式中，yz剖面)中，第二磁性层12具有第一电感布线21的侧面210与在y方向上与侧面210分离规定距离d的位置之间的侧面附近区域z0。
168.若具体叙述，侧面附近区域z0是在上述yz剖面上由侧面210、与侧面210分离规定距离d的位置、包含顶面212的延长面以及包含底面211的延长面围起的区域。距第一电感布线21的侧面210的距离是距第一电感布线21的侧面210的底面211侧的端部的距离。规定距离d是第一电感布线21的y方向的宽度w21的1/3。
169.另外，侧面附近区域z0所包含的扁平形状的磁性粉100的长轴l相对于侧面210所
成的角度θ为45
°
以下。磁性粉100的长轴l是指在上述yz剖面中通过磁性粉100的最长的部分的直线。角度θ是指长轴l与侧面210所成的角度中的底面211侧的角度，而不是顶面212侧的角度。
170.如图6所示，上述角度θ的导出方法通过获取与第一电感布线21的延伸方向正交的剖面中的sem图像，并对sem图像进行二值化，将白色设为磁性粉，将黑色设为树脂，测定磁性粉的长轴l与第一电感布线21的侧面210交叉的角度而导出。根据延长磁性粉100的长轴l的直线与侧面210交叉的角度来求出与侧面210分离的磁性粉100的角度θ。
171.根据上述结构，由于上述角度θ为45
°
以下，因此在侧面附近区域z0中，磁性粉100的长轴l与第一电感布线21的侧面210大致平行地配置。因此，在侧面附近区域z0中，沿着y方向交替地配置磁性粉100和树脂101，能够维持电感的获取效率，并且确保绝缘性。
172.另外，在上述yz剖面中，上述角度θ随着在y方向上远离第一电感布线21的侧面210而变大。上述角度θ变大是指角度从0
°
朝向90
°
变化。
173.根据上述结构，由于在第一电感布线21的侧面210的附近区域中，磁性粉100的长轴l与侧面210大致平行地配置，因此沿着y方向交替地配置磁性粉100和树脂101，能够维持电感的获取效率，并且确保绝缘性。
174.另外，在上述yz剖面中，第一磁性层11所包含的磁性粉100的长轴l相对于底面211所成的角度为45
°
以下。
175.根据上述结构，由于磁性粉100的长轴l相对于底面211所成的角度为45
°
以下，所以磁性粉100的长轴l与第一电感布线21的底面211大致平行地配置。因此，磁性粉100的排列与磁通平行，能够获得较高的相对磁导率。
176.另外，在第一电感布线21延伸的方向的中央且与第一电感布线21延伸的方向正交的剖面(在本实施方式中，yz剖面)中，在将磁性粉100的最大费雷特长度设为lf，将磁性粉100的与最大费雷特长度正交的厚度设为tf时，lf/tf≥10，最大费雷特长度的d90为100μm以下。最大费雷特长度的d90通过在200μm
×
200μm的区域获取约三点上述剖面中的sem图像，并计算其d90而求出。
177.根据上述结构，由于lf/tf≥10，因此能够增大磁性粉100的扁平率，由此，能够获得更高的相对磁导率。另外，由于最大费雷特长度的d90为100μm以下，因此能够确保绝缘性。例如，在最大费雷特长度过大的情况下，不同的电感布线之间、同一电感布线的匝间经由磁性粉100短路的可能性变高。
178.图7a是电感器部件1的俯视图。此外，在图7a中，省略了外部端子41～43以及被覆膜50来描绘。
179.如图7a所示，在从与第二磁性层12的主面12a(也是坯体10的第一主面10a)正交的方向观察第二磁性层12的主面12a时，第二磁性层12具有：沿着第一、第二电感布线21、22的暗部区域za、以及明亮度比暗部区域za亮的亮部区域zb，该亮部区域zb是暗部区域za以外的区域。在图7a中，用阴影线示出暗部区域za。若具体叙述，暗部区域za沿着第一、第二电感布线21、22的延伸方向延伸，从与第二磁性层12的主面12a正交的方向观察，暗部区域za与第一、第二电感布线21、22邻接。
180.根据上述结构，在从与第二磁性层12的主面12a正交的方向观察时，第二磁性层12具有沿着第一、第二电感布线21、22的暗部区域za、以及暗部区域za以外的区域的亮部区域
