1.本发明涉及图案形成用层叠膜和未感光的丝网印刷版以及它们的制造方法。
背景技术：
：：2.作为制造丝网印刷版的方法，可举出使用图案形成用膜的方法。该方法与直接涂布感光性树脂的方法相比，在以下方面存在优点：使用图案形成用膜转印感光性树脂层时，能够在丝网上平滑地形成感光性树脂膜、并且抑制版内的厚度不均。因此，能够制作显影后的图案边缘尖锐且油墨转移量的不均少的印刷精度高的版。3.在使用这样的图案形成用膜制造丝网印刷用印刷版时，首先在丝网上涂布水、感光性树脂等，贴合图案形成用膜的感光性树脂层，充分干燥后，剥离支撑层，由此将感光性树脂层转印到丝网上，然后，隔着图案掩模曝光感光性树脂层，接着通过水等进行显影，由此能够在丝网上形成规定的图案。4.然而，感光性树脂层的表面由于其构成成分的原因而往往带有粘性，因此会产生以下问题：在曝光时难以对准图案掩模的位置而阻碍与图案掩模的均匀密合、或者在曝光后在将图案掩模从感光性树脂层上剥离时感光性树脂层的一部分损伤而污染图案掩模等。5.为了防止这些问题，在日本特开昭58-60745号公报、国际公开2013-080958号公报中提出了在支撑层与感光性树脂层之间配置聚乙烯醇、氟化合物作为中间层的图案形成用层叠膜。6.然而，由于聚乙烯醇是水溶性高分子，它被认为会吸收空气中的水分，似乎不足以抑制印刷版的粘性。7.另外，该中间层本来是非感光性材料，在显影时被除去，但实际上，由于与感光性树脂层长时间接触，一部分感光性成分向中间层转移，在曝光时不溶于显影液。因此，有时无法通过显影除去而在版膜表面残存中间层的成分。因此，有时无法发挥原本所设计的感光性树脂的性能。现有技术文献8.专利文献专利文献1：日本特开昭58-60745号公报专利文献2：国际公开2013-080958号公报技术实现要素：发明要解决的课题9.根据本发明，其课题在于，不吸收空气中的水分，不必要的成分不残留在版膜表面，抑制感光性树脂层的粘性，且提高曝光时的密合不良和作业性。解决课题的手段10.本发明通过提供规定的图案形成用层叠膜来解决上述课题。因此，本发明的图案形成用层叠膜的特征在于，依次由支撑层、糊层、非水溶性高分子层和感光性树脂层构成。11.这样的本发明的图案形成用层叠膜优选包含如下实施方式：上述感光性树脂层为能够用中性水显影的感光性树脂。12.这样的本发明的图案形成用层叠膜优选包含如下实施方式：所述支撑层与糊层之间的层间粘接力(x)、所述糊层与非水溶性高分子层之间的层间粘接力(y)、以及所述非水溶性高分子层与感光性树脂层之间的层间粘接力(z)处于如下关系：层间粘接力(x)＞层间粘接力(y)层间粘接力(z)＞层间粘接力(y)。13.这样的本发明的图案形成用层叠膜优选包含如下实施方式：上述的糊层与非水溶性高分子层之间的层间粘接力(y)为0.001～1.0n/25mm的层。14.这样的本发明的图案形成用层叠膜优选包含如下实施方式：上述非水溶性高分子层的雾度值为5.0％以下。15.这样的本发明的图案形成用层叠膜优选包含如下实施方式：上述非水溶性高分子层的厚度为1～100μm。16.这样的本发明的图案形成用层叠膜优选包含如下实施方式：上述感光性树脂层包含含有下述成分(a)和成分(b)的感光性树脂，成分(a)：皂化度为50摩尔％以上的聚乙烯醇，成分(b)：重氮树脂。17.这样的本发明的图案形成用层叠膜优选包含如下实施方式：上述感光性树脂层包含含有下述成分(a)、成分(c)和成分(d)的感光性树脂，成分(a)：皂化度为50摩尔％以上的聚乙烯醇，成分(c)：具有至少1个环氧基的环氧化合物，成分(d)：光酸产生剂。18.这样的本发明的图案形成用层叠膜优选包含如下实施方式：上述感光性树脂层包含含有下述成分(e)的感光性树脂，成分(e)：具有苯乙烯基取代的吡啶基或苯乙烯基取代的喹啉基的皂化度为50摩尔％以上的聚乙烯醇。19.这样的本发明的图案形成用层叠膜优选包含如下实施方式：上述感光性树脂层包含还含有下述成分(f)和成分(g)的感光性树脂，成分(f)：具有至少1个烯属不饱和键的自由基聚合性化合物，成分(g)：光自由基聚合引发剂。20.这样的本发明的图案形成用层叠膜优选包含如下实施方式：上述感光性树脂层包含还含有下述成分(h)的感光性树脂，成分(h)：水性聚合物乳液。21.这样的本发明的图案形成用层叠膜优选包含如下实施方式：在上述图案形成用层叠膜的感光性树脂层侧进一步层叠保护层。22.而且，本发明的未感光的丝网印刷版的特征在于，包含：层叠膜，其是从上述图案形成用层叠膜中除去了上述支撑层和糊层而得到的层叠膜；和丝网，其层叠于上述层叠膜的感光性树脂层侧。23.而且，本发明的未感光的丝网印刷版的制造方法的特征在于，包括下述工序(a)和工序(b)：工序(a)：在上述图案形成用层叠膜的上述感光性树脂层侧接合丝网的工序，工序(b)：从上述图案形成用层叠膜的非水溶性高分子层上剥离上述支撑层和糊层的工序。24.并且，本发明的丝网印刷版的特征在于，在未感光的丝网印刷版上形成潜像并显影感光性树脂层，上述未感光的丝网印刷版包含：层叠膜，其是从上述图案形成用层叠膜中除去了上述支撑层和糊层而得到的层叠膜；和丝网，其层叠于上述层叠膜的感光性树脂层侧。25.而且，本发明的丝网印刷版的制造方法的特征在于，包括下述工序(a)～工序(f)。26.工序(a)：在上述图案形成用层叠膜的上述感光性树脂层侧接合丝网的工序，工序(b)：从上述图案形成用层叠膜的非水溶性高分子层上剥离上述支撑层和糊层的工序，工序(c)：在上述非水溶性高分子层的表面上配置图案掩模的工序，工序(d)：在上述感光性树脂层上形成潜像的工序，工序(e)：剥离上述非水溶性高分子层的工序，工序(f)：对形成了上述潜像的感光性树脂层进行显影的工序。27.而且，本发明的感光性抗蚀剂基材的特征在于，包含：上述图案形成用层叠膜，和层叠于上述图案形成用层叠膜的上述感光性树脂层侧的基材。发明效果28.本发明的图案形成用层叠膜在感光性树脂层的表面上层叠有非水溶性高分子层。由于该非水溶性高分子层的表面平滑，因此易于将图案掩模定位在非水溶性高分子层的表面。29.而且，由于图案掩模与非水溶性高分子层的密合性高且均匀性高，因此能够抑制图案掩模的变形等。由此，能够极其准确地进行感光性树脂层的曝光及潜像的形成。30.而且，该非水溶性高分子层起感光性树脂层的所谓保护层的作用，防止周围环境和劣化成分等影响感光性树脂层。例如，可防止感光性树脂层吸湿，或防止来自其他层的有害成分等的转移，因此可长期维持感光性树脂本来的优异特性。因此，根据本发明的图案形成用层叠膜，能够得到准确地形成期望的高精细图案的丝网印刷版。31.本发明的图案形成用层叠膜通过在曝光时在感光性树脂层上存在非水溶性高分子层，不存在在以往的水溶性高分子层的情况下担心的吸湿和残留，能够防止图案掩模被感光性树脂成分污染。32.而且，能够防止由感光性树脂层的粘性引起的密合不良，对位也容易，且抑制杂质的附着，也容易除去附着的杂质。进而，由于具有聚合物层，因此无需担心粘性问题，拓宽了感光材料的设计范围。附图说明33.图1是表示本发明的优选的未感光的丝网印刷版的示意图。图2是表示本发明的优选的未感光的丝网印刷版的示意图。图3是表示本发明的优选的丝网印刷版的制造方法的示意图。具体实施方式34.《图案形成用层叠膜》本发明的图案形成用层叠膜的特征在于，依次由支撑层、糊层、非水溶性高分子层和感光性树脂层构成。35.本发明的图案形成用层叠膜包含：支撑层、糊层、非水溶性高分子层和感光性树脂层。在此，所谓“包含”除了是指仅包含列举的各层(即，支撑层、糊层、非水溶性高分子层和感光性树脂层)的情况，还包括包含列举的各层以外的层或材料等的情况。作为这样的列举的各层以外的层的代表例，例如可举出保护层。36.本发明的图案形成用层叠膜例如可应用于各种印刷
技术领域：
：，特别优选丝网印刷领域。在将本发明的图案形成用层叠膜应用于这样的印刷领域时，首先，有时，将糊层与非水溶性高分子层的界面剥离，除去支撑层和糊层，然后将非水溶性高分子层剥离。37.因此，作为可适用于丝网印刷领域的本发明的特别优选的图案形成用层叠膜，可举出：所述支撑层与糊层之间的层间粘接力(x)、所述糊层与非水溶性高分子层之间的层间粘接力(y)、以及所述非水溶性高分子层与感光性树脂层之间的层间粘接力(z)为下述关系。层间粘接力(x)＞层间粘接力(y)层间粘接力(z)＞层间粘接力(y)予以说明，层间粘接力(x)和层间粘接力(z)之间存在以下情况：(x)大于(z)、(x)小于(z)、以及(x)等于(z)。38.《支撑层》在本发明中，作为支撑层，可以使用由各种材料构成的支撑层。例如，可以使用由各种树脂材料构成的支撑层，另外，也可以使用由天然原材料构成的支撑层。39.作为优选的材质，例如可举出：纸、离型纸、聚对苯二甲酸乙二醇酯等聚酯、聚甲基戊烯、聚丙烯、聚乙烯等聚烯烃、聚氟乙烯、聚氯乙烯等含卤素的乙烯基聚合物、尼龙等聚酰胺、玻璃纸等纤维素、聚苯乙烯、丙烯酸系树脂、聚酰亚胺等膜。支撑层可以是透明或不透明的，为了提高层叠膜的功能等，可以对单面或双面实施离型处理、消光处理、易粘接处理。例如通过上述处理，例如容易控制支撑层与糊层之间的层间粘接力(x)。支撑层的厚度没有特别限定，优选为10～200μm，特别优选为30～125μm。40.《糊层》在本发明中，作为糊层，可以使用由各种材料构成的糊层。即，糊层中使用的糊材没有特别限制，可以使用各种糊材。作为优选的糊材，例如可以使用以以下物质为代表的各种糊剂：丙烯酸系(一液型或二液型)的粘合剂或粘接剂、橡胶系或聚氨酯系的粘合剂或粘接剂、有机硅系的粘合剂或粘接剂、乙酸乙烯酯系粘合剂或粘接剂。41.进而，可以使用无溶剂型、溶剂型、乳液型、热固化型、uv固化型、eb固化型、热熔型等。糊层的厚度没有特别限定，优选为0.5～30μm，特别优选为0.5～20μm。42.糊层的形成可通过以下方法实施：通过凹版印刷法、逗号涂布、气刀法、刮片法、棒涂法、模涂法、刮刀法等通常的涂布方法，在支撑层上涂布上述糊材后，再通过加热处理、紫外线照射处理、电子束照射处理等方法进行干燥和固化。43.用于形成该糊层的糊材的选择优选使得：糊层与非水溶性高分子层之间的层间粘接力(y)为0.001～1.0n/25mm，特别优选为0.005～0.5n/25mm(p-pet)。当小于0.001n/25mm时，有时因对非水溶性高分子层的附着力不足而产生剥离和浮起等，因而不优选，另一方面，当大于1.0n/25mm时，则难以从非水溶性高分子层上剥离、剥离后产生糊残留、或表面污染性变高等，因而不优选。层间粘接力(y)在25mm宽的聚对苯二甲酸乙二醇酯膜上形成糊层，然后进一步贴合压接聚对苯二甲酸乙二醇酯膜。由在23℃下1分钟后以300mm/分钟的速度以180度的角度剥离时的力表示(根据jis-z0237)。44.本发明的图案形成用层叠膜优选在将支撑层和糊层从非水溶性高分子层上剥离后，构成糊层的糊剂不残留在非水溶性高分子层的表面。以10cm2的糊材质量为100时，将糊层剥离后的非水溶性高分子层的表面的糊剂的残留量优选为5％以下，更优选为1％以下，特别优选为0.1％以下。45.《非水溶性高分子层》在本发明的图案形成用层叠膜中，构成感光性树脂层的树脂被透过非水溶性高分子层的光固化。非水溶性高分子层优选雾度值低。例如，雾度值优选为0.01～5.0％，特别优选为0.05～3.0％。在此，雾度值是根据jis-k7136测得的值。