一种多功能透明结构深紫外准分子激光传输装置

技术特征：
1.一种多功能透明结构深紫外准分子激光传输装置，其特征在于：包括具有密闭空间(100)的壳体(1)，所述的壳体(1)一侧设有与深紫外准分子激光发生器(2)输出端连接的深紫外准分子激光射入窗口(11)，所述的壳体(1)的另一侧设有与深紫外准分子激光加工或实验平台(17)连接的能供深紫外准分子激光射出的深紫外准分子激光射出窗口(12)，所述的壳体(1)内并位于深紫外准分子激光射入窗口(11)与深紫外准分子激光射出窗口(12)之间还设有用于改变深紫外准分子激光出射路径的光路调节装置(3)，所述的壳体(1)内并位于深紫外准分子激光射入窗口(11)与深紫外准分子激光射出窗口(12)之间还设有能够对通过光路调节装置(3)的深紫外准分子激光发散角进行校正的光束准直系统(4)，所述的壳体(1)上还连接有与密闭空间(100)连通并用于向密闭空间(100)内注入能够减少深紫外准分子激光传输损耗的介质(101)的介质存储装置(5)，所述的壳体(1)上设有能够开闭而使得介质充入壳体(1)的充气口(51)，所述的壳体(1)上还设有能够开闭而使得空气被排出的出气口(13)，所述的壳体(1)包括外壳(19)和连接在外壳(19)上的透明观察窗(14)，所述的壳体(1)上还设有能够打开或关闭的操作窗口部(18)。2.根据权利要求1所述的多功能透明结构深紫外准分子激光传输装置，其特征在于：所述的光路调节装置(3)包括设于壳体(1)内并用于将通过深紫外准分子激光射入窗口(11)后的深紫外准分子激光反射的第一反射镜(31)，所述的壳体(1)内并位于深紫外准分子激光射出窗口(12)处设有能够引导第一反射镜(31)反射的深紫外准分子激光从深紫外准分子激光射出窗口(12)射出的第二反射镜(32)。3.根据权利要求2所述的多功能透明结构深紫外准分子激光传输装置，其特征在于：所述的光束准直系统(4)包括间隔设于第一反射镜(31)及第二反射镜(32)之间的第一光阑(41)和第二光阑(42)，所述的第一光阑(41)上设有限定深紫外准分子激光通过的第一通孔(411)，所述的第二光阑(42)上设有限定深紫外准分子激光通过的第二通孔(421)，所述的第一光阑(41)与第二光阑(42)之间设有可以调节深紫外准分子激光发散角的深紫外准分子激光扩束准直镜片(43)，所述的第一光阑(41)和第二光阑(42)的激光入射一侧壁上涂覆有能够感应深紫外准分子激光的荧光感应膜(400)，所述的操作窗口部(18)包括能够关闭或打开并分别于与第一反射镜(31)、第二反射镜(32)、第一光阑(41)、第二光阑(42)及多个深紫外准分子激光扩束准直镜片(43)位置相对应的第一操作窗口(181)、第二操作窗口(182)、第三操作窗口(183)、第四操作窗口(184)、第五操作窗口(185)及第六操作窗口(186)。4.根据权利要求1所述的多功能透明结构深紫外准分子激光传输装置，其特征在于：所述的壳体(1)上设有观察窗槽(15)，所述的透明观察窗(14)由透明材料制成且安装于观察窗槽(15)内，且所述的透明观察窗(14)与观察窗槽(15)之间还设有密封条(16)。5.根据权利要求4所述的多功能透明结构深紫外准分子激光传输装置，其特征在于：所述的介质存储装置(5)包括用于储存介质(101)的储物容器(52)，所述的储物容器(52)上连接有控制介质流量的阀门装置(53)和传输管道(54)，所述的介质(101)通过控依次制介质流量的阀门装置(53)、传输管道(54)和充气口(51)后将介质(101)输入至密闭空间(100)内。6.根据权利要求1或5所述的多功能透明结构深紫外准分子激光传输装置，其特征在于：所述的介质(101)为n2、he、ne、ar等气体中的一种。
7.根据权利要求1所述的多功能透明结构深紫外准分子激光传输装置，其特征在于：所述的深紫外准分子激光射入窗口(11)前端可移动地设有能够反射深紫外准分子激光发生器(2)射出的深紫外准分子激光的第一深紫外准分子激光分镜(6)，所述的第一深紫外准分子激光分镜(6)一侧设有用于检测深紫外准分子激光能量的第一深紫外准分子激光功率计(7)。8.根据权利要求1所述的多功能透明结构深紫外准分子激光传输装置，其特征在于：所述的深紫外准分子激光射出窗口(12)的后端可移动地设有能够反射深紫外准分子激光发生器(2)射出深紫外准分子激光的第二深紫外准分子激光分镜(8)，所述的第二深紫外准分子激光分镜(8)一侧设有用于检测深紫外准分子激光能量的第二深紫外准分子激光功率计(9)。9.根据权利要求1所述的多功能透明结构深紫外准分子激光传输装置，其特征在于：所述的深紫外准分子激光射出窗口(12)输出的深紫外准分子激光经过第二深紫外准分子激光分镜(8)后能够射出至可以三维精密调节的加工或实验平台(17)处，所述的深紫外准分子激光射出窗口(12)与所述的三维精密调节的加工或实验平台(17)之间能够设置需要的光学系统(102)将激光聚焦到待加工和实验的样品上。10.根据权利要求1所述的多功能透明结构深紫外准分子激光传输装置，其特征在于：所述的第一通孔(411)与第二通孔(421)为圆形或方形。

技术总结
本发明公开了一种深紫外准分子激光传输装置，包括具有密闭空间的壳体，壳体上设有深紫外准分子激光射入窗口和深紫外准分子激光射出窗口，壳体内并位于深紫外准分子激光射入窗口与深紫外准分子激光射出窗口之间还设有光路调节装置，壳体内并位于深紫外准分子激光射入窗口与深紫外准分子激光射出窗口之间还设有光束准直系统，壳体上还连接有用于向密闭空间内注入减少深紫外准分子激光传输损耗的介质的介质存储装置，壳体上设有充气口及出气口，壳体包括外壳和透明观察窗，壳体上还设有操作窗口部。本发明目的是克服了现有技术的不足，提供能够有效减少深紫外准分子激光传输中的能量损耗并方便直接观察和调试的深紫外准分子激光传输装置。分子激光传输装置。分子激光传输装置。


技术研发人员：马跃 游利兵 朱能伟 刘弘禹 方晓东 罗凯平
受保护的技术使用者：深圳技术大学
技术研发日：2022.10.09
技术公布日：2022/12/9