一种真空规电容结构及真空规的制作方法

技术特征：
1.一种真空规电容结构，其特征在于，包括：外壳(3)，具有内腔；动极板(4)，为薄膜结构，并将所述内腔分隔为测试腔(30)和参考腔(31)；固定极板(5)，设置于所述参考腔(31)内，所述固定极板(5)朝向动极板(4)的一面具有第一电极(50)，所述第一电极(50)与所述动极板(4)组成可变电容；参考极板(6)，设置于所述固定极板(5)背离动极板(4)的一侧，并且朝向参考极板(6)的一面具有第二电极(51)，所述第二电极(51)与所述固定极板(5)组成参考电容，所述可变电容的初始电容值与所述参考电容的电容值相等。2.根据权利要求1所述的真空规电容结构，其特征在于，所述动极板(4)与所述参考极板(6)呈镜像设置于所述固定极板(5)的两侧。3.根据权利要求1所述的真空规电容结构，其特征在于，所述动极板(4)以及参考极板(6)的单面或双面具有导电层。4.根据权利要求1所述的真空规电容结构，其特征在于，所述固定极板(5)将所述外壳(3)的内腔分隔为两个腔室，两个腔室通过固定极板(5)上的通孔连通，所述固定极板(5)上环绕通孔固定有第一安装环(8)，所述动极板(4)封接于所述第一安装环(8)上。5.根据权利要求4所述的真空规电容结构，其特征在于，所述固定极板(5)背离第一安装环(8)的一面上固定有第二安装环(9)，所述参考极板(6)固定连接于所述第二安装环(9)上。6.根据权利要求5所述的真空规电容结构，其特征在于，所述第一电极(50)和第二电极(51)通过导电镀层电连接，并通过第一引线(53)引出。7.根据权利要求6所述的真空规电容结构，其特征在于，所述动极板(4)与所述第一安装环(8)电绝缘连接，所述第一安装环(8)上设置有电导层(80)，所述电导层(80)一端与所述动极板(4)电连接，另一端位于所述固定极板(5)上，并通过第二引线(81)引出；所述电导层(80)与所述第一电极(50)和第二电极(51)电绝缘，所述第二引线(81)与所述第一引线(53)位于固定极板(5)的同侧。8.根据权利要求7所述的真空规电容结构，其特征在于，所述参考极板(6)与所述第二安装环(9)电绝缘连接，并通过第三引线(60)引出，所述第三引线(60)与所述第二引线(81)位于固定极板(5)的同侧。9.根据权利要求6所述的真空规电容结构，其特征在于，所述第一安装环(8)与所述动极板(4)电连接，并且所述第一安装环(8)与所述第一电极(50)电绝缘；所述固定极板(5)上设置有电导层(80)，所述电导层(80)与第一安装环(8)电连接，并且所述电导层(80)与所述第一电极(50)和第二电极(51)电绝缘，所述电导层(80)通过第二引线(81)引出，所述第二引线(81)与所述第一引线(53)位于所述固定极板(5)的同侧。10.根据权利要求9所述的真空规电容结构，其特征在于，所述参考极板(6)与所述第二安装环(9)电绝缘连接，并通过第三引线(60)引出，所述第三引线(60)与所述第二引线(81)位于所述固定极板(5)的同侧。

技术总结
本发明涉及电容式测量计的技术领域，提供一种真空规电容结构及真空规，包括：外壳，具有内腔；动极板，为薄膜结构，并将内腔分隔为测试腔和参考腔；固定极板，设置于参考腔内，固定极板朝向动极板的一面具有第一电极，第一电极与动极板组成可变电容；参考极板，设置于固定极板背离动极板的一侧，并且朝向参考极板的一面具有第二电极，第二电极与固定极板组成参考电容，可变电容的初始电容值与参考电容值相等。通过设置参考极板，以形成参考电容，以消减翘曲度对测试结果的影响，进而提高测试精度；同时，可以测得更大的电容值，以提高测试的精度；此外，通过参考极板作为参考，以减小动极板变形所带来的影响，保证期间长时间的使用精度。保证期间长时间的使用精度。保证期间长时间的使用精度。


技术研发人员：曹文静 林立男 姜浩延 张琳琳 闫冉 陶硕 刘旭强 潘雨墨 孙润吉
受保护的技术使用者：北京晨晶电子有限公司
技术研发日：2022.11.29
技术公布日：2022/12/30