46.通过使雾度值在上述优选的范围内，即使光照射量少，也能良好地进行感光性树脂层的固化，并且能够使感光性树脂层形成高精细的期望的图案。47.作为优选的非水溶性高分子层，例如可举出：聚对苯二甲酸乙二醇酯等聚酯、聚甲基戊烯、聚丙烯、聚乙烯等聚烯烃、聚氟乙烯、聚氯乙烯等含卤素的乙烯基聚合物、尼龙等聚酰胺、玻璃纸等纤维素、聚苯乙烯、丙烯酸系树脂、聚酰亚胺、聚醚砜树脂等膜。当非水溶性高分子层在雾度值的范围内时，为了提高层叠膜的功能等，可以对单面或双面实施离型处理、易粘接处理。例如通过上述处理，例如易于控制糊层与非水溶性高分子层之间的层间粘接力(y)、非水溶性高分子层与感光性树脂层之间的层间粘接力(z)。作为特别优选的非水溶性高分子层，适宜使用聚酯膜、聚烯烃膜。厚度优选为1～100μm。48.《感光性树脂层》本发明的图案形成用层叠膜的感光性树脂层可包含可通过光照射形成潜像、且可通过中性水显影的树脂构成。优选为可使用水作为溶剂而形成涂膜的树脂。作为这样的感光性树脂层的优选例，可举出：以下的第1具体例、第2具体例和第3具体例。49.《＜第1感光性树脂层＞》感光性树脂层的第1具体例包含含有下述成分(a)和成分(b)的感光性树脂。成分(a)：皂化度为50摩尔％以上的聚乙烯醇成分(b)：重氮树脂。在此，所谓“含有”是指除了含有列举的各成分(即，仅包含成分(a)和成分(b))以外，还含有除了列举的成分以外的成分等。作为这样的除了列举的成分以外的成分的代表例，例如可举出：成分(f)～(h)(详细后述)。50.关于成分(a)与成分(b)的存在比率(质量％)，成分(a)：成分(b)优选为1：0.005～1：0.5，特别优选为1：0.01～1：0.2。上述含有成分(a)和成分(b)的感光性树脂可根据需要含有成分(f)～(h)中的任一种或多种。51.成分(a)成分(a)是皂化度为50摩尔％以上的聚乙烯醇。皂化度优选为50～100摩尔％，特别优选为70～100％，只要不损害水溶性，也可以为与其它乙烯基单体的共聚物。其平均聚合度优选为200～5000，特别优选为300～4000。也可以混合皂化度和聚合度不同的2种以上的聚乙烯醇。另外，也同样可以使用阳离子改性或阴离子改性等改性物。52.成分(b)成分(b)为重氮树脂。作为具体例，可举出：对重氮二苯胺或3-甲氧基-4-重氮二苯胺与4,4′‑双甲氧基甲基二苯基醚的缩合物、及它们的硫酸盐、磷酸盐及氯化锌复盐阴离子络合物的重氮树脂、对重氮二苯胺或3-甲氧基-4-重氮二苯胺与多聚甲醛的缩合物的硫酸盐、磷酸盐及氯化锌复盐阴离子络合物的重氮树脂。作为这种重氮树脂，除了对氨基二苯胺以外，还可以使用采用多聚甲醛、乙醛、丙醛、正丁醛等醛类使4-氨基-4′‑甲基二苯胺、4-氨基-4′‑乙基二苯胺、4-氨基-4′‑甲氧基二苯胺、4-氨基-4′‑氯二苯胺、4-氨基-4′‑硝基二苯胺等二苯胺类的重氮化物缩合而成的水溶性重氮树脂。53.其中，特别优选为对重氮二苯胺与多聚甲醛的缩合物、3-甲氧基-4-重氮二苯胺与多聚甲醛的缩合物、对重氮二苯胺与4,4′‑双甲氧基甲基二苯基醚的缩合物、3-甲氧基-4-重氮二苯胺与4,4′‑双甲氧基甲基二苯基醚的缩合物。上述成分(b)可单独使用1种，也可以并用2种以上。54.成分(f)成分(f)是具有至少1个烯属不饱和键的自由基聚合性化合物，相当于“光固化技术数据书”(テクノネット社，2000年)中记载的单体和低聚物等。55.作为单官能性单体的具体例，例如可举出：(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸异癸酯、(甲基)丙烯酸2-羟乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟丙酯、(甲基)丙烯酸2-羟丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙氧基乙酯、(甲基)丙烯酸2-(2-乙氧基乙氧基)乙酯、(甲基)丙烯酸正丁氧基乙酯、(甲基)丙烯酸吗啉代乙酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸甲氧基二甘醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基三乙(丙)二醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基四乙(丙)二醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基聚乙(丙)二醇酯、(甲基)丙烯酸乙氧基二乙(丙)二醇酯、(甲基)丙烯酸乙氧基三乙(丙)二醇酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸四氢呋喃酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸二环戊基酯、(甲基)丙烯酸n,n-二甲氨基乙酯、(甲基)丙烯酸n,n-二乙氨基乙酯、氧化物改性的磷酸(甲基)丙烯酸酯、ω-羧基-聚己内酯单丙烯酸酯、邻苯二甲酸单羟基乙酯丙烯酸酯等。予以说明，本说明书中，“(甲基)丙烯酸酯”是指“甲基丙烯酸酯”和“丙烯酸酯”这两者，“乙(丙)二醇”是指“乙二醇”和“丙二醇”这两者。56.作为具有2个以上烯属不饱和键的多官能性单体的具体例，例如可举出：乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二甘醇二(甲基)丙烯酸酯、1,3-丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、环氧乙(丙)烷改性的双酚a二丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、双(丙烯酰氧基新戊二醇)己二酸酯、双(甲基丙烯酰氧基新戊二醇)己二酸酯、表氯醇改性的1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、羟基新戊酸新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性的羟基新戊酸新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、双(三羟甲基丙烷)三(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇改性的三羟甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、环氧乙(丙)烷改性的三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、丙烯酸羟丙酯改性的三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇聚丙氧基丙烯酸酯、硬脂酸改性的季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇单羟基五(甲基)丙烯酸酯、烷基改性的二季戊四醇聚(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性的二季戊四醇聚(甲基)丙烯酸酯、甘油二(甲基)丙烯酸酯、表氯醇改性的甘油三(甲基)丙烯酸酯、氧化物改性的甘油三(甲基)丙烯酸酯、三(丙烯酰氧基乙基)异氰脲酸酯、三(甲基丙烯酰氧基乙基)异氰脲酸酯、己内酯改性的三(丙烯酰氧基乙基)异氰脲酸酯、己内酯改性的三(甲基丙烯酰氧基乙基)异氰脲酸酯、氧化物改性的双酚(甲基)丙烯酸酯等。57.作为低聚物，例如可以使用聚酯(甲基)丙烯酸酯低聚物、双酚a型环氧(甲基)丙烯酸酯、己内酯加成的(甲基)丙烯酸酯、苯酚酚醛清漆型环氧(甲基)丙烯酸酯、甲酚酚醛清漆型环氧(甲基)丙烯酸酯等环氧(甲基)丙烯酸酯、氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯等。进而，可以使用含烯属不饱和键的聚酯树枝状大分子等。这种含烯属不饱和键的聚酯树枝状大分子的具体例例如记载于日本特开2005-76005号、日本特开2005-47979号、日本特开2005-76005号等各公报等中。58.上述成分(f)可单独使用1种，也可以并用2种以上。当将上述成分(a)和成分(b)的合计设为100质量％时，成分(f)的存在量(质量％)优选为1.0～800质量％，特别优选为10～600质量％。59.成分(g)成分(g)为光聚合引发剂，没有特别限制，作为一例，可举出：二苯甲酮、双-n,n-二甲氨基二苯甲酮等二苯甲酮类、噻吨酮、异丙基噻吨酮等噻吨酮类。60.另外，作为油溶性的光自由基聚合引发剂，可举出：苯偶姻、苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻异丙基醚等苯偶姻和苯偶姻烷基醚类；苯乙酮、2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、2,2-二乙氧基-2-苯基苯乙酮、1,1-二氯苯乙酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、1-(4-异丙基苯基)-2-羟基-2-甲基丙烷-1-酮、1-(4-十二烷基苯基)-2-羟基-2-甲基丙烷-1-酮、4-(2-羟基乙氧基)-苯基(2-羟基-2-丙基)酮、1-羟基环己基苯基酮等苯乙酮类；2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代丙酮-1、2-苄基-2-二甲氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮-1等氨基苯乙酮类；2-甲基蒽醌、2-乙基蒽醌、2-叔丁基蒽醌、1-氯蒽醌等蒽醌类；2,4-二甲基噻吨酮、2,4-二乙基噻吨酮、2-氯噻吨酮、异丙基噻吨酮、2,4-二异丙基噻吨酮等噻吨酮类；苯乙酮二甲基缩酮、苄基二甲基缩酮等缩酮类；二苯甲酮等二苯甲酮类或呫吨酮类等，它们可以单独使用1种或组合使用2种以上，另外，叔胺类这样的公知的敏化剂可以单独使用1种或组合使用2种以上。成分(g)的量(质量％)相对于上述成分(f)优选为0.1～20质量％，特别优选为0.5～10质量％。[0061]成分(h)成分(h)为水性聚合物乳液，例如可举出：聚乙酸乙烯酯、乙酸乙烯酯/乙烯共聚物、乙酸乙烯酯/丙烯酸酯共聚物、(甲基)丙烯酸聚合物、苯乙烯/丁二烯共聚物、甲基丙烯酸甲酯/丁二烯共聚物、丙烯腈/丁二烯共聚物、氯丁二烯聚合物、异戊二烯聚合物、聚氯乙烯、聚偏二氯乙烯、聚苯乙烯、有机硅树脂、聚乙烯、聚氨酯、氟树脂等。作为这些疏水性聚合物粒子，可举出：在聚合工序中得到的聚乙酸乙烯酯乳液、乙烯-乙酸乙烯酯共聚物乳液、乙酸乙烯酯-丙烯酸共聚物乳液、乙烯-乙酸乙烯酯-丙烯酸三元共聚乳液、氯乙烯-乙酸乙烯酯共聚物乳液、丙烯酸乳液、苯乙烯-丁二烯胶乳乳液、mbr胶乳乳液、丙烯腈-丁二烯橡胶胶乳乳液、氯丁橡胶胶乳乳液、偏二氯乙烯乳液等。进而，可适宜使用将由多官能性(甲基)丙烯酸酯制备的水性乳液通过热聚合引发剂或光聚合引发剂进行乳液聚合而得到的具有交联结构的聚合物的水性乳液。