一种CIS可共用探针卡的制作方法

一种cis可共用探针卡
技术领域
1.本发明涉及探针卡技术领域，特别涉及一种cis可共用探针卡。


背景技术：

2.cis是图像传感器的简称，它是一种接触式感光器件，其生产成本较低，因而，具有广泛的应用市场，在对cis进行性能检测时，是通过将其暴露于光源下，并控制光源的开闭，或是将其暴露于不同的光照强度下，并将其与检测探针卡连接，从而对其产生的信号和参数进行收集，从而对其性能的优劣做出判断。
3.目前，在进行cis测试时，经常存在光源与检测探针卡的匹配度欠佳，使光线无法充分照射于cis，或是光源固定麻烦，因而对cis的检测效果造成较大影响，且目前国内在进行cis测试时的检测探针卡检测位点数目普遍较少，大多为16检测位点，使得检测效率较低，且现有的探针卡基本上都是只制作成一种型态，让使用者在验证上只有一种使用方式，故此，我们提出了一种cis可共用探针卡。


技术实现要素：

4.本发明的主要目的在于提供一种cis可共用探针卡，可以有效解决背景技术中的问题。
5.为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：
6.一种cis可共用探针卡，包括探针卡主体，所述探针卡主体的上端固定连接有若干个一号针卡，所述探针卡主体的下端固定连接有若干个二号针卡，所述一号针卡和二号针卡的数量不同，所述探针卡主体能够将cis图像传感器晶圆测试用探针卡与cis图像传感器ic成品用测试针卡共用基板，所述探针卡主体设置为load board探针卡，所述探针卡主体通过改变cis电路测试探针卡的孔洞以及探针的几何配置，所述探针卡主体通过一号针卡和二号针卡能够实现可共用探针卡的双面使用，且探针卡主体能够通过若干个一号针卡和二号针卡大大减少探针卡设计的时间，提高检测效率，因为对于半导体测试来说，时间就是金钱，能以最短时间完成探针卡的制作，就能让终端产品快速上市，缩短制作时间。
7.与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：
8.在本发明中，通过在探针卡主体上设置一号针卡和二号针卡，使可共用探针卡实现双面使用，通过一体两面的设计，能达到多功能的探针卡，提高探针卡的适用范围，且可共用探针卡能让除了能让使用者一次达成两种验证方式外，还能大大的减少探针卡设计的时间，提高检测效率，因为对于半导体测试来说，时间就是金钱，能以最短时间完成探针卡的制作，就能让终端产品快速上市，缩短制作时间。
附图说明
9.图1为本发明一种cis可共用探针卡的整体结构示意图。
10.图中：1、探针卡主体；2、一号针卡；3、二号针卡。
具体实施方式
11.为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
12.在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
13.在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
14.如图1所示，一种cis可共用探针卡，包括探针卡主体1，探针卡主体1的上端固定连接有若干个一号针卡2，探针卡主体1的下端固定连接有若干个二号针卡3，一号针卡2和二号针卡3的数量不同，探针卡主体1能够将cis图像传感器晶圆测试用探针卡与cis图像传感器ic成品用测试针卡共用基板，探针卡主体1设置为load board探针卡，探针卡主体1通过改变cis电路测试探针卡的孔洞以及探针的几何配置，探针卡主体1通过一号针卡2和二号针卡3能够实现可共用探针卡的双面使用，且探针卡主体1能够通过若干个一号针卡2和二号针卡3大大减少探针卡设计的时间。
15.探针卡主体1能够将cis图像传感器晶圆测试用探针卡与cis图像传感器ic成品用测试针卡共用基板，探针卡主体1设置为load board探针卡，探针卡主体1通过改变cis电路测试探针卡的孔洞以及探针的几何配置，探针卡主体1通过一号针卡2和二号针卡3能够实现可共用探针卡的双面使用，且探针卡主体1能够通过若干个一号针卡2和二号针卡3大大减少探针卡设计的时间，通过在探针卡主体1上设置一号针卡2和二号针卡3，使可共用探针卡实现双面使用，通过一体两面的设计，能达到多功能的探针卡，提高探针卡的适用范围，且可共用探针卡能让除了能让使用者一次达成两种验证方式外，还能大大的减少探针卡设计的时间，提高检测效率，因为对于半导体测试来说，时间就是金钱，能以最短时间完成探针卡的制作，就能让终端产品快速上市，缩短制作时间。
16.需要说明的是，本发明为cis可共用探针卡，本发明的探针卡主体1在使用时，能够将cis图像传感器晶圆测试用探针卡与cis图像传感器ic成品用测试针卡共用基板，能够大幅减少测试成本，通过改变cis电路测试探针卡的孔洞以及探针的几何配置，使cis电路测试探针卡具有小孔洞，并以一对一的方式对应于cis晶片，使得每一小孔洞设置于一相对应的cis晶片上方，从而使探针在cis晶片的感光区域产生阴影的风险可以有效降低，在cp测试时利用垂直式探针卡技术在探针中间位置挖空放入透光片，上面加载可移动测试光源片筒或光源片，使其达到全光或暗光测试环境，而此张垂直式探针卡翻转后便可以变成一块ft测试使用的load board，能达到同产品共享，这是利用探针卡及load board都是需要pcb做为载体的基础上，让他们制作时设计成可共享的pcb载板便是目的上所说的可共享探针卡,也节省开发时间及研发费用让开发周期大大缩短增加产品快速上市竞争力，通过在探
针卡主体1上设置一号针卡2和二号针卡3，使可共用探针卡实现双面使用，通过一体两面的设计，能达到多功能的探针卡，提高探针卡的适用范围，且可共用探针卡能让除了能让使用者一次达成两种验证方式外，还能大大的减少探针卡设计的时间，提高检测效率，因为对于半导体测试来说，时间就是金钱，能以最短时间完成探针卡的制作，就能让终端产品快速上市，缩短制作时间，高效可靠，可推广使用。
17.以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。