zb，因此在第二磁性层12的主面12a中，亮部区域zb的正上方看起来较亮，暗部区域za的正上方看起来较暗。由此，在将第二磁性层12压接于第一、第二电感布线21、22来制造时，能够确认第二磁性层12所包含的磁性粉100成为所希望的配置。
181.若具体叙述，能够判别亮部区域zb所包含的磁性粉100的长轴与第二磁性层12的主面12a实质上平行地配置，暗部区域za所包含的磁性粉100的长轴沿着与第二磁性层12的主面12a实质上正交的方向配置。也就是说，亮部区域zb所包含的磁性粉100反射光，因此亮部区域zb的正上方看起来较亮，暗部区域za所包含的磁性粉100难以反射光，因此暗部区域za的正上方看起来较暗。
182.因此，扁平形状的磁性粉100与大致球形的磁性粉100相比，流动性差，因此在填充性上存在课题，但通过确认第二磁性层12的主面12a的明暗，能够容易地判别第二磁性层12的磁性粉100是否以所希望的配置被填充。由此，能够非破坏性地提早检测磁性粉100的填充不良，并能够减少产品的制造损失。此外，优选在设置外部端子41～43以及被覆膜50之前，确认第二磁性层12的主面12a的明暗。
183.对上述明暗的识别方法进行说明。如图7a所示，从与第二磁性层12的主面12a正交的方向拍摄。若具体叙述，使用keyence公司制的vhx-5000通过环形照明来拍摄。然后，选择获取到的图像的规定区域，描绘规定区域内的明亮度分布。将明亮度分布设为255灰度。然后，进行二值化。二值化的阈值为255的约一半的范围。图8表示这样获得的图像。如图8所示，亮部区域zb的正上方看起来较亮。另一方面，暗部区域za的正上方看起来较暗。
184.如图7a和图3所示，第一、第二电感布线21、22以及第一～第三柱状布线31～33的至少一方与磁性粉100接触。由此，通过消除不必要的绝缘部，能够提高电感的获取效率。另外，若多个磁性粉100在y方向上电连结，则不同的第一、第二电感布线21、22之间、相同的第一电感布线21(或者相同的第二电感布线22)的匝间有可能经由磁性粉100短路，但由于沿着第一、第二电感布线21、22的暗部区域za所包含的磁性粉100的长轴沿着与第二磁性层12的主面12a实质上正交的方向配置，因此即使第一、第二电感布线21、22以及第一～第三柱状布线31～33的至少一方与磁性粉100接触，短路的可能性也较低。
185.图7b是第一电感布线21延伸的方向的中央且与第一电感布线21延伸的方向正交的简要剖视图。此外，在图7b中，省略了外部端子41～43以及被覆膜50来描绘。
186.如图7b所示，第二磁性层12的主面12a与第一电感布线21的第一方向的顶面212之间的、第二磁性层12的z方向的厚度t12为第一电感布线21的z方向的高度t21的3倍以下。根据上述结构，在第二磁性层12的主面12a中能够容易地确认暗部区域za和亮部区域zb。也就是说，若第二磁性层12的厚度t12过厚，则由于第二磁性层12的主面12a附近所包含的磁性粉100的长轴与第二磁性层12的主面12a实质上平行地配置，因此第二磁性层12的主面12a附近所包含的磁性粉100反射光，在第二磁性层12的主面12a中难以明确地判断暗部区域za。
187.如图7b所示，第一磁性层11是平板状。根据上述结构，在第一磁性层11中，在与第一、第二电感布线21、22的关系上不需要考虑磁性粉100的填充性，能够自由地选择磁性粉100的材料。即，磁性粉100的材料的选择自由度提高。例如，作为磁性粉100，通过使用球形的金属磁性材料而不是扁平形状的金属磁性材料，能够提高直流叠加。另外，作为磁性粉100，也可以同时混合扁平形状的磁性粉和球形的磁性粉。另外，通过使用铁氧体、金属箔那
样的刚体作为磁性粉100，能够提高强度和磁导率。此外，在第二磁性层12中也是同样的，作为磁性粉100，也可以同时混合扁平形状的磁性粉和球形的磁性粉。
188.图7c是电感器部件1的仰视图。如图7c所示，在从与第一磁性层11的负z方向的主面11a正交的方向观察第一磁性层11的主面11a时，第一磁性层11具有：沿着第一、第二电感布线21、22的第一区域z1、以及从明亮度上不能与第一区域z1区分的第二区域z2，该第二区域z2是第一区域z1以外的区域。在图7c中，用阴影线示出第一区域z1。在从与第一磁性层11的主面11a正交的方向观察时，第一区域z1与暗部区域za重叠。