作为合成高分子分散体，聚乙烯分散体、聚烯烃离聚物分散体、氨基甲酸酯离聚物分散体等是有用的。当将上述成分(a)和成分(b)的合计设为100质量％时，成分(h)的存在比率(质量％)优选为1～1500质量％，特别优选为10～1000质量％。[0062]其他成分在第1感光性树脂层中，作为其他成分，可以根据需要添加交联剂、有机或无机粒子、硅烷偶联剂、颜料、染料、热聚合抑制剂、表面活性剂、消泡剂、抗氧化剂、密合性赋予剂、增塑剂、溶剂、表面张力调节剂、稳定剂、链转移剂、阻燃剂、抗菌剂、防腐剂等。[0063]《＜第2感光性树脂层＞》＞感光性树脂层的第2具体例包含含有下述成分(a)、成分(c)和成分(d)的感光性树脂。成分(a)：皂化度为50摩尔％以上的聚乙烯醇成分(c)：具有至少1个环氧基的环氧化合物成分(d)：光酸产生剂[0064]在此，所谓“含有”是指除了含有列举的各成分(即，仅含有成分(a)、成分(c)和成分(d))以外，还含有除了列举的成分以外的成分等。作为这样的除了列举的各成分以外的成分的代表例，例如可举出成分(f)～(h)。[0065]关于成分(a)与成分(c)的存在比率(质量％)，成分(a)：成分(c)优选为1：1～1：10，特别优选为1：2～1：6。成分(d)的量(质量％)相对于上述成分(c)优选为1～20质量％，特别优选为3～10质量％。含有上述成分(a)、成分(c)和成分(d)的感光性树脂可根据需要含有成分(f)～(h)中的任一种或多种。[0066]成分(a)作为第2具体例中的成分(a)，可以使用在第1感光性树脂的具体例中作为成分(a)例示的那些。[0067]成分(c)成分(c)是具有至少1个环氧基的化合物。作为2官能以上的缩水甘油基型环氧化合物，例如可举出：乙二醇二缩水甘油基醚、二甘醇二缩水甘油基醚、聚乙二醇二缩水甘油基醚、丙二醇二缩水甘油基醚、三丙二醇二缩水甘油基醚、聚丙二醇二缩水甘油基醚、间苯二酚二缩水甘油基醚、新戊二醇二缩水甘油基醚、1,6-己二醇二缩水甘油基醚、甘油二缩水甘油基醚、二溴新戊二醇二缩水甘油基醚、氢化双酚a二缩水甘油基醚、对苯二甲酸二缩水甘油基酯、邻苯二甲酸二缩水甘油基酯、氢化邻苯二甲酸二缩水甘油基酯、双酚apo2mol加成物二缩水甘油基醚、山梨醇聚缩水甘油基醚、甘油聚缩水甘油基醚、二甘油聚缩水甘油基醚、聚甘油聚缩水甘油基醚、三羟甲基丙烷聚缩水甘油基醚、季戊四醇聚缩水甘油基醚等。进而，作为脂环式环氧化合物，可举出：3,4-环氧环己基甲基-3′,4′‑环氧环己烷甲酸酯、3,4-环氧环己基甲基-3′,4′‑环氧环己烷甲酸酯与ε-己内酯的加成物、1,2,8,9-二环氧柠檬烯、(3,3′,4,4′‑二环氧)双环己基、1,2-环氧-4-乙烯基环己烷)、2,2-双(羟基甲基)-1-丁醇的1,2-环氧-4-(2-氧基嘧啶)环己烷加成物、丁烷四羧酸四(3,4-环氧环己基甲基)修饰的ε-己内酯、甲基丙烯酸3,4-环氧环己基甲酯等。[0068]作为单官能性环氧化合物，可举出：2-乙基己基缩水甘油基醚、苯基缩水甘油基醚、苯酚(eo)5缩水甘油基醚、对叔丁基苯基缩水甘油基醚、二溴苯基缩水甘油基醚、月桂醇(eo)15缩水甘油基醚、cl2、cl3混合醇缩水甘油基醚、n-缩水甘油基邻苯二甲酰亚胺等。若将它们用作反应性稀释剂，则可以使用高粘度或固体的环氧树脂。例如，可以使用苯酚酚醛清漆型环氧树脂、甲酚酚醛清漆型环氧树脂、三羟基苯基甲烷型环氧树脂、二环戊二烯苯酚型环氧树脂、双酚a型环氧树脂、双酚f型环氧树脂、联苯酚型环氧树脂、双酚a酚醛清漆型环氧树脂、含萘骨架的环氧树脂、杂环式环氧树脂、环氧化聚丁二烯、苯乙烯-丁二烯嵌段共聚物的环氧化物、溴化环氧树脂、联苯型环氧树脂、胺型环氧树脂等。另外，可以将具有至少1个氧杂环丁烷基的化合物与上述环氧化合物混合使用。[0069]作为氧杂环丁烷化合物，可举出：j.v.crivelloandh.sasaki,j.m.s.pureappl.chem.，a30(2&3)，189(1993)或j.h.sasakiandv.crivello,j.m.s.pureappl.chem.，a30(2&3),915(1993)中描述的化合物。例如可举出：3-乙基-3-羟甲基氧杂环丁烷(氧杂环丁醇)、2-乙基己基氧杂环丁烷、甲基丙烯酸(3-乙基氧杂环丁烷-3-基)甲基酯、(3-乙基氧杂环丁烷-3-基)甲基丙烯酸酯、3-乙基-3-(4-羟基丁氧基甲基)氧杂环丁烷等单官能氧杂环丁烷化合物、亚二甲苯基双氧杂环丁烷、3-乙基-3{[(3-乙基氧杂环丁烷-3-基)甲氧基]甲基}氧杂环丁烷、4,4′‑双[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基甲基]联苯)、双[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)甲基]间苯二甲酸酯等2官能氧杂环丁烷化合物、季戊四醇三(3-乙基-3-氧杂环丁烷基甲基)醚、季戊四醇四(3-乙基-3-氧杂环丁烷基甲基)醚、二季戊四醇六(3-乙基-3-氧杂环丁烷基甲基)醚、二季戊四醇五(3-乙基-3-氧杂环丁烷基甲基)醚、二季戊四醇四(3-乙基-3-氧杂环丁烷基甲基)醚、己内酯改性的二季戊四醇六(3-乙基-3-氧杂环丁烷基甲基)醚、己内酯改性的二季戊四醇五(3-乙基-3-氧杂环丁烷基甲基)醚、双三羟甲基丙烷四(3-乙基-3-氧杂环丁烷基甲基)醚等多官能氧杂环丁烷化合物。上述成分(c)可以单独使用1种，也可以并用2种以上。[0070]成分(d)成分(d)是产酸剂，使用用于化学放大型光刻胶或光阳离子聚合的化合物(参见“有机电子材料研究会编，“成像用有机材料”，ぶんしん出版(1993年)，187～192页”)。作为酸产生剂的具体例，例如可举出：阳离子化合物、产生氢卤酸的含卤素化合物、产生磺酸的磺化化合物。[0071]作为离子性酸产生剂，例如可举出：重氮铵、碘锍、二茂铁等阳离子的cl-、br-、i-、zncl3-、hso3-、bf4-、pf6-、asf6-、sbf6-、ch3so3-、cf3so3-、全氟丁烷磺酸盐、全氟辛烷磺酸酯、樟脑磺酸盐、苯磺酸盐、对甲苯磺酸盐、9,10-二甲氧基蒽-2-磺酸盐、环己氨基磺酸盐、(c6f5)4b-、(c4h9)4b-等盐。[0072]作为上述阳离子的具体例，可举出：苯基重氮对甲氧基重氮α-萘基重氮联苯基重氮二苯胺-4-重氮3-甲氧基二苯胺-4-重氮2,5-二乙氧基-4-甲氧基苯甲酰基酰胺苯基重氮2,5-二丙氧基-4-(4-甲苯基)硫代苯基重氮4-甲氧基二苯胺-4-重氮4-重氮二苯胺与甲醛的缩合物、1-甲氧基喹啉1-乙氧基异喹啉1-苯酰甲基吡啶1-苄基-4-苯甲酰基吡啶1-苄基喹啉n-取代的苯并噻唑(参照日本特开平5-140143号公报)等。[0073]还可以举出:苄基三苯基锍、对甲氧基苯基二苯基锍、双(对甲氧基苯基)苯基锍、三(对甲氧基苯基)锍、对苯基硫代苯基二苯基锍、苄基四亚甲基锍、苯酰甲基四亚甲基锍、苯酰甲基二甲基锍、对甲氧基苯基二乙基锍、萘基二烷基锍(日本特开平9-118663号公报，日本特开平5-140209号公报)、(2-萘基羰基甲基)四亚甲基锍、(对羟基苯基)二甲基锍、(4-羟基萘基)-二甲基锍、(4,7-二羟基萘基)-1-二甲基锍、(4,8-二羟基萘基)-1-二甲基锍、二苯基碘苯基(4-甲氧基苯基)碘苯基{4-(叔丁基)苯基}碘4-双{4-(叔丁基)苯基}碘双(4-十二烷基苯基)碘(4-甲氧基苯基)(4-辛氧基苯基)碘苯酰甲基三苯基氰甲基三苯基等。[0074]作为产生氢卤酸的产酸剂，可举出：1-甲基-3,5-双(三氯甲基)-均三嗪、1-苯基-3,5-双(三氯甲基)-均三嗪、1-(4-氯苯基)-3,5-双(三氯甲基)-均三嗪、1-(4-甲氧基苯基)-3,5-双(三氯甲基)-均三嗪、1-(4-丁氧基苯基)-3,5-双(三氯甲基)-均三嗪、1-(3,4-亚甲基二氧苯基)-3,5-双(三氯甲基)-均三嗪、1-(3,4-二甲氧基苯基)-3,5-双(三氯甲基)-均三嗪、1-(4-甲氧基萘基-1)-3,5-双(三氯甲基)-均三嗪、1-{2-(4-甲氧基苯基)乙烯基}-3,5-双(三氯甲基)-均三嗪、1-{2-(2-甲氧基苯基)乙烯基}-3,5-双(三氯甲基)-均三嗪、1-{2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基}-3,5-双(三氯甲基)-均三嗪、1-{2-(3-氯-4-甲氧基苯基)乙烯基}-3,5-双(三氯甲基)-均三嗪、1-(联苯-1)-3,5-双(三氯甲基)-均三嗪、1-(4-羟基联苯-1)-3,5-双(三氯甲基)-均三嗪、1-(4-甲氧基联苯-1)-3,5-双(三氯甲基)-均三嗪、1-(4-甲基联苯-1)-3,5-双(三氯甲基)-均三嗪、1,3,5-三(三氯甲基)-均三嗪、1,3-二氯-4-三氯甲基苯、1,1,1-三氯-{2,2-84-氯苯基}乙烷、苯基三溴甲基砜、1-烯基-4-甲基-4-三氯甲基-2,5-环己二烯、2-三溴喹啉、1-烯基-2,3-苯并-4,4,5,6-四氯己烯-5等。[0075]作为产生磺酸的产酸剂，可举出：2-硝基苄基对甲苯磺酸盐、2,6-二硝基苄基对甲苯磺酸盐、1-(对甲苯磺酰氧基亚氨基)-1-苯基乙腈、1-(对甲苯磺酰氧基亚氨基)-1-苯基乙腈、苯偶姻对甲苯磺酸盐、2-对甲苯磺酰氧基-2-苯甲酰基丙烷、对硝基苄基-9,10-二甲氧基蒽-2-磺酸盐、n-三氟甲磺酰氧基二苯基马来酰亚胺、n-对甲苯磺酰氧基琥珀酰亚胺、n-樟脑磺酰氧基琥珀酰亚胺、n-三氟甲磺酰氧基琥珀酰亚胺、n-全氟丁磺酰氧基琥珀酰亚胺、n-对甲苯磺酰氧基邻苯二甲酰亚胺、n-樟脑磺酰氧基邻苯二甲酰亚胺、n-三氟甲磺酰氧基邻苯二甲酰亚胺、n-全氟丁磺酰氧基邻苯二甲酰亚胺、n-对甲苯磺酰氧基-1,8-萘甲酰亚胺、n-樟脑磺酰氧基-1,8-萘甲酰亚胺、n-三氟甲磺酰氧基-1,8-萘甲酰亚胺、n-全氟丁磺酰氧基-1,8-萘甲酰亚胺、1,2,3-三(对甲苯磺酰氧基)苯、双(苯砜)、双(苯磺酰基)甲烷等。[0076]另外，可以将敏化剂与产酸剂并用，作为所使用的敏化剂，期望为供电子性化合物。作为具有这种特性的敏化剂，可举出：芳族多环化合物、卟啉化合物、酞菁化合物、多甲川染料化合物、部花青化合物、香豆素化合物、硫代吡喃化合物、吡喃化合物、对二烷基氨基苯乙烯基化合物、噻吨化合物等，但并不限定于此。它们大多记载于大河、平岛、松冈、北尾编集的“色素手册”(讲谈社)、社团法人色材协会编集的“色材工学手册”、朝仓书店(1989年发行)、林原生物化学研究所感光色素研究所的“dyecatalogue”等中。[0077]成分(f)作为第2具体例中的成分(f)，可以使用在第1感光性树脂的具体例中作为成分(f)例示的那些。当将上述成分(a)、成分(c)和成分(d)的合计设为100质量％时，成分(f)的存在比率(质量％)优选为1～60质量％，特别优选为5～30质量％。[0078]成分(g)作为第2具体例中的成分(g)，可以使用在第1感光性树脂的具体例中作为成分(g)例示的成分(g)。成分(g)的存在比率(质量％)相对于上述成分(f)优选为0～20质量％，特别优选为0.1～10质量％。[0079]成分(h)作为第2具体例中的成分(h)，可以使用在第1感光性树脂的具体例中作为成分(h)例示的那些。