声电转换装置和电子设备的制作方法

1.本技术属于声电转换技术领域，具体涉及一种声电转换装置和电子设备。


背景技术：

2.麦克风作为一种声学器件，主要用于拾取声音，将声信号转换成电信号，近年来mems麦克风备受用户青睐，其主要利用微机电系统(micro-electro-mechanical system，mems)换能器作为内部声电转换部件。
3.mems换能器的振膜悬浮在基座上，在通电的状态下，振膜发生移动，然而在回流焊接过程中，受高温影响而挥发出来的气态助焊剂进入到振膜与基座之间的间隙内，并沉积下来重新凝结成固体，而助焊剂本身具有粘性，因此沉积的助焊剂容易将振膜粘在基座上无法移动，导致振膜失效。


技术实现要素：

4.本技术实施例的目的是提供一种声电转换装置和电子设备，能够解决目前声电转换装置的振膜容易被助焊剂粘住的问题。
5.为了解决上述技术问题，本技术是这样实现的：
6.第一方面，本技术实施例提供了一声电转换装置，包括基座、背极、振膜和支撑件，所述背极设置于所述基座，所述背极与所述基座之间具有容纳空间，所述振膜可活动地设置于所述容纳空间内，所述支撑件设置于所述基座，且所述支撑件位于所述容纳空间内，所述基座朝向所述振膜的一面为第一面，所述支撑件的至少部分凸出于所述第一面，在所述声电转换装置处于第一状态的情况下，所述振膜支撑于所述第一面；在所述声电转换装置处于第二状态的情况下，所述振膜支撑于所述支撑件，所述振膜与所述第一面之间具有间距。
7.第二方面，本技术实施例还提供了一种电子设备，包括上述的声电转换装置。
8.在本技术实施例中，在声电转换装置处于第一状态的情况下，如在制作声电转换装置的过程中，还未进行焊接回流工艺或者在焊接回流工艺的初始状态下，振膜支撑于第一面；在声电转换装置处于第二状态的情况下，如在制作声电转换装置的过程中，焊接回流工艺进行至下半程或已完成焊接回流工艺时，支撑件将振膜抬起，以使振膜与第一面之间具有间距，能够避免振膜被沉积于第一面上的助焊剂粘住，并且由于振膜与支撑件之间的接触面积较小，沉积在支撑件上的助焊剂仍无法粘住振膜，故在声电转换装置通电的情况下，振膜仍能够运动。因此，本技术实施例能够解决目前声电转换装置的振膜容易被助焊剂粘住的问题。
附图说明
9.图1为本技术实施例公开的声电转换装置处于第一状态下的结构示意图；
10.图2为本技术实施例公开的声电转换装置处于第二状态下的结构示意图。
11.附图标记说明：
12.100-基座、110-第一面、111-容纳槽、120-传声孔；
13.200-背极、210-限位部；
14.300-振膜；
15.400-支撑件、410-连接部、420-支撑部。
具体实施方式
16.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
17.本技术的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便本技术的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，说明书以及权利要求中“和/或”表示所连接对象的至少其中之一，字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
18.下面结合附图，通过具体的实施例及其应用场景对本技术实施例提供的声电转换装置和电子设备进行详细地说明。
19.参考图1至图2，本技术实施例公开一种声电转换装置，可选地，该声电转换装置可以为微机电系统(micro-electro-mechanical system，mems)换能器，该声电转换装置包括基座100、背极200、振膜300和支撑件400，基座100为声电转换装置的基础构件，能够为该声电装换装置的其他结构提供设置基础。可选地，背极200和振膜300均为硅结构，当然也可以由其它结构，这里不作具体限制。背极200朝向振膜300的一面具有限位部210，背极200设置于基座100，背极200与基座100之间具有容纳空间，振膜300可活动地设置于容纳空间内，当声电转换装置通电时，振膜300朝向背极200运动至与限位部210限位配合，此时背极200和振膜300之间形成平行板电容器，将声信号转换成电信号，以完成声电转换功能。支撑件400设置于基座100，且支撑件400位于容纳空间内，基座100朝向振膜300的一面为第一面110。在声电转换装置处于第一状态的情况下，振膜300支撑于第一面110，这里的第一状态可以是，在制作声电转换装置的过程中，还未进行焊接回流工艺的状态，或者焊接回流工艺的初始状态；在声电转换装置处于第二状态的情况下，支撑件400的至少部分凸出于第一面110，振膜300支撑于支撑件400，振膜300与第一面110之间具有间距，这里的第二状态可以是，在制作声电转换装置的过程中，焊接回流工艺进行至下半程的状态，或已完成焊接回流工艺的状态，当然，上述第一状态和第二状态也可以是其它制作声电转换装置的工艺，这里不作具体限制。
20.在声电转换装置处于第二状态的情况下，支撑件400将振膜300抬起，以使振膜300与第一面110之间具有间距，以避免振膜300被沉积于第一面110上的助焊剂粘住，并且由于振膜300与支撑件400之间的接触面积较小，沉积在支撑件400上的助焊剂也无法粘住振膜300，故在声电转换装置通电的情况下，振膜300能够运动。由此可知，本技术实施例能够解决目前声电转换装置的振膜300容易被助焊剂粘住的问题。
21.可选地，支撑件400可以为支撑凸起，振膜300支撑于支撑凸起的端部，支撑凸起可以为锥形结构，此时支撑凸起与振膜300为点接触，可以避免振膜300被支撑凸起上沉积的助焊剂粘住。另外，可选的实施例中，支撑件400可滑动地设置于基座100，或者可转动地设置于基座100，可以额外设置驱动机构以驱动支撑件400滑动或转动，从而使得支撑件400向振膜300施加作用力而顶起振膜300。