189.若具体叙述，第一区域z1沿着第一、第二电感布线21、22的延伸方向延伸，从与第一磁性层11的主面11a正交的方向观察，第一区域z1与第一、第二电感布线21、22邻接。第一区域z1的明亮度与第二区域z2的明亮度的差异不需要是0，允许些许的差异，第一区域z1和第二区域z2设为实质上不能从明亮度上区分。
190.也就是说，由于第一磁性层11所包含的磁性粉100的长轴与第一磁性层11的主面11a实质上平行地配置，因此第一磁性层11所包含的磁性粉100反射光，在第一磁性层11的主面11a中难以明确地判断第一区域z1和第二区域z2。
191.根据上述结构，在第一磁性层11的主面11a中，第一区域z1的正上方和第二区域z2的正上方看起来是相同的明亮度。因此，能够在外观上容易地区分电感器部件1的上下。
192.优选地，隔着被覆膜50不能判别暗部区域za和亮部区域zb。根据上述结构，在电感器部件1的制造后的外观筛选工序时，能够抑制过度分类(过多筛选)。例如，被覆膜50被着色。若具体叙述，用颜料、例如氧化钛、碳黑等对被覆膜50进行着色，从而能够看不到基底的颜色。另外，被覆膜50优选为环氧树脂、苯、液晶聚合物、酰亚胺系树脂或者由它们的组合构成的树脂，也可以是除此之外的树脂。另外，被覆膜50也可以混合无机填料，以赋予二氧化硅那样的绝缘性和刚度。
193.优选地，外部端子41～43设置于第二磁性层12的主面12a，被覆膜50配置于第二磁性层12的主面12a的一部分，以便外部端子41～43露出，第二磁性层12的主面12a成为坯体10的最表面。根据上述结构，通过使赋予功能的层成为最小限度，能够减少制造成本。
194.(制造方法)
195.接下来，对电感器部件1的制造方法进行说明。图9a～图9l对应于图1的c-c剖面(图2c)。
196.如图9a所示，准备基底基板70。基底基板70的硬度高于构成第一磁性层11和第二磁性层12的磁性片的硬度。基底基板70例如由铁氧体、氧化铝等陶瓷基板、玻璃环氧树脂等树脂基板等构成。
197.如图9b所示，在基底基板70的主面上涂布第一绝缘层71以固化第一绝缘层71。进一步，在第一绝缘层71上涂布第二绝缘层，使用光刻法在第二绝缘层形成规定图案并固化，由此，形成底面绝缘部62。
198.如图9c所示，在第一绝缘层71以及底面绝缘部62上，通过溅射法或蒸镀法等公知的方法形成未图示的种子层。之后，层叠dfr(干膜抗蚀剂)75，并使用光刻法在dfr75形成规定图案。规定图案是与底面绝缘部62上的设置第一电感布线21以及第二电感布线22的位置对应的贯通孔。
199.如图9d所示，使用电镀经由种子层在底面绝缘部62上形成第一电感布线21以及第
二电感布线22。之后，剥离dfr75，蚀刻种子层。这样，在基底基板70的主面上形成第一电感布线21以及第二电感布线22。
200.之后，再次层叠dfr75，并使用光刻法在dfr75形成规定图案。规定图案是与第一电感布线21以及第二电感布线22上的设置第一、第二柱状布线31、32以及第三柱状布线33的位置对应的贯通孔。然后，如图9e所示，使用电镀在第一电感布线21以及第二电感布线22上形成第一柱状布线31、第二柱状布线32以及第三柱状布线33。之后，剥离dfr75。此外，电镀可以使用种子层，在该情况下，需要蚀刻种子层。
201.之后，从基底基板70的主面的上方朝向第一电感布线21以及第二电感布线22压接包含扁平形状的磁性粉100和含有磁性粉100的树脂101的磁性片80，如图9f所示，通过磁性片80覆盖第一电感布线21的顶面212及侧面210和第二电感布线22的顶面222及侧面220。该磁性片80构成第二磁性层12。此时，同时，将磁性片80所包含的树脂101从磁性片80推出，以便仅覆盖第一电感布线21的侧面210的一部分和第二电感布线22的侧面220的一部分，形成侧面绝缘部61。在图9e和图9f中，以磁性粉100的长轴显示磁性粉100。