当将上述成分(a)、成分(c)和成分(d)的合计设为100质量％时，成分(h)的存在比率(质量％)优选为0.5～200质量％，特别优选为1～100质量％。[0080]其他成分在第2感光性树脂层中，作为其他成分，可根据需要使用交联剂、有机或无机粒子、硅烷偶联剂、颜料、染料、热聚合抑制剂、表面活性剂、消泡剂、抗氧化剂、密合性赋予剂、增塑剂、溶剂、表面张力调节剂、稳定剂、链转移剂、阻燃剂、抗菌剂、防腐剂等。[0081]《《第3感光性树脂层》》》感光性树脂层的第3具体例包含含有下述成分(e)的感光性树脂。成分(e)：具有苯乙烯基取代的吡啶基或苯乙烯基取代的喹啉基的皂化度为50摩尔％以上的聚乙烯醇上述含有成分(e)的感光性树脂可根据需要含有成分(f)～(h)中的任一种或多种。[0082]成分(e)成分(e)具有苯乙烯基取代的吡啶基或苯乙烯基取代的喹啉基的皂化度为50摩尔％以上的乙酸乙烯酯聚合物皂化物，其本身具有光交联性。作为优选的具体例，可举出：下述通式(1)或通式(2)表示的化合物。[化1][0083](式中，r1表示氢原子、烷基或芳烷基，它们可以被羟基、氨基甲酰基取代，另外，它们的碳碳键可以隔着氧原子或不饱和键。r2表示氢原子或碳数1～3的烷基。m为1～6的整数。n为0或1。x-表示卤素离子、磷酸根离子、甲基硫酸根离子、磺酸根离子、具有阴离子解离能力的自由基聚合性单体，或这些阴离子的混合物。)。作为r1的烷基或芳烷基，优选碳数1～10的烷基或芳烷基，特别优选碳数1～7。作为具体的残基(r1)，可举出：甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、2-羟基乙基、3-羟基丙基、2-甲氧基乙基、3-甲氧基丙基、烯丙基、巴豆基、苄基等。当m超过1～6的范围时，光不溶化后的膜容易溶胀，m更优选为1～4。n可以是0或1。[0084]作为x-，优选为磷酸根离子、甲基硫酸根离子、作为卤素离子，优选为cl-或br-、作为磺酸根离子，优选为ch3so3-、ch3ch2so3-、c6h5so3-、p-ch3c6h4so3-。另外，作为x-，还可举出：具有至少1个烯属不饱和键、且具有阴离子解离能力的自由基聚合性单体。作为具有阴离子解离能力的残基，可举出：磺酸、羧酸、磷酸，通过制成它们的碱金属盐或脂族胺的铵盐，可用作具有阴离子基的自由基聚合性单体。作为用于此的单体中的自由基聚合性不饱和基团，可举出：(甲基)丙烯酰基(以下，(甲基)丙烯酰基是指丙烯酰基和甲基丙烯酰基这两者)、马来酸单酯基、苯乙烯基、烯丙基等。作为未解离的酸型单体的例子，可举出：丙烯酸、甲基丙烯酸、马来酸单甲酯、马来酸单乙酯、邻苯二甲酸2-(甲基)丙烯酰氧基乙酯、邻苯二甲酸3-(甲基)丙烯酰氧基-2-丙酯、邻苯二甲酸3-(甲基)丙烯酰氧基-2-丙酯、环己烷-3-烯-1,2-二羧酸2-(甲基)丙烯酰氧基乙酯、琥珀酸2-(甲基)丙烯酰氧基乙酯、环己烷-1,2-羧酸2-(甲基)丙烯酰氧基乙酯、马来酸2-(甲基)丙烯酰氧基乙酯、ω-羧基-聚己内酯单丙烯酸酯、丙烯酸二聚物、2-(甲基)丙烯酰氧基乙基磷酸酯、3-(甲基)丙烯酰氧基丙基磷酸酯、2-(甲基)丙烯酰氧基-3-丙基磷酸酯、ω-(甲基)丙烯酰基聚乙烯氧乙烯磷酸酯、ω-(甲基)丙烯酰基聚丙烯氧乙烯磷酸酯、苯乙烯磺酸、n-(2-磺乙基)丙烯酰胺、n-(2-磺乙基)甲基丙烯酰胺等，但不限于此。[0085]成分(f)作为第3具体例中的成分(f)，可以使用在第1感光性树脂的具体例中作为成分(f)例示的那些。将上述成分(e)设为100质量％时，成分(f)的存在比率(质量％)优选为1.0～800质量％，特别优选为10～600质量％。[0086]成分(g)作为第3具体例中的成分(g)，可以使用在第1感光性树脂的具体例中作为成分(e)例示的那些。将上述成分(f)设为100质量％时，成分(g)的存在比率(质量％)优选为0.1～20质量％，特别优选为0.5～10质量％。[0087]成分(h)作为第3具体例中的成分(h)，可以使用在第1感光性树脂的具体例中作为成分(h)例示的那些。当将上述成分(e)设为100质量％时，成分(h)的存在比率(质量％)优选为1～1500质量％，特别优选为10～1000质量％。[0088]其他成分在第3感光性树脂层中，作为其他成分，可以根据需要使用交联剂、有机或无机粒子、硅烷偶联剂、颜料、染料、热聚合抑制剂、表面活性剂、消泡剂、抗氧化剂、密合性赋予剂、增塑剂、溶剂、表面张力调节剂、稳定剂、链转移剂、阻燃剂、抗菌剂、防腐剂等。[0089]《保护层》本发明的图案形成用层叠膜可以包含除了支撑层、糊层、非水溶性高分子层和感光性树脂层以外的其他层。作为这样的其它层的代表例，例如可举出：保护层。[0090]该保护层主要具有保护本发明的图案形成用层叠膜的功能，例如，在将该保护层配置于感光性树脂层的表面的情况下，能够防止感光性树脂层因外部的冲击、压力等而造成的损伤、且防止因湿气、气体、光等而造成的劣化。本发明的图案形成用层叠膜的重叠和卷绕成卷状并保存是容易的。[0091]在本发明中，作为保护层，可以使用由各种材料构成的保护层。例如，可以使用由各种树脂材料构成的保护层，另外，可以使用由天然材料构成的保护层。保护层的具体材质没有限制，例如可以使用与支撑层同样的材质。保护层的厚度没有特别限定，优选为1～50μm。[0092]在将感光剂层表面配置有保护层的本发明的图案形成用层叠膜应用于例如丝网印刷版的情况下，与构成本发明的图案形成用层叠膜的其他层相比，先剥离该保护层。因此，该保护层与感光剂层之间的层间粘接力优选低于其他层间粘接力(x)～(z)(即，低于层间粘接力(y))。因此，可以对单面或双面实施离型处理。[0093]另外，可以是透明或不透明的。例如可举出：纸、离型纸、聚对苯二甲酸乙二醇酯等聚酯、聚甲基戊烯、聚丙烯、聚乙烯等聚烯烃、聚氟乙烯、聚氯乙烯等含卤素的乙烯基聚合物、尼龙等聚酰胺、玻璃纸等纤维素、聚苯乙烯、丙烯酸系树脂、聚酰亚胺等膜。另外，在不丧失层叠膜功能的情况下，即可对单面或双面实施离型处理、消光处理、易粘接处理。[0094]《未感光的丝网印刷版(第1未感光的丝网印刷版)＞本发明的第1未感光的丝网印刷版的特征在于，包含上述图案形成用层叠膜和层叠于上述图案形成用层叠膜的所述感光性树脂层侧的丝网。[0095]图1表示本发明的第1未感光的丝网印刷版8的优选的具体例。图1所示的本发明的优选的未感光的丝网印刷版8包含图案形成用层叠膜1(具体而言，由支撑层2、糊层3、非水溶性高分子层4和感光性树脂层5依次构成的图案形成用层叠膜1)和层叠于该图案形成用层叠膜1的上述感光性树脂层5侧的丝网6。在此，丝网6与通常的一般的丝网印刷版同样地粘贴在框架材料7上。[0096]《未感光的丝网印刷版(第1未感光的丝网印刷版)的制造方法＞本发明的未感光的丝网印刷版(第1未感光的丝网印刷版)的制造方法的特征在于，包括下述工序(a)。工序(a)：在上述图案形成用层叠膜的上述感光性树脂层侧接合丝网的工序。根据该丝网印刷版的制造方法，例如可制造图1所示的未感光的丝网印刷版8。[0097]在工序(a)中，在图案形成用层叠膜1的感光性树脂层5侧接合丝网6时，优选例如可举出如下方法：(1)在丝网6上预先涂布感光性材料(优选与形成感光性树脂层5的感光性树脂相同或类似的感光性材料)或水，从而在此接合图案形成用层叠膜1的感光性树脂层5的方法；(2)在丝网6上重叠图案形成用层叠膜1的感光性树脂层5，然后在该重叠部上涂布与形成感光性树脂层的感光性树脂相同或类似的感光性材料或水的方法。[0098]《未感光的丝网印刷版(第2未感光的丝网印刷版)＞本发明的第2未感光的丝网印刷版的另一优选方式(第2未感光的丝网印刷版)的特征在于，包含：层叠膜，其是从图案形成用层叠膜中除去了上述支撑层和糊层而得到的层叠膜；以及丝网，其层叠于上述层叠膜的上述感光性树脂层侧。[0099]图2表示本发明的第2未感光的丝网印刷版9的优选的具体例。图2所示的本发明的优选的未感光的丝网印刷版9包含从图1所示的未感光的丝网印刷版8的图案形成用层叠膜1中除去了支撑层2和糊层3的层叠膜1′、以及层叠在上述的层叠膜1′的上述感光性树脂层5侧的丝网6。[0100]《未感光的丝网印刷版(第2未感光的丝网印刷版)的制造方法＞本发明的未感光的丝网印刷版(第2未感光的丝网印刷版)的制造方法的特征在于，包括下述工序(a)和工序(b)。工序(a)：在上述图案形成用层叠膜的上述感光性树脂层侧接合丝网的工序工序(b)：从上述图案形成用层叠膜的非水溶性高分子层上剥离上述支撑层和糊层的工序图2表示通过这样的制造方法得到的未感光的丝网印刷版9的优选的具体例。[0101]《丝网印刷版的制造方法》本发明的丝网印刷版的制造方法的特征在于，包括下述工序(a)～工序(f)：工序(a)：在上述图案形成用层叠膜的上述感光性树脂层侧接合丝网的工序，工序(b)：从上述图案形成用层叠膜的非水溶性高分子层上剥离上述支撑层和糊层的工序，工序(c)：在上述非水溶性高分子层的表面上配置图案掩模的工序，工序(d)：在上述感光性树脂层上形成潜像的工序，工序(e)：剥离上述非水溶性高分子层的工序，工序(f)：对形成了上述潜像的感光性树脂层进行显影的工序。[0102]图3是表示本发明的丝网印刷版的制造方法的示意图，图3a表示在上述图案形成用层叠膜1的上述感光性树脂层5侧接合丝网6的工序(a)的概要，图3b表示从上述图案形成用层叠膜1的非水溶性高分子层4上剥离上述支撑层2和糊层3的工序(b)的概要，图3c表示在上述非水溶性高分子层4的表面上配置图案掩模10的工序(c)的概要，图3d表示对上述感光性树脂层5照射来自上述图案掩模10面的能量线，在感光性树脂上形成潜像α的工序(d)的概要，图3e表示剥离上述非水溶性高分子层4的工序(e)的概要，图3f表示实施对形成了上述潜像α的感光性树脂层5进行显影的工序(f)而得到的丝网印刷版11的概要。在该工序(f)中，用水(例如中性水)清洗形成了潜像α的感光性树脂层5，进行显影处理，包括除去感光性树脂层5的未固化区域(即，没有形成潜像α的区域)。然后，通过干燥显影处理物，能够得到具有规定的开孔图案的丝网印刷版11。[0103]本发明的图案形成用层叠膜1具有非水溶性高分子层3，在该非水溶性高分子层3的表面上配置图案掩模10，然后经由该图案掩模10进行能量线的照射和潜像α的形成。通过该非水溶性高分子层3，防止感光性树脂层由于吸湿和构成成分迁移而变粘，因此在非水溶性高分子层3的表面容易确定掩模图案10的位置。[0104]根据本发明的丝网印刷版，由于成品印刷版的表面可被加工成平坦的，因此印刷再现性良好，与被印刷物的密合也良好，因此能够抑制油墨绕到印刷版的背面，能够减少擦拭印刷版的次数。[0105]《感光性抗蚀剂基材》本发明的感光性抗蚀剂基材的特征在于，包含：上述图案形成用层叠膜和层叠于上述图案形成用层叠膜的上述感光性树脂层侧的基材。[0106]作为层叠在感光性树脂层侧的基材，可以使用由各种材料构成的基材。例如可举出：木、石、织物、纸、陶瓷、玻璃、醋酸纤维素、聚酯、聚烯烃、聚酰亚胺、环氧树脂之类的合成树脂、玻璃纤维强化树脂、铝、铜、镍、铁、锌、镁、钴之类的金属、硅、砷化镓锗等半导体材料、氮化硅、氧化硅等绝缘材料。[0107]本发明的该感光性抗蚀剂基材是可用中性水显影的感光性树脂，因此不使用有机溶剂或碱性水溶液作为显影液，在这一点上比以往的感光性抗蚀剂基材更有利于环境方面和作业方面。