22.一种可选的实施例中，支撑件400为形变件，形变件可发生形变，以使支撑件400的至少部分凸出于第一面。该实施例中的支撑件400不需要整体移动，因此支撑件400所需的空间较小。此外，不需要额外设置驱动机构来驱动支撑件400移动，因此，声电转换装置的结构更简单，其尺寸也会更小。
23.支撑件400的形变可以逆转，也可以不逆转。前一实施例中，当声电转换装置工作完断电后，支撑件400可以恢复形变，振膜300将落到支撑件400上，此时支撑件400可以缓慢恢复形变，进而起到缓冲的作用，从而避免支撑件400损坏振膜300，因此，该实施例中的支撑件400有利于保护振膜300。后一实施例则可以使支撑件400可靠地保持顶起振膜300的状态，从而可以更有效地防止振膜300被助焊剂粘住。
24.可选地，支撑件400可以在受热后发生形变，也可以在通电后发生形变，这里不作具体限制。进一步可选的实施例中，当支撑件400在受热后发生形变时，可以在基座100上设置加热件，该加热件用于对支撑件400进行加热，使支撑件400受热后发生形变。另一种可选的实施例中，在支撑件400的温度高于阈值的情况下，如回流焊接工艺中，声电转换装置处于第二状态，支撑件400受热发生形变。由于进行焊接回流工艺时会产生热量，而利用该部分热量对支撑件400进行加热，可以不需要额外设置专门的加热件，以使声电转换装置更加简单，而且能够节省能耗。
25.再一种可选的实施例中，第一面110设有容纳槽111，支撑件400包括相连的连接部410和支撑部420，连接部410与容纳槽111的槽壁相连，此时连接部410位于容纳槽111内，以减小支撑件400占用容纳空间的体积。在声电转换装置处于第二状态的情况下，支撑部420形变至至少部分凸出于第一面110，振膜300支撑于支撑部420。
26.连接部410的长度可以大于或小于支撑部420的长度，当连接部410的长度大于支撑部420的长度时，支撑部420的长度不足，会导致支撑部420不容易变形，也就不足以顶起振膜300，振膜300仍会被粘住；当连接部410的长度小于支撑部420的长度时，连接部410与容纳槽111的槽壁之间的连接面积较小，在支撑件400形变的过程中，支撑件400容易与容纳槽111的槽壁分离。基于此，可选的实施例中，连接部410的长度与支撑部420的长度相等，此时既可以确保支撑部420的形变能力，从而确保振膜300不被粘住，也能够确保连接部410与容纳槽111的槽壁之间的连接稳定性。
27.再一种可选的实施例中，基座100设有传声孔120，该传声孔120用于将外界声音传送至容纳空间内，以便于振膜300与背极200形成的平行板电容器进行声电转换；并且，该传声孔120也可以减小基座100的重量。容纳槽111与传声孔120可以被隔开。或者，容纳槽111与传声孔120相连通，即容纳槽111延伸至传声孔120的孔壁，连接部410位于支撑部420和传声孔120之间。由于支撑件400为形变件，那么当支撑部420发生形变时，尽管连接部410与容纳槽111的槽壁连接但连接部410仍会发生少量的形变，此时该传声孔120能够为连接部410提供形变空间；并且，当连接部410位于支撑部420和传声孔120之间时，支撑部420更靠近振
膜300的边缘，即支撑部420提供的支撑力距离振膜300的中心区域较远，在支撑部420发生形变的过程中，能够更加稳定地驱动振膜300沿远离基座100的方向运动。
28.又一种可选的实施例中，在声电转换装置处于第一状态的情况下，即在制作声电转换装置的过程中，还未进行焊接回流工艺或者进行焊接回流工艺的初始状态时，支撑件400朝向振膜300的一面与第一面110共面，振膜300支撑于第一面110和支撑件400，此时基座100和支撑件400共同支撑振膜300，振膜300的稳定性更好。
29.可选地，支撑件400为形状记忆合金件。由于形状记忆合金具有坚固和柔韧的特点，且耐腐蚀，故支撑件400为形状记忆合金件，有利于延长支撑件400的使用寿命。
30.可选地，支撑件400的数量可以为一个，也可以为至少两个，当支撑件400的数量为一个时，此时该支撑件400的尺寸需要设置的较大，以便于提高振膜300的稳定性，此时支撑件400与振膜300的接触面积较大。可选的实施例中，支撑件400的数量为至少两个，至少两个支撑件400沿振膜300的周向间隔设置，在确保振膜300的稳定性的基础上，以减小支撑件400与振膜300的接触面积，从而降低振膜300被顶起的难度。
31.进一步可选的实施例中，至少两个支撑件400均邻近振膜300的边缘设置，此时在不增大支撑件400与振膜300的接触面积的基础上，分散支撑件400对振膜300的支撑力，从而进一步提高振膜300的稳定性；并且，当至少两个支撑件400均邻近振膜300的边缘设置时，支撑部420提供的支撑力距离振膜300的中心区域更远，在支撑件400发生形变的过程中，能够进一步更加稳定地驱动振膜300沿远离基座100的方向运动。
32.基于本技术实施例公开的声电转换装置，本技术实施例还公开了一种电子设备，其包括上述任意实施例的声电转换装置。
33.本技术实施例公开的电子设备可以是智能手机、平板电脑、电子书阅读器、可穿戴设备(例如智能手表)、电子游戏机等电子设备，本技术实施例对电子设备的种类不作具体限制。
34.上面结合附图对本技术的实施例进行了描述，但是本技术并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本技术的启示下，在不脱离本技术宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，均属于本技术的保护之内。