202.也就是说，如图9e所示，在压接磁性片80之前，磁性片80的磁性粉100的长轴沿着水平方向(y方向)排列，但如图9f所示，在压接磁性片80时，磁性片80的磁性粉100的长轴沿着磁性片80因从上方向向下方向的按压力而变形的方向排列。此时，由于基底基板70的硬度高于磁性片80的硬度，因此在将磁性片80压接于第一电感布线21以及第二电感布线22时，能够将磁性片80所包含的树脂101有效地仅推出到第一电感布线21的侧面210的一部分和第二电感布线22的侧面220的一部分。因此，能够与磁性片80的压接同时有效地形成侧面绝缘部61。
203.之后，从磁性片80的上方观察磁性片80，通过明暗识别并检查在第一电感布线21的侧面210以及第二电感布线22的侧面220中是否填充有磁性粉100。若具体叙述，从磁性片80的上方观察磁性片80，在沿着第一电感布线21的侧面210以及第二电感布线22的侧面220的区域中形成暗部区域za，在暗部区域za以外的区域中形成亮部区域zb。由此，通过从磁性片80的上方观察磁性片80来确认明暗，从而能够容易地判别在第一电感布线21的侧面210和第二电感布线22的侧面220中是否填充有磁性粉100，由此，能够非破坏性地且在电感器部件1的制造阶段提早检测磁性粉100的填充不良，能够减少产品的制造损失。
204.之后，如图9g所示，研磨磁性片80，形成第二磁性层12，并且使第一柱状布线31、第二柱状布线32以及第三柱状布线33的端面露出。此外，也可以在上述检查工序之前进行磁性片80的研磨工序。
205.之后，如图9h所示，在第二磁性层12的上表面涂布第三绝缘层，并使用光刻法在第三绝缘层形成规定图案并固化，由此，形成被覆膜50。规定图案是与柱状布线31～33的端面以及第二磁性层12上的设置第一外部端子41、第二外部端子42以及第三外部端子43的位置对应的贯通孔。
206.之后，如图9i所示，通过研磨除去基底基板70和第一绝缘层71。此时，也可以将第一绝缘层71作为剥离层，通过剥离除去基底基板70和第一绝缘层71。
207.之后，如图9j所示，从第一电感布线21以及第二电感布线22的下方朝向第一电感布线21以及第二电感布线22压接其它磁性片80，通过其它磁性片80覆盖第一电感布线21的底面211和第二电感布线22的底面221。将其它磁性片80磨削成规定的厚度以构成第一磁性
层11。在图9j中，以磁性粉100的长轴显示磁性粉100。在压接磁性片80的前后，磁性片80的磁性粉100的长轴沿着水平方向(y方向)排列。这样，能够利用上下的磁性片80夹持第一电感布线21以及第二电感布线22，能够提高电感的获取效率。
208.之后，如图9k所示，通过无电电镀，形成从柱状布线31～33生长到被覆膜50的贯通孔内的金属膜，形成第一外部端子41、第二外部端子42以及第三外部端子43。
209.之后，如图9l所示，在切断线d处对电感器部件1进行单片化，如图2c所示，制造电感器部件1。
210.(第二实施方式)
211.图10是表示电感器部件1a的第二实施方式的俯视图。图11a是图10的a-a剖视图。图11b是图10的b-b剖视图。第二实施方式的电感布线以及绝缘部的结构与第一实施方式不同。以下对该不同的结构进行说明。此外，其它构造与第一实施方式相同，因此标注与第一实施方式相同的附图标记，省略其说明。
212.如图10、图11a以及图11b所示，第二实施方式的电感器部件1a具有一个电感布线21a。电感布线21a是仅形成在第一磁性层11的上方侧，具体而言仅形成在配置于第一磁性层11的上表面的底面绝缘部62上，沿着第一磁性层11的上表面呈螺旋形状地延伸的布线。电感布线21a是匝数超过一圈的螺旋形状。在从上侧观察时，电感布线21a从内周端朝向外周端沿顺时针方向卷绕成漩涡状。电感布线21a的外周端与第一柱状布线31连接，电感布线21a的内周端与第二柱状布线32连接。此外，在图中，省略被覆膜和外部端子来描绘。
213.电感器部件1a还具备与电感布线21a的侧面210以及顶面212接触的周面绝缘部63。周面绝缘部63存在于侧面绝缘部61与电感布线21a的侧面210的一部分之间，侧面绝缘部61与周面绝缘部63一起仅覆盖电感布线21a的侧面210的一部分。
214.周面绝缘部63的组成与侧面绝缘部61的组成以及底面绝缘部62的组成不同。例如，周面绝缘部63的树脂与侧面绝缘部61的树脂以及底面绝缘部62的树脂不同。由此，周面绝缘部63、侧面绝缘部61以及底面绝缘部62的设计范围扩大。