[0108]除了丝网以外，通过在金属或玻璃等基材上接合该图案形成用层叠膜，可以得到感光性抗蚀剂基材。与以往的含有有机溶剂型树脂不同，由于溶剂使用中性水，因此环境污染低。由于显影可以不使用有机溶剂和碱性水而可以使用中性水，因此从环境方面、作业方面、显影液的保管和处理等方面考虑都是有利的。另外，根据基材的不同，存在因有机溶剂或碱而变色、变形等的基材，通过可用中性水显影，基材的选择范围较广。实施例[0109]《实施例1》图案形成用层叠膜的制作准备厚度75μm的聚对苯二甲酸乙二醇酯膜作为支撑层，在其上通过棒涂机涂布乙烯-乙酸乙烯酯系乳液型粘合剂，在100℃下加热干燥3分钟，由此形成厚度10μm的糊层。进而在其上通过层压机贴合厚度6μm的聚对苯二甲酸乙二醇酯膜作为由非水溶性高分子构成的层。接着，通过棒涂机涂布含有上述成分(a)和成分(b)(f)(g)(h)的感光性树脂1，在40℃下加热干燥30分钟，由此形成厚度20μm的感光性树脂层，由此得到图案形成用层叠膜。[0110]《实施例2》形成实施例1的感光性树脂层后，在其上贴合厚度25μm的聚乙烯膜作为保护层，除此以外，与实施例1同样操作，制作图案形成用层叠膜。[0111]《实施例3》糊层使用丙烯酸系粘合剂，由c)非水溶性高分子构成的层使用厚度12μm的聚烯烃膜，除此以外，与实施例1同样操作，制作图案形成用层叠膜。[0112]《比较例1》图案形成用层叠膜的制作准备厚度75μm的聚对苯二甲酸乙二醇酯膜作为支撑层，在其上通过棒涂机涂布聚乙烯醇(クラレ株式会社制的クラレポバール95-88)的5.0质量％的水溶液，在40℃下加热干燥30分钟，由此形成厚度5μm的由水溶性高分子构成的层。进而在其上通过棒涂机涂布含有上述成分(a)和成分(b)(f)(g)(h)的感光性树脂1，在40℃下加热干燥30分钟，由此形成厚度20μm的感光性树脂层，由此得到图案形成用层叠膜。[0113]《比较例2》作为由水溶性高分子构成的层，使用含有氟化合物的树脂(未添加株式会社ムラカミ制的sp-2050uc重氮树脂)，除此以外，与比较例1同样操作，制作图案形成用层叠膜。[0114]《比较例3》准备厚度75μm的聚对苯二甲酸乙二醇酯膜作为支撑层，在其上通过棒涂机涂布含有上述成分(a)和成分(b)(f)(g)(h)的感光性树脂1，在40℃下加热干燥30分钟，由此形成厚度20μm的感光性树脂层，由此得到图案形成用膜。[0115]《评价方法1》在固定于铝框的聚酯纤维制网上，使用不锈钢制桶涂布含有上述成分(a)和成分(b)(f)(g)(h)的感光性树脂1，贴合上述制作的图案形成用层叠膜的感光性树脂层侧。在临贴合实施例2制作的图案形成用层叠膜之前，剥离保护层后贴合感光性树脂层侧。在40℃下干燥30分钟后，剥离支撑层。对于实施例1、2、3制作的图案形成用层叠膜而言，在剥离支撑层的同时也剥离糊层。[0116]接着，重叠图案掩模，抽真空，使用3kw的金属卤化物灯作为光源，在光源与印刷版表面的距离1m、照射时间2分钟的条件下，曝光感光性树脂层。接着，去除图案掩模后，使用自来水显影树脂层。由此得到丝网印刷版。在实施例1、2、3中，在显影前除去非水溶性高分子层之后进行显影。[0117]表面粘性1根据重叠图案掩模时的图案掩模的对位的容易度，按a～c评价。a：能够使图案掩模顺畅地移动，容易进行对位。b：无法顺利地移动图案掩模，难以进行对位。c：图案掩模粘在表面上，无法进行对位。[0118]表面粘性2通过真空曝光后的图案掩模的剥离容易度，按a～c评价。a：剥离图案掩模时没有阻力，能够容易地剥离。b：剥离图案掩模时有阻力，不能顺利地剥离。c：图案掩模粘在表面上，表面的一部分破损。[0119]表面状态根据显影后的丝网印刷版的表面状态，按○～×评价。○：感光性树脂层的表面没有任何残留。×：感光性树脂层的表面残留其他成分。[0120]评价结果示于表1。[0121][0122]《实施例4》图案形成用层叠膜的制作准备厚度75μm的聚对苯二甲酸乙二醇酯膜作为支撑层，在其上通过棒涂机涂布有机硅系粘合剂，在100℃下加热干燥3分钟，由此形成厚度5μm的糊层。进而在其上通过层压机贴合厚度12μm的聚烯烃膜作为由非水溶性高分子构成的层。接着，通过棒涂机涂布含有上述成分(e)和成分(f)(g)(h)的感光性树脂2，在40℃下加热干燥30分钟，由此形成厚度30μm的感光性树脂层，由此得到图案形成用层叠膜。[0123]《实施例5》糊层使用乙烯-乙酸乙烯酯系乳液型粘合剂，除此以外，与实施例4同样操作，制作图案形成用层叠膜。[0124]《实施例6》糊层使用氨基甲酸酯系粘合剂，除此以外，与实施例4同样操作，制作图案形成用层叠膜。[0125]《实施例7》糊层使用丙烯酸系粘合剂，除此以外，与实施例4同样操作，制作图案形成用层叠膜。[0126]《比较例4》图案形成用层叠膜的制作作为由非水溶性高分子构成的层，使用对厚度25μm的聚酯膜的单面实施了有机硅离型处理的离型膜，除此以外，与实施例4同样操作，制作图案形成用层叠膜。将离型膜的有机硅离型处理面贴合于感光性树脂层侧。[0127]《比较例5》作为支撑层，使用对厚度75μm的聚酯膜的单面实施了有机硅离型处理的离型膜，除此以外，与实施例5同样操作，制作图案形成用层叠膜。将离型膜的有机硅离型处理面贴合于糊层侧。[0128]《比较例6》作为由非水溶性高分子构成的层，使用对厚度25μm的聚酯膜的单面实施了电晕放电处理的易粘接膜，除此以外，与实施例6同样操作，制作图案形成用层叠膜。将易粘接膜的电晕处理面贴合于糊层侧。[0129]《比较例7》感光性树脂层使用上述含有成分(a)和成分(b)(h)的感光性树脂3，除此以外，与实施例7同样操作，制作图案形成用层叠膜。[0130]《评价方法2》在固定于铝框的聚酯纤维制网上，使用不锈钢制桶涂布用于各图案形成用膜的感光性树脂，贴合上述制作的图案形成用层叠薄膜的感光性树脂层侧。在40℃下干燥30分钟，得到试验板。在25℃、50％环境下保管24小时后，在支撑层上贴附透明胶带，以向上拉拽的方式剥离时，确认在界面1～3的哪个区域发生剥离。界面1：支撑层/糊层界面2：糊层/非水溶性高分子层界面3：非水溶性高分子层/感光性树脂层○：在界面2处剥离，在非水溶性高分子层上没有残留糊层。×：在界面2以外的区域剥离。[0131]评价结果示于下表2。[0132][0133]《实施例8》图案形成用层叠膜的制作准备厚度75μm的聚对苯二甲酸乙二醇酯膜作为支撑层，在其上通过棒涂机涂布有机硅系粘合剂，在100℃下加热干燥3分钟，由此形成厚度3μm的糊层。进而在其上通过层压机贴合厚度12μm、雾度值0.3％的聚烯烃膜作为由非水溶性高分子构成的层。[0134]接着，通过棒涂机涂布含有上述成分(a)和成分(b)(f)(g)的感光性树脂4，在40℃下加热干燥30分钟，由此形成厚度15μm的感光性树脂层，由此得到图案形成用层叠膜。[0135]进而，在固定于铝框的不锈钢纤维制网上，使用不锈钢制桶涂布用于各图案形成用膜的感光性树脂，贴合上述制作的图案形成用层叠薄膜的感光性树脂层侧。在40℃下干燥30分钟，剥离支撑层和糊层。[0136]接着，将图案掩模重叠在非水溶性高分子层上，抽真空，使用3kw的金属卤化物灯作为光源，在光源与版表面的距离为1m、照射时间分别为2分钟、3分钟、4分钟、5分钟的条件下，曝光感光性树脂层。接着，去除图案掩模，然后使用自来水显影树脂层。由此得到丝网印刷版。[0137]《实施例9》非水溶性高分子层使用厚度50μm、雾度值1.0％的高透明聚对苯二甲酸乙二醇酯膜，除此以外，与实施例8同样操作，得到丝网印刷版。[0138]《实施例10》感光性树脂层使用含有上述成分(a)和成分(c)、(d)的感光性树脂5，除此以外，与实施例8同样操作，得到丝网印刷版。[0139]《比较例8》非水溶性高分子层使用厚度30μm、雾度值6％的聚烯烃膜，除此以外，与实施例8同样操作，得到丝网印刷版。[0140]《比较例9》非水溶性高分子层使用厚度25μm、雾度值5.7％的通用聚对苯二甲酸乙二醇酯膜，除此以外，与实施例8同样操作，制作图案形成用层叠膜。[0141]《比较例10》非水溶性高分子层使用厚度125μm、雾度值1.5％的聚烯烃膜，除此以外，与实施例10同样操作，制作图案形成用层叠薄膜。[0142]《评价方法3》用100倍放大镜确认得到的丝网印刷版的图案，确定灵敏度和分辨率。灵敏度：将阶段式曝光表(steptablet)7级以上的最短曝光时间设为灵敏度。分辨率：将以上述确定的灵敏度分辨的l/s的最窄宽度(μm)作为分辨率。评价结果示于下表3。[0143]符号说明[0144]1：图案形成用层叠膜、2：支撑层、3：糊层、4：非水溶性高分子层、5感光性树脂层、6：丝网、7：框架材料、8：第1未感光的丝网印刷版、9：第2未感光的丝网印刷版、1′：层叠膜、10：图案掩模、11：丝网印刷版。当前第1页12当前第1页12
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：：2.作为制造丝网印刷版的方法，可举出使用图案形成用膜的方法。该方法与直接涂布感光性树脂的方法相比，在以下方面存在优点：使用图案形成用膜转印感光性树脂层时，能够在丝网上平滑地形成感光性树脂膜、并且抑制版内的厚度不均。因此，能够制作显影后的图案边缘尖锐且油墨转移量的不均少的印刷精度高的版。3.在使用这样的图案形成用膜制造丝网印刷用印刷版时，首先在丝网上涂布水、感光性树脂等，贴合图案形成用膜的感光性树脂层，充分干燥后，剥离支撑层，由此将感光性树脂层转印到丝网上，然后，隔着图案掩模曝光感光性树脂层，接着通过水等进行显影，由此能够在丝网上形成规定的图案。4.然而，感光性树脂层的表面由于其构成成分的原因而往往带有粘性，因此会产生以下问题：在曝光时难以对准图案掩模的位置而阻碍与图案掩模的均匀密合、或者在曝光后在将图案掩模从感光性树脂层上剥离时感光性树脂层的一部分损伤而污染图案掩模等。5.为了防止这些问题，在日本特开昭58-60745号公报、国际公开2013-080958号公报中提出了在支撑层与感光性树脂层之间配置聚乙烯醇、氟化合物作为中间层的图案形成用层叠膜。6.然而，由于聚乙烯醇是水溶性高分子，它被认为会吸收空气中的水分，似乎不足以抑制印刷版的粘性。7.另外，该中间层本来是非感光性材料，在显影时被除去，但实际上，由于与感光性树脂层长时间接触，一部分感光性成分向中间层转移，在曝光时不溶于显影液。因此，有时无法通过显影除去而在版膜表面残存中间层的成分。因此，有时无法发挥原本所设计的感光性树脂的性能。现有技术文献8.专利文献专利文献1：日本特开昭58-60745号公报专利文献2：国际公开2013-080958号公报技术实现要素：发明要解决的课题9.根据本发明，其课题在于，不吸收空气中的水分，不必要的成分不残留在版膜表面，抑制感光性树脂层的粘性，且提高曝光时的密合不良和作业性。解决课题的手段10.本发明通过提供规定的图案形成用层叠膜来解决上述课题。因此，本发明的图案形成用层叠膜的特征在于，依次由支撑层、糊层、非水溶性高分子层和感光性树脂层构成。11.这样的本发明的图案形成用层叠膜优选包含如下实施方式：上述感光性树脂层为能够用中性水显影的感光性树脂。12.