技术特征：
1.一种cis可共用探针卡，包括探针卡主体(1)，其特征在于：所述探针卡主体(1)的上端固定连接有若干个一号针卡(2)，所述探针卡主体(1)的下端固定连接有若干个二号针卡(3)，所述一号针卡(2)和二号针卡(3)的数量不同，所述探针卡主体(1)能够将cis图像传感器晶圆测试用探针卡与cis图像传感器ic成品用测试针卡共用基板，所述探针卡主体(1)设置为load board探针卡，所述探针卡主体(1)通过改变cis电路测试探针卡的孔洞以及探针的几何配置，所述探针卡主体(1)通过一号针卡(2)和二号针卡(3)能够实现可共用探针卡的双面使用，且探针卡主体(1)能够通过若干个一号针卡(2)和二号针卡(3)大大减少探针卡设计的时间。

技术总结
本发明公开了一种CIS可共用探针卡，包括探针卡主体，所述探针卡主体的上端固定连接有若干个一号针卡，所述探针卡主体的下端固定连接有若干个二号针卡，所述一号针卡和二号针卡的数量不同，所述探针卡主体能够将CIS图像传感器晶圆测试用探针卡与CIS图像传感器IC成品用测试针卡共用基板。本发明所述的一种CIS可共用探针卡，结构紧凑，通过一体两面的设计，能达到多功能的探针卡，提高探针卡的适用范围，且可共用探针卡能让除了能让使用者一次达成两种验证方式外，还能大大的减少探针卡设计的时间，提高检测效率，因为对于半导体测试来说，时间就是金钱，能以最短时间完成探针卡的制作，就能让终端产品快速上市，缩短制作时间。缩短制作时间。缩短制作时间。


技术研发人员：刘家铭 吴灿煌 谢琼嬅 苏涛 苏华庭
受保护的技术使用者：合肥芯测半导体有限公司
技术研发日：2022.09.27
技术公布日：2022/12/19