一种单纵模紫外全固态激光器的制作方法

技术特征：
1.一种单纵模紫外全固态激光器，其特征在于，包括：谐振腔、紫外光输出模块、壳体、外壳、第一泵浦耦合聚焦模块、第二泵浦耦合聚焦模块；第一泵浦耦合聚焦模块、第二泵浦耦合聚焦模块分别光信号连接所述谐振腔，所述谐振腔光信号连接所述紫外光输出模块；所述第一泵浦耦合聚焦模块、所述第二泵浦耦合聚焦模块分别位于所述谐振腔两侧，所述泵浦耦合聚焦模块、所述第二泵浦耦合聚焦模块分别用于输出泵浦光进入所述谐振腔，所述谐振腔用于将所述泵浦光谐振为红外光，所述谐振腔还用于将所述红外光放大为紫外光，紫外光输出模块用于将所述紫外光输出为单纵模紫外光；所述谐振腔、所述紫外光输出模块、所述第一泵浦耦合聚焦模块、所述第二泵浦耦合聚焦模块分别嵌于所述壳体的腔内；所述壳体与所述外壳通过弹簧固定连接，所述外壳为密封壳。2.根据权利要求1所述一种单纵模紫外全固态激光器，其特征在于，所述第一泵浦耦合聚焦模块包括第一泵浦源(11)、第一平凸准直镜(12)、第一平凸聚焦镜(14)、第一平面折反镜(13)；所述第二泵浦耦合聚焦模块包括第二泵浦源(21)、第二平凸准直镜(22)、第二平凸聚焦镜(24)、第二平面折反镜(23)；所述第一泵浦源(11)的输出端设于所述第一平凸准直镜(12)的焦点，所述第一平凸准直镜(12)设于所述第一泵浦源(11)与所述第一平面折反镜(13)之间，所述第一平凸准直镜(12)的光轴与所述第一平面折反镜(13)的镜面呈45
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夹角，所述第一平凸聚焦镜(14)的光轴与所述第一平面折反镜(13)的镜面呈45
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夹角，所述第一平凸准直镜(12)的光轴与所述第一平凸聚焦镜(14)的光轴垂直；所述第二泵浦源(21)的输出端设于所述第二平凸准直镜(22)的焦点，所述第二平凸准直镜(22)设于所述第二泵浦源(21)与所述第二平面折反镜(23)之间，所述第二平凸准直镜(22)的光轴与所述第二平面折反镜(23)的镜面呈45
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夹角，所述第二平凸聚焦镜(24)的光轴与所述第二平面折反镜(23)的镜面呈45
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夹角，所述第二平凸准直镜(22)的光轴与所述第二平凸聚焦镜(24)的光轴垂直。3.根据权利要求2所述一种单纵模紫外全固态激光器，其特征在于，所述谐振腔包括第一斜反镜(33)、第二斜反镜(35)、被动调q晶体(32)、激光工作晶体(34)、二倍频晶体(36)、三倍频晶体(37)、第一平面镜(31)、第二平面镜(38)；所述第一平面镜(31)与所述第二平面镜(38)分别为所述谐振腔的前后腔镜；所述第一斜反镜(33)、所述激光工作晶体(34)、所述第二斜反镜(35)依次设于所述第一平凸聚焦镜(14)与所述第二平凸聚焦镜(24)之间，所述第一平凸聚焦镜(14)、所述第二平凸聚焦镜(24)的焦点均位于所述激光工作晶体(34)的中心处；所述第一斜反镜(33)、所述被动调q晶体(32)、所述第一平面镜(31)组成为调q腔，所述被动调q晶体(32)设于所述第一斜反镜(33)与所述第一平面镜(31)之间，所述调q腔与所述激光工作晶体(34)的光轴垂直；所述第二斜反镜(35)、所述二倍频晶体(36)、所述三倍频晶体(37)、所述第二平面镜(38)组成为倍频腔，所述二倍频晶体(36)、所述三倍频晶体(37)依次设于所述第二斜反镜(35)与所述第二平面镜(38)之间，所述倍频腔与所述激光工作晶体(34)的光轴垂直；所述第一斜反镜(33)的法线为所述调q腔与所述激光工作晶体(34)间夹角的角平分线，所述第
二斜反镜(35)的法线为所述倍频腔与所述激光工作晶体(34)间夹角的角平分线；所述第一平面镜(31)镀有对基频光、二次谐波光和三次谐波光全反射的膜层，所述第二平面镜(38)镀有对基频光全反射的膜层，所述泵浦光为基频光，所述第一斜反镜(33)、所述第二斜反镜(35)皆镀有对基频光高反射、对泵浦光高透射的膜层。4.根据权利要求3所述一种单纵模紫外全固态激光器，其特征在于，所述紫外光输出模块包括布儒斯特片(41)、紫外反射镜(42)、激光增益介质(43)、小孔光阑(44)、f-p标准具(45)、主动调q晶体(46)、激光输出镜(47)；所述布儒斯特片(41)设于所述二倍频晶体(36)与所述三倍频晶体(37)之间，所述布儒斯特片(41)的法线与所述第一平面镜(31)的法线之间形成夹角，所述夹角为布儒斯特角；紫外激光透过所述布儒斯特片(41)后射在设有所述激光增益介质(43)的所述紫外反射镜(42)，由紫外反射镜(42)反射后输出，剩余的基频光与二次谐波光透过所述布儒斯特片(41)后反射回激光工作晶体(34)中，继续进行受激辐射放大；激光增益介质(43)、小孔光阑(44)、f-p标准具(45)、主动调q晶体(46)和激光输出镜(47)依次沿紫外反射镜(42)反射后输出的紫外线光路设置。5.根据权利要求1所述一种单纵模紫外全固态激光器，其特征在于，所述外壳设有散热孔，所述散热孔贯穿所述外壳。6.根据权利要求1所述一种单纵模紫外全固态激光器，其特征在于，还包括风扇，所述风扇嵌设于所述壳体，所述风扇贯穿所述壳体。7.根据权利要求1所述一种单纵模紫外全固态激光器，其特征在于，第二外壳设有水冷装置，所述水冷装置固定连接所述第二外壳的腔内。8.根据权利要求7所述一种单纵模紫外全固态激光器，其特征在于，还包括散热片，所述水冷装置固定连接有散热片。

技术总结
本实用新型公开了一种单纵模紫外全固态激光器，涉及激光器技术领域。第一泵浦耦合聚焦模块、第二泵浦耦合聚焦模块分别光信号连接谐振腔，谐振腔光信号连接紫外光输出模块；第一泵浦耦合聚焦模块、第二泵浦耦合聚焦模块分别位于谐振腔两侧，泵浦耦合聚焦模块、第二泵浦耦合聚焦模块分别用于输出泵浦光进入谐振腔，谐振腔将泵浦光谐振为红外光，谐振腔还用于将红外光放大为紫外光，紫外光输出模块将紫外光输出为单纵模紫外光；谐振腔、紫外光输出模块、第一泵浦耦合聚焦模块、第二泵浦耦合聚焦模块分别嵌于壳体的腔内；壳体与外壳通过弹簧固定连接，外壳为密封壳。具有晶体或镜片等精密且易损伤的工作器件进行抗损伤保护和抗污染保护的效果。污染保护的效果。污染保护的效果。


技术研发人员：刘承勇 唐卫民
受保护的技术使用者：福州紫凤光电科技有限公司
技术研发日：2022.08.11
技术公布日：2022/12/23