这样的本发明的图案形成用层叠膜优选包含如下实施方式：所述支撑层与糊层之间的层间粘接力(x)、所述糊层与非水溶性高分子层之间的层间粘接力(y)、以及所述非水溶性高分子层与感光性树脂层之间的层间粘接力(z)处于如下关系：层间粘接力(x)＞层间粘接力(y)层间粘接力(z)＞层间粘接力(y)。13.这样的本发明的图案形成用层叠膜优选包含如下实施方式：上述的糊层与非水溶性高分子层之间的层间粘接力(y)为0.001～1.0n/25mm的层。14.这样的本发明的图案形成用层叠膜优选包含如下实施方式：上述非水溶性高分子层的雾度值为5.0％以下。15.这样的本发明的图案形成用层叠膜优选包含如下实施方式：上述非水溶性高分子层的厚度为1～100μm。16.这样的本发明的图案形成用层叠膜优选包含如下实施方式：上述感光性树脂层包含含有下述成分(a)和成分(b)的感光性树脂，成分(a)：皂化度为50摩尔％以上的聚乙烯醇，成分(b)：重氮树脂。17.这样的本发明的图案形成用层叠膜优选包含如下实施方式：上述感光性树脂层包含含有下述成分(a)、成分(c)和成分(d)的感光性树脂，成分(a)：皂化度为50摩尔％以上的聚乙烯醇，成分(c)：具有至少1个环氧基的环氧化合物，成分(d)：光酸产生剂。18.这样的本发明的图案形成用层叠膜优选包含如下实施方式：上述感光性树脂层包含含有下述成分(e)的感光性树脂，成分(e)：具有苯乙烯基取代的吡啶基或苯乙烯基取代的喹啉基的皂化度为50摩尔％以上的聚乙烯醇。19.这样的本发明的图案形成用层叠膜优选包含如下实施方式：上述感光性树脂层包含还含有下述成分(f)和成分(g)的感光性树脂，成分(f)：具有至少1个烯属不饱和键的自由基聚合性化合物，成分(g)：光自由基聚合引发剂。20.这样的本发明的图案形成用层叠膜优选包含如下实施方式：上述感光性树脂层包含还含有下述成分(h)的感光性树脂，成分(h)：水性聚合物乳液。21.这样的本发明的图案形成用层叠膜优选包含如下实施方式：在上述图案形成用层叠膜的感光性树脂层侧进一步层叠保护层。22.而且，本发明的未感光的丝网印刷版的特征在于，包含：层叠膜，其是从上述图案形成用层叠膜中除去了上述支撑层和糊层而得到的层叠膜；和丝网，其层叠于上述层叠膜的感光性树脂层侧。23.而且，本发明的未感光的丝网印刷版的制造方法的特征在于，包括下述工序(a)和工序(b)：工序(a)：在上述图案形成用层叠膜的上述感光性树脂层侧接合丝网的工序，工序(b)：从上述图案形成用层叠膜的非水溶性高分子层上剥离上述支撑层和糊层的工序。24.并且，本发明的丝网印刷版的特征在于，在未感光的丝网印刷版上形成潜像并显影感光性树脂层，上述未感光的丝网印刷版包含：层叠膜，其是从上述图案形成用层叠膜中除去了上述支撑层和糊层而得到的层叠膜；和丝网，其层叠于上述层叠膜的感光性树脂层侧。25.而且，本发明的丝网印刷版的制造方法的特征在于，包括下述工序(a)～工序(f)。26.工序(a)：在上述图案形成用层叠膜的上述感光性树脂层侧接合丝网的工序，工序(b)：从上述图案形成用层叠膜的非水溶性高分子层上剥离上述支撑层和糊层的工序，工序(c)：在上述非水溶性高分子层的表面上配置图案掩模的工序，工序(d)：在上述感光性树脂层上形成潜像的工序，工序(e)：剥离上述非水溶性高分子层的工序，工序(f)：对形成了上述潜像的感光性树脂层进行显影的工序。27.而且，本发明的感光性抗蚀剂基材的特征在于，包含：上述图案形成用层叠膜，和层叠于上述图案形成用层叠膜的上述感光性树脂层侧的基材。发明效果28.本发明的图案形成用层叠膜在感光性树脂层的表面上层叠有非水溶性高分子层。由于该非水溶性高分子层的表面平滑，因此易于将图案掩模定位在非水溶性高分子层的表面。29.而且，由于图案掩模与非水溶性高分子层的密合性高且均匀性高，因此能够抑制图案掩模的变形等。由此，能够极其准确地进行感光性树脂层的曝光及潜像的形成。30.而且，该非水溶性高分子层起感光性树脂层的所谓保护层的作用，防止周围环境和劣化成分等影响感光性树脂层。例如，可防止感光性树脂层吸湿，或防止来自其他层的有害成分等的转移，因此可长期维持感光性树脂本来的优异特性。因此，根据本发明的图案形成用层叠膜，能够得到准确地形成期望的高精细图案的丝网印刷版。31.本发明的图案形成用层叠膜通过在曝光时在感光性树脂层上存在非水溶性高分子层，不存在在以往的水溶性高分子层的情况下担心的吸湿和残留，能够防止图案掩模被感光性树脂成分污染。32.而且，能够防止由感光性树脂层的粘性引起的密合不良，对位也容易，且抑制杂质的附着，也容易除去附着的杂质。进而，由于具有聚合物层，因此无需担心粘性问题，拓宽了感光材料的设计范围。附图说明33.图1是表示本发明的优选的未感光的丝网印刷版的示意图。图2是表示本发明的优选的未感光的丝网印刷版的示意图。图3是表示本发明的优选的丝网印刷版的制造方法的示意图。具体实施方式34.《图案形成用层叠膜》本发明的图案形成用层叠膜的特征在于，依次由支撑层、糊层、非水溶性高分子层和感光性树脂层构成。35.本发明的图案形成用层叠膜包含：支撑层、糊层、非水溶性高分子层和感光性树脂层。在此，所谓“包含”除了是指仅包含列举的各层(即，支撑层、糊层、非水溶性高分子层和感光性树脂层)的情况，还包括包含列举的各层以外的层或材料等的情况。作为这样的列举的各层以外的层的代表例，例如可举出保护层。36.本发明的图案形成用层叠膜例如可应用于各种印刷
技术领域：
：，特别优选丝网印刷领域。在将本发明的图案形成用层叠膜应用于这样的印刷领域时，首先，有时，将糊层与非水溶性高分子层的界面剥离，除去支撑层和糊层，然后将非水溶性高分子层剥离。37.因此，作为可适用于丝网印刷领域的本发明的特别优选的图案形成用层叠膜，可举出：所述支撑层与糊层之间的层间粘接力(x)、所述糊层与非水溶性高分子层之间的层间粘接力(y)、以及所述非水溶性高分子层与感光性树脂层之间的层间粘接力(z)为下述关系。层间粘接力(x)＞层间粘接力(y)层间粘接力(z)＞层间粘接力(y)予以说明，层间粘接力(x)和层间粘接力(z)之间存在以下情况：(x)大于(z)、(x)小于(z)、以及(x)等于(z)。38.《支撑层》在本发明中，作为支撑层，可以使用由各种材料构成的支撑层。例如，可以使用由各种树脂材料构成的支撑层，另外，也可以使用由天然原材料构成的支撑层。39.作为优选的材质，例如可举出：纸、离型纸、聚对苯二甲酸乙二醇酯等聚酯、聚甲基戊烯、聚丙烯、聚乙烯等聚烯烃、聚氟乙烯、聚氯乙烯等含卤素的乙烯基聚合物、尼龙等聚酰胺、玻璃纸等纤维素、聚苯乙烯、丙烯酸系树脂、聚酰亚胺等膜。支撑层可以是透明或不透明的，为了提高层叠膜的功能等，可以对单面或双面实施离型处理、消光处理、易粘接处理。例如通过上述处理，例如容易控制支撑层与糊层之间的层间粘接力(x)。支撑层的厚度没有特别限定，优选为10～200μm，特别优选为30～125μm。40.《糊层》在本发明中，作为糊层，可以使用由各种材料构成的糊层。即，糊层中使用的糊材没有特别限制，可以使用各种糊材。作为优选的糊材，例如可以使用以以下物质为代表的各种糊剂：丙烯酸系(一液型或二液型)的粘合剂或粘接剂、橡胶系或聚氨酯系的粘合剂或粘接剂、有机硅系的粘合剂或粘接剂、乙酸乙烯酯系粘合剂或粘接剂。41.进而，可以使用无溶剂型、溶剂型、乳液型、热固化型、uv固化型、eb固化型、热熔型等。糊层的厚度没有特别限定，优选为0.5～30μm，特别优选为0.5～20μm。42.糊层的形成可通过以下方法实施：通过凹版印刷法、逗号涂布、气刀法、刮片法、棒涂法、模涂法、刮刀法等通常的涂布方法，在支撑层上涂布上述糊材后，再通过加热处理、紫外线照射处理、电子束照射处理等方法进行干燥和固化。43.用于形成该糊层的糊材的选择优选使得：糊层与非水溶性高分子层之间的层间粘接力(y)为0.001～1.0n/25mm，特别优选为0.005～0.5n/25mm(p-pet)。当小于0.001n/25mm时，有时因对非水溶性高分子层的附着力不足而产生剥离和浮起等，因而不优选，另一方面，当大于1.0n/25mm时，则难以从非水溶性高分子层上剥离、剥离后产生糊残留、或表面污染性变高等，因而不优选。层间粘接力(y)在25mm宽的聚对苯二甲酸乙二醇酯膜上形成糊层，然后进一步贴合压接聚对苯二甲酸乙二醇酯膜。由在23℃下1分钟后以300mm/分钟的速度以180度的角度剥离时的力表示(根据jis-z0237)。44.本发明的图案形成用层叠膜优选在将支撑层和糊层从非水溶性高分子层上剥离后，构成糊层的糊剂不残留在非水溶性高分子层的表面。以10cm2的糊材质量为100时，将糊层剥离后的非水溶性高分子层的表面的糊剂的残留量优选为5％以下，更优选为1％以下，特别优选为0.1％以下。45.《非水溶性高分子层》在本发明的图案形成用层叠膜中，构成感光性树脂层的树脂被透过非水溶性高分子层的光固化。非水溶性高分子层优选雾度值低。例如，雾度值优选为0.01～5.0％，特别优选为0.05～3.0％。在此，雾度值是根据jis-k7136测得的值。46.通过使雾度值在上述优选的范围内，即使光照射量少，也能良好地进行感光性树脂层的固化，并且能够使感光性树脂层形成高精细的期望的图案。47.作为优选的非水溶性高分子层，例如可举出：聚对苯二甲酸乙二醇酯等聚酯、聚甲基戊烯、聚丙烯、聚乙烯等聚烯烃、聚氟乙烯、聚氯乙烯等含卤素的乙烯基聚合物、尼龙等聚酰胺、玻璃纸等纤维素、聚苯乙烯、丙烯酸系树脂、聚酰亚胺、聚醚砜树脂等膜。当非水溶性高分子层在雾度值的范围内时，为了提高层叠膜的功能等，可以对单面或双面实施离型处理、易粘接处理。例如通过上述处理，例如易于控制糊层与非水溶性高分子层之间的层间粘接力(y)、非水溶性高分子层与感光性树脂层之间的层间粘接力(z)。作为特别优选的非水溶性高分子层，适宜使用聚酯膜、聚烯烃膜。厚度优选为1～100μm。48.《感光性树脂层》本发明的图案形成用层叠膜的感光性树脂层可包含可通过光照射形成潜像、且可通过中性水显影的树脂构成。优选为可使用水作为溶剂而形成涂膜的树脂。作为这样的感光性树脂层的优选例，可举出：以下的第1具体例、第2具体例和第3具体例。49.《＜第1感光性树脂层＞》感光性树脂层的第1具体例包含含有下述成分(a)和成分(b)的感光性树脂。成分(a)：皂化度为50摩尔％以上的聚乙烯醇成分(b)：重氮树脂。在此，所谓“含有”是指除了含有列举的各成分(即，仅包含成分(a)和成分(b))以外，还含有除了列举的成分以外的成分等。作为这样的除了列举的成分以外的成分的代表例，例如可举出：成分(f)～(h)(详细后述)。50.关于成分(a)与成分(b)的存在比率(质量％)，成分(a)：成分(b)优选为1：0.005～1：0.5，特别优选为1：0.01～1：0.2。上述含有成分(a)和成分(b)的感光性树脂可根据需要含有成分(f)～(h)中的任一种或多种。51.成分(a)成分(a)是皂化度为50摩尔％以上的聚乙烯醇。皂化度优选为50～100摩尔％，特别优选为70～100％，只要不损害水溶性，也可以为与其它乙烯基单体的共聚物。其平均聚合度优选为200～5000，特别优选为300～4000。也可以混合皂化度和聚合度不同的2种以上的聚乙烯醇。另外，也同样可以使用阳离子改性或阴离子改性等改性物。52.成分(b)成分(b)为重氮树脂。