215.侧面绝缘部61的厚度比周面绝缘部63的厚度厚。厚度是指在与电感布线21a延伸的方向正交的剖面上测定出的最大值。由此，能够进一步提高绝缘性。
216.图12是电感器部件1a的俯视图。此外，图中，省略了被覆膜以及外部端子来描绘。
217.如图12所示，在从与第二磁性层12的主面12a正交的方向观察第二磁性层12的主面12a时，第二磁性层12具有：沿着电感布线21a的暗部区域za、以及明亮度比暗部区域za亮的亮部区域zb，该亮部区域zb是暗部区域za以外的区域。若具体叙述，暗部区域za沿着电感布线21a的延伸方向延伸，从与第二磁性层12的主面12a正交的方向观察，暗部区域za与电感布线21a邻接。在电感布线21a中相邻的匝之间具有亮部区域zb。也就是说，暗部区域za沿着电感布线21a的内周面以及外周面而设置。
218.根据上述结构，在从与第二磁性层12的主面12a正交的方向观察时，第二磁性层12具有沿着电感布线21a的暗部区域za、以及暗部区域za以外的区域的亮部区域zb，因此在第二磁性层12的主面12a中，亮部区域zb的正上方看起来较亮，暗部区域za的正上方看起来较暗。由此，在将第二磁性层12压接于电感布线21a来制造时，能够确认第二磁性层12所包含的磁性粉100成为所希望的配置。因此，能够非破坏性地提早检测磁性粉100的填充不良，能够减少产品的制造损失。
219.(第三实施方式)
220.图13a是表示电感器部件1b的第三实施方式的剖视图。第三实施方式的电感布线的结构与第一实施方式不同。以下对该不同的结构进行说明。此外，其它构造与第一实施方式相同，因此标注与第一实施方式相同的附图标记，省略其说明。
221.图13a是第一电感布线21b延伸的方向的中央且与第一电感布线21b的延伸方向正交的简要剖视图。此外，在图13a中，省略了外部端子以及被覆膜来描绘。
222.如图13a所示，第一电感布线21b在与延伸方向正交的剖面中形成为三角形。第一电感布线21b包含：朝向正y方向的第一侧面210、朝向负y方向的第二侧面210以及朝向负z方向的底面211。侧面210相当于三角形的斜边。虽然未图示，但第二电感布线也是相同的结构。
223.图13b是电感器部件的俯视图。此外，在图13b中，省略了外部端子以及被覆膜来描绘。
224.如图13b所示，在从与第二磁性层12的主面12a正交的方向观察第二磁性层12的主面12a时，第二磁性层12具有：沿着第一电感布线21b的暗部区域za、以及明亮度比暗部区域za亮的亮部区域zb，该亮部区域zb是暗部区域za以外的区域。若具体叙述，暗部区域za沿着第一电感布线21b的延伸方向延伸，从与第二磁性层12的主面12a正交的方向观察，暗部区域za与第一电感布线21b的至少一部分(在本实施方式中，全部)重叠。也就是说，沿着侧面210的区域所包含的磁性粉100的长轴沿着相对于水平方向(y方向)倾斜的侧面210配置，因此该区域所包含的磁性粉100难以反射光，该区域成为暗部区域za。
225.此外，本公开并不限定于上述的实施方式，能够在不脱离本公开的主旨的范围内设计变更。例如，也可以将第一实施方式～第三实施方式中每个实施方式的特征点各种组合。
226.在上述第一实施方式～上述第三实施方式中，电感布线的层数是一层，但也可以是两层以上的多层结构。也就是说，电感布线也可以沿着正z方向配置多个，此时，暗部区域是沿着位于正z方向的最外侧的电感布线的区域。根据上述结构，通过对电感布线进行层叠化，能够减少对安装面积的影响。并且，若将层叠化后的电感布线串联连接，则能够提高电感。
227.在上述第一实施方式中，在坯体内配置第一电感布线和第二电感布线这两个电感布线，但也可以配置三个以上的电感布线，此时，外部端子以及柱状布线也分别为四个以上。
228.在上述第一实施方式和上述第二实施方式中，“电感布线”是指通过在电流流动的情况下使磁性层产生磁通，从而对电感器部件赋予电感的结构，对其构造、形状、材料等没有特别限定。特别是，并不限定于如实施方式那样的在平面上延伸的直线、曲线(螺旋＝二维曲线)，能够使用曲折布线等公知的各种布线形状。
229.在上述第一实施方式～上述第三实施方式中，设置侧面绝缘部、底面绝缘部以及周面绝缘部，但也可以设置这些绝缘部中的至少一个，或者，也可以不设置所有的绝缘部。