作为具体例，可举出：对重氮二苯胺或3-甲氧基-4-重氮二苯胺与4,4′‑双甲氧基甲基二苯基醚的缩合物、及它们的硫酸盐、磷酸盐及氯化锌复盐阴离子络合物的重氮树脂、对重氮二苯胺或3-甲氧基-4-重氮二苯胺与多聚甲醛的缩合物的硫酸盐、磷酸盐及氯化锌复盐阴离子络合物的重氮树脂。作为这种重氮树脂，除了对氨基二苯胺以外，还可以使用采用多聚甲醛、乙醛、丙醛、正丁醛等醛类使4-氨基-4′‑甲基二苯胺、4-氨基-4′‑乙基二苯胺、4-氨基-4′‑甲氧基二苯胺、4-氨基-4′‑氯二苯胺、4-氨基-4′‑硝基二苯胺等二苯胺类的重氮化物缩合而成的水溶性重氮树脂。53.其中，特别优选为对重氮二苯胺与多聚甲醛的缩合物、3-甲氧基-4-重氮二苯胺与多聚甲醛的缩合物、对重氮二苯胺与4,4′‑双甲氧基甲基二苯基醚的缩合物、3-甲氧基-4-重氮二苯胺与4,4′‑双甲氧基甲基二苯基醚的缩合物。上述成分(b)可单独使用1种，也可以并用2种以上。54.成分(f)成分(f)是具有至少1个烯属不饱和键的自由基聚合性化合物，相当于“光固化技术数据书”(テクノネット社，2000年)中记载的单体和低聚物等。55.作为单官能性单体的具体例，例如可举出：(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸异癸酯、(甲基)丙烯酸2-羟乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟丙酯、(甲基)丙烯酸2-羟丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙氧基乙酯、(甲基)丙烯酸2-(2-乙氧基乙氧基)乙酯、(甲基)丙烯酸正丁氧基乙酯、(甲基)丙烯酸吗啉代乙酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸甲氧基二甘醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基三乙(丙)二醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基四乙(丙)二醇酯、(甲基)丙烯酸甲氧基聚乙(丙)二醇酯、(甲基)丙烯酸乙氧基二乙(丙)二醇酯、(甲基)丙烯酸乙氧基三乙(丙)二醇酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸四氢呋喃酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸二环戊基酯、(甲基)丙烯酸n,n-二甲氨基乙酯、(甲基)丙烯酸n,n-二乙氨基乙酯、氧化物改性的磷酸(甲基)丙烯酸酯、ω-羧基-聚己内酯单丙烯酸酯、邻苯二甲酸单羟基乙酯丙烯酸酯等。予以说明，本说明书中，“(甲基)丙烯酸酯”是指“甲基丙烯酸酯”和“丙烯酸酯”这两者，“乙(丙)二醇”是指“乙二醇”和“丙二醇”这两者。56.作为具有2个以上烯属不饱和键的多官能性单体的具体例，例如可举出：乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二甘醇二(甲基)丙烯酸酯、1,3-丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、环氧乙(丙)烷改性的双酚a二丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、双(丙烯酰氧基新戊二醇)己二酸酯、双(甲基丙烯酰氧基新戊二醇)己二酸酯、表氯醇改性的1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、羟基新戊酸新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性的羟基新戊酸新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、双(三羟甲基丙烷)三(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇改性的三羟甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、环氧乙(丙)烷改性的三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、丙烯酸羟丙酯改性的三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇聚丙氧基丙烯酸酯、硬脂酸改性的季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇单羟基五(甲基)丙烯酸酯、烷基改性的二季戊四醇聚(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性的二季戊四醇聚(甲基)丙烯酸酯、甘油二(甲基)丙烯酸酯、表氯醇改性的甘油三(甲基)丙烯酸酯、氧化物改性的甘油三(甲基)丙烯酸酯、三(丙烯酰氧基乙基)异氰脲酸酯、三(甲基丙烯酰氧基乙基)异氰脲酸酯、己内酯改性的三(丙烯酰氧基乙基)异氰脲酸酯、己内酯改性的三(甲基丙烯酰氧基乙基)异氰脲酸酯、氧化物改性的双酚(甲基)丙烯酸酯等。57.作为低聚物，例如可以使用聚酯(甲基)丙烯酸酯低聚物、双酚a型环氧(甲基)丙烯酸酯、己内酯加成的(甲基)丙烯酸酯、苯酚酚醛清漆型环氧(甲基)丙烯酸酯、甲酚酚醛清漆型环氧(甲基)丙烯酸酯等环氧(甲基)丙烯酸酯、氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯等。进而，可以使用含烯属不饱和键的聚酯树枝状大分子等。这种含烯属不饱和键的聚酯树枝状大分子的具体例例如记载于日本特开2005-76005号、日本特开2005-47979号、日本特开2005-76005号等各公报等中。58.上述成分(f)可单独使用1种，也可以并用2种以上。当将上述成分(a)和成分(b)的合计设为100质量％时，成分(f)的存在量(质量％)优选为1.0～800质量％，特别优选为10～600质量％。59.成分(g)成分(g)为光聚合引发剂，没有特别限制，作为一例，可举出：二苯甲酮、双-n,n-二甲氨基二苯甲酮等二苯甲酮类、噻吨酮、异丙基噻吨酮等噻吨酮类。60.另外，作为油溶性的光自由基聚合引发剂，可举出：苯偶姻、苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻异丙基醚等苯偶姻和苯偶姻烷基醚类；苯乙酮、2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、2,2-二乙氧基-2-苯基苯乙酮、1,1-二氯苯乙酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、1-(4-异丙基苯基)-2-羟基-2-甲基丙烷-1-酮、1-(4-十二烷基苯基)-2-羟基-2-甲基丙烷-1-酮、4-(2-羟基乙氧基)-苯基(2-羟基-2-丙基)酮、1-羟基环己基苯基酮等苯乙酮类；2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代丙酮-1、2-苄基-2-二甲氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁酮-1等氨基苯乙酮类；2-甲基蒽醌、2-乙基蒽醌、2-叔丁基蒽醌、1-氯蒽醌等蒽醌类；2,4-二甲基噻吨酮、2,4-二乙基噻吨酮、2-氯噻吨酮、异丙基噻吨酮、2,4-二异丙基噻吨酮等噻吨酮类；苯乙酮二甲基缩酮、苄基二甲基缩酮等缩酮类；二苯甲酮等二苯甲酮类或呫吨酮类等，它们可以单独使用1种或组合使用2种以上，另外，叔胺类这样的公知的敏化剂可以单独使用1种或组合使用2种以上。成分(g)的量(质量％)相对于上述成分(f)优选为0.1～20质量％，特别优选为0.5～10质量％。[0061]成分(h)成分(h)为水性聚合物乳液，例如可举出：聚乙酸乙烯酯、乙酸乙烯酯/乙烯共聚物、乙酸乙烯酯/丙烯酸酯共聚物、(甲基)丙烯酸聚合物、苯乙烯/丁二烯共聚物、甲基丙烯酸甲酯/丁二烯共聚物、丙烯腈/丁二烯共聚物、氯丁二烯聚合物、异戊二烯聚合物、聚氯乙烯、聚偏二氯乙烯、聚苯乙烯、有机硅树脂、聚乙烯、聚氨酯、氟树脂等。作为这些疏水性聚合物粒子，可举出：在聚合工序中得到的聚乙酸乙烯酯乳液、乙烯-乙酸乙烯酯共聚物乳液、乙酸乙烯酯-丙烯酸共聚物乳液、乙烯-乙酸乙烯酯-丙烯酸三元共聚乳液、氯乙烯-乙酸乙烯酯共聚物乳液、丙烯酸乳液、苯乙烯-丁二烯胶乳乳液、mbr胶乳乳液、丙烯腈-丁二烯橡胶胶乳乳液、氯丁橡胶胶乳乳液、偏二氯乙烯乳液等。进而，可适宜使用将由多官能性(甲基)丙烯酸酯制备的水性乳液通过热聚合引发剂或光聚合引发剂进行乳液聚合而得到的具有交联结构的聚合物的水性乳液。作为合成高分子分散体，聚乙烯分散体、聚烯烃离聚物分散体、氨基甲酸酯离聚物分散体等是有用的。当将上述成分(a)和成分(b)的合计设为100质量％时，成分(h)的存在比率(质量％)优选为1～1500质量％，特别优选为10～1000质量％。[0062]其他成分在第1感光性树脂层中，作为其他成分，可以根据需要添加交联剂、有机或无机粒子、硅烷偶联剂、颜料、染料、热聚合抑制剂、表面活性剂、消泡剂、抗氧化剂、密合性赋予剂、增塑剂、溶剂、表面张力调节剂、稳定剂、链转移剂、阻燃剂、抗菌剂、防腐剂等。[0063]《＜第2感光性树脂层＞》＞感光性树脂层的第2具体例包含含有下述成分(a)、成分(c)和成分(d)的感光性树脂。成分(a)：皂化度为50摩尔％以上的聚乙烯醇成分(c)：具有至少1个环氧基的环氧化合物成分(d)：光酸产生剂[0064]在此，所谓“含有”是指除了含有列举的各成分(即，仅含有成分(a)、成分(c)和成分(d))以外，还含有除了列举的成分以外的成分等。作为这样的除了列举的各成分以外的成分的代表例，例如可举出成分(f)～(h)。[0065]关于成分(a)与成分(c)的存在比率(质量％)，成分(a)：成分(c)优选为1：1～1：10，特别优选为1：2～1：6。成分(d)的量(质量％)相对于上述成分(c)优选为1～20质量％，特别优选为3～10质量％。含有上述成分(a)、成分(c)和成分(d)的感光性树脂可根据需要含有成分(f)～(h)中的任一种或多种。[0066]成分(a)作为第2具体例中的成分(a)，可以使用在第1感光性树脂的具体例中作为成分(a)例示的那些。[0067]成分(c)成分(c)是具有至少1个环氧基的化合物。作为2官能以上的缩水甘油基型环氧化合物，例如可举出：乙二醇二缩水甘油基醚、二甘醇二缩水甘油基醚、聚乙二醇二缩水甘油基醚、丙二醇二缩水甘油基醚、三丙二醇二缩水甘油基醚、聚丙二醇二缩水甘油基醚、间苯二酚二缩水甘油基醚、新戊二醇二缩水甘油基醚、1,6-己二醇二缩水甘油基醚、甘油二缩水甘油基醚、二溴新戊二醇二缩水甘油基醚、氢化双酚a二缩水甘油基醚、对苯二甲酸二缩水甘油基酯、邻苯二甲酸二缩水甘油基酯、氢化邻苯二甲酸二缩水甘油基酯、双酚apo2mol加成物二缩水甘油基醚、山梨醇聚缩水甘油基醚、甘油聚缩水甘油基醚、二甘油聚缩水甘油基醚、聚甘油聚缩水甘油基醚、三羟甲基丙烷聚缩水甘油基醚、季戊四醇聚缩水甘油基醚等。进而，作为脂环式环氧化合物，可举出：3,4-环氧环己基甲基-3′,4′‑环氧环己烷甲酸酯、3,4-环氧环己基甲基-3′,4′‑环氧环己烷甲酸酯与ε-己内酯的加成物、1,2,8,9-二环氧柠檬烯、(3,3′,4,4′‑二环氧)双环己基、1,2-环氧-4-乙烯基环己烷)、2,2-双(羟基甲基)-1-丁醇的1,2-环氧-4-(2-氧基嘧啶)环己烷加成物、丁烷四羧酸四(3,4-环氧环己基甲基)修饰的ε-己内酯、甲基丙烯酸3,4-环氧环己基甲酯等。[0068]作为单官能性环氧化合物，可举出：2-乙基己基缩水甘油基醚、苯基缩水甘油基醚、苯酚(eo)5缩水甘油基醚、对叔丁基苯基缩水甘油基醚、二溴苯基缩水甘油基醚、月桂醇(eo)15缩水甘油基醚、cl2、cl3混合醇缩水甘油基醚、n-缩水甘油基邻苯二甲酰亚胺等。若将它们用作反应性稀释剂，则可以使用高粘度或固体的环氧树脂。例如，可以使用苯酚酚醛清漆型环氧树脂、甲酚酚醛清漆型环氧树脂、三羟基苯基甲烷型环氧树脂、二环戊二烯苯酚型环氧树脂、双酚a型环氧树脂、双酚f型环氧树脂、联苯酚型环氧树脂、双酚a酚醛清漆型环氧树脂、含萘骨架的环氧树脂、杂环式环氧树脂、环氧化聚丁二烯、苯乙烯-丁二烯嵌段共聚物的环氧化物、溴化环氧树脂、联苯型环氧树脂、胺型环氧树脂等。另外，可以将具有至少1个氧杂环丁烷基的化合物与上述环氧化合物混合使用。[0069]作为氧杂环丁烷化合物，可举出：j.v.crivelloandh.sasaki,j.m.s.pureappl.chem.，a30(2&3)，189(1993)或j.h.sasakiandv.crivello,j.m.s.pureappl.chem.，a30(2&3),915(1993)中描述的化合物。例如可举出：3-乙基-3-羟甲基氧杂环丁烷(氧杂环丁醇)、2-乙基己基氧杂环丁烷、甲基丙烯酸(3-乙基氧杂环丁烷-3-基)甲基酯、(3-乙基氧杂环丁烷-3-基)甲基丙烯酸酯、3-乙基-3-(4-羟基丁氧基甲基)氧杂环丁烷等单官能氧杂环丁烷化合物、亚二甲苯基双氧杂环丁烷、3-乙基-3{[(3-乙基氧杂环丁烷-3-基)甲氧基]甲基}氧杂环丁烷、4,4′‑双[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)甲氧基甲基]联苯)、双[(3-乙基-3-氧杂环丁烷基)甲基]间苯二甲酸酯等2官能氧杂环丁烷化合物、季戊四醇三(3-乙基-3-氧杂环丁烷基甲基)醚、季戊四醇四(3-乙基-3-氧杂环丁烷基甲基)醚、二季戊四醇六(3-乙基-3-氧杂环丁烷基甲基)醚、二季戊四醇五(3-乙基-3-氧杂环丁烷基甲基)醚、二季戊四醇四(3-乙基-3-氧杂环丁烷基甲基)醚、己内酯改性的二季戊四醇六(3-乙基-3-氧杂环丁烷基甲基)醚、己内酯改性的二季戊四醇五(3-乙基-3-氧杂环丁烷基甲基)醚、双三羟甲基丙烷四(3-乙基-3-氧杂环丁烷基甲基)醚等多官能氧杂环丁烷化合物。上述成分(c)可以单独使用1种，也可以并用2种以上。[0070]成分(d)成分(d)是产酸剂，使用用于化学放大型光刻胶或光阳离子聚合的化合物(参见“有机电子材料研究会编，“成像用有机材料”，ぶんしん出版(1993年)，187～192页”)。作为酸产生剂的具体例，例如可举出：阳离子化合物、产生氢卤酸的含卤素化合物、产生磺酸的磺化化合物。[0071]作为离子性酸产生剂，例如可举出：重氮铵、碘锍、二茂铁等阳离子的cl-、br-、i-、zncl3-、hso3-、bf4-、pf6-、asf6-、sbf6-、ch3so3-、cf3so3-、全氟丁烷磺酸盐、全氟辛烷磺酸酯、樟脑磺酸盐、苯磺酸盐、对甲苯磺酸盐、9,10-二甲氧基蒽-2-磺酸盐、环己氨基磺酸盐、(c6f5)4b-、(c4h9)4b-等盐。[0072]作为上述阳离子的具体例，可举出：苯基重氮对甲氧基重氮α-萘基重氮联苯基重氮二苯胺-4-重氮3-甲氧基二苯胺-4-重氮2,5-二乙氧基-4-甲氧基苯甲酰基酰胺苯基重氮2,5-二丙氧基-4-(4-甲苯基)硫代苯基重氮4-甲氧基二苯胺-4-重氮4-重氮二苯胺与甲醛的缩合物、1-甲氧基喹啉1-乙氧基异喹啉1-苯酰甲基吡啶1-苄基-4-苯甲酰基吡啶1-苄基喹啉n-取代的苯并噻唑(参照日本特开平5-140143号公报)等。[0073]还可以举出:苄基三苯基锍、对甲氧基苯基二苯基锍、双(对甲氧基苯基)苯基锍、三(对甲氧基苯基)锍、对苯基硫代苯基二苯基锍、苄基四亚甲基锍、苯酰甲基四亚甲基锍、苯酰甲基二甲基锍、对甲氧基苯基二乙基锍、萘基二烷基锍(日本特开平9-118663号公报，日本特开平5-140209号公报)、(2-萘基羰基甲基)四亚甲基锍、(对羟基苯基)二甲基锍、(4-羟基萘基)-二甲基锍、(4,7-二羟基萘基)-1-二甲基锍、(4,8-二羟基萘基)-1-二甲基锍、二苯基碘苯基(4-甲氧基苯基)碘苯基{4-(叔丁基)苯基}碘4-双{4-(叔丁基)苯基}碘双(4-十二烷基苯基)碘(4-甲氧基苯基)(4-辛氧基苯基)碘苯酰甲基三苯基氰甲基三苯基等。[0074]作为产生氢卤酸的产酸剂，可举出：1-甲基-3,5-双(三氯甲基)-均三嗪、1-苯基-3,5-双(三氯甲基)-均三嗪、1-(4-氯苯基)-3,5-双(三氯甲基)-均三嗪、1-(4-甲氧基苯基)-3,5-双(三氯甲基)-均三嗪、1-(4-丁氧基苯基)-3,5-双(三氯甲基)-均三嗪、1-(3,4-亚甲基二氧苯基)-3,5-双(三氯甲基)-均三嗪、1-(3,4-二甲氧基苯基)-3,5-双(三氯甲基)-均三嗪、1-(4-甲氧基萘基-1)-3,5-双(三氯甲基)-均三嗪、1-{2-(4-甲氧基苯基)乙烯基}-3,5-双(三氯甲基)-均三嗪、1-{2-(2-甲氧基苯基)乙烯基}-3,5-双(三氯甲基)-均三嗪、1-{2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基}-3,5-双(三氯甲基)-均三嗪、1-{2-(3-氯-4-甲氧基苯基)乙烯基}-3,5-双(三氯甲基)-均三嗪、1-(联苯-1)-3,5-双(三氯甲基)-均三嗪、1-(4-羟基联苯-1)-3,5-双(三氯甲基)-均三嗪、1-(4-甲氧基联苯-1)-3,5-双(三氯甲基)-均三嗪、1-(4-甲基联苯-1)-3,5-双(三氯甲基)-均三嗪、1,3,5-三(三氯甲基)-均三嗪、1,3-二氯-4-三氯甲基苯、1,1,1-三氯-{2,2-84-氯苯基}乙烷、苯基三溴甲基砜、1-烯基-4-甲基-4-三氯甲基-2,5-环己二烯、2-三溴喹啉、1-烯基-2,3-苯并-4,4,5,6-四氯己烯-5等。[0075]作为产生磺酸的产酸剂，可举出：2-硝基苄基对甲苯磺酸盐、2,6-二硝基苄基对甲苯磺酸盐、1-(对甲苯磺酰氧基亚氨基)-1-苯基乙腈、1-(对甲苯磺酰氧基亚氨基)-1-苯基乙腈、苯偶姻对甲苯磺酸盐、2-对甲苯磺酰氧基-2-苯甲酰基丙烷、对硝基苄基-9,10-二甲氧基蒽-2-磺酸盐、n-三氟甲磺酰氧基二苯基马来酰亚胺、n-对甲苯磺酰氧基琥珀酰亚胺、n-樟脑磺酰氧基琥珀酰亚胺、n-三氟甲磺酰氧基琥珀酰亚胺、n-全氟丁磺酰氧基琥珀酰亚胺、n-对甲苯磺酰氧基邻苯二甲酰亚胺、n-樟脑磺酰氧基邻苯二甲酰亚胺、n-三氟甲磺酰氧基邻苯二甲酰亚胺、n-全氟丁磺酰氧基邻苯二甲酰亚胺、n-对甲苯磺酰氧基-1,8-萘甲酰亚胺、n-樟脑磺酰氧基-1,8-萘甲酰亚胺、n-三氟甲磺酰氧基-1,8-萘甲酰亚胺、n-全氟丁磺酰氧基-1,8-萘甲酰亚胺、1,2,3-三(对甲苯磺酰氧基)苯、双(苯砜)、双(苯磺酰基)甲烷等。[0076]另外，可以将敏化剂与产酸剂并用，作为所使用的敏化剂，期望为供电子性化合物。作为具有这种特性的敏化剂，可举出：芳族多环化合物、卟啉化合物、酞菁化合物、多甲川染料化合物、部花青化合物、香豆素化合物、硫代吡喃化合物、吡喃化合物、对二烷基氨基苯乙烯基化合物、噻吨化合物等，但并不限定于此。它们大多记载于大河、平岛、松冈、北尾编集的“色素手册”(讲谈社)、社团法人色材协会编集的“色材工学手册”、朝仓书店(1989年发行)、林原生物化学研究所感光色素研究所的“dyecatalogue”等中。[0077]成分(f)作为第2具体例中的成分(f)，可以使用在第1感光性树脂的具体例中作为成分(f)例示的那些。当将上述成分(a)、成分(c)和成分(d)的合计设为100质量％时，成分(f)的存在比率(质量％)优选为1～60质量％，特别优选为5～30质量％。[0078]成分(g)作为第2具体例中的成分(g)，可以使用在第1感光性树脂的具体例中作为成分(g)例示的成分(g)。成分(g)的存在比率(质量％)相对于上述成分(f)优选为0～20质量％，特别优选为0.1～10质量％。[0079]成分(h)作为第2具体例中的成分(h)，可以使用在第1感光性树脂的具体例中作为成分(h)例示的那些。当将上述成分(a)、成分(c)和成分(d)的合计设为100质量％时，成分(h)的存在比率(质量％)优选为0.5～200质量％，特别优选为1～100质量％。[0080]其他成分在第2感光性树脂层中，作为其他成分，可根据需要使用交联剂、有机或无机粒子、硅烷偶联剂、颜料、染料、热聚合抑制剂、表面活性剂、消泡剂、抗氧化剂、密合性赋予剂、增塑剂、溶剂、表面张力调节剂、稳定剂、链转移剂、阻燃剂、抗菌剂、防腐剂等。[0081]《《第3感光性树脂层》》》感光性树脂层的第3具体例包含含有下述成分(e)的感光性树脂。成分(e)：具有苯乙烯基取代的吡啶基或苯乙烯基取代的喹啉基的皂化度为50摩尔％以上的聚乙烯醇上述含有成分(e)的感光性树脂可根据需要含有成分(f)～(h)中的任一种或多种。[0082]成分(e)成分(e)具有苯乙烯基取代的吡啶基或苯乙烯基取代的喹啉基的皂化度为50摩尔％以上的乙酸乙烯酯聚合物皂化物，其本身具有光交联性。作为优选的具体例，可举出：下述通式(1)或通式(2)表示的化合物。[化1][0083](式中，r1表示氢原子、烷基或芳烷基，它们可以被羟基、氨基甲酰基取代，另外，它们的碳碳键可以隔着氧原子或不饱和键。r2表示氢原子或碳数1～3的烷基。m为1～6的整数。n为0或1。x-表示卤素离子、磷酸根离子、甲基硫酸根离子、磺酸根离子、具有阴离子解离能力的自由基聚合性单体，或这些阴离子的混合物。)。作为r1的烷基或芳烷基，优选碳数1～10的烷基或芳烷基，特别优选碳数1～7。作为具体的残基(r1)，可举出：甲基、乙基、丙基、丁基、戊基、己基、2-羟基乙基、3-羟基丙基、2-甲氧基乙基、3-甲氧基丙基、烯丙基、巴豆基、苄基等。当m超过1～6的范围时，光不溶化后的膜容易溶胀，m更优选为1～4。n可以是0或1。[0084]作为x-，优选为磷酸根离子、甲基硫酸根离子、作为卤素离子，优选为cl-或br-、作为磺酸根离子，优选为ch3so3-、ch3ch2so3-、c6h5so3-、p-ch3c6h4so3-。另外，作为x-，还可举出：具有至少1个烯属不饱和键、且具有阴离子解离能力的自由基聚合性单体。作为具有阴离子解离能力的残基，可举出：磺酸、羧酸、磷酸，通过制成它们的碱金属盐或脂族胺的铵盐，可用作具有阴离子基的自由基聚合性单体。作为用于此的单体中的自由基聚合性不饱和基团，可举出：(甲基)丙烯酰基(以下，(甲基)丙烯酰基是指丙烯酰基和甲基丙烯酰基这两者)、马来酸单酯基、苯乙烯基、烯丙基等。作为未解离的酸型单体的例子，可举出：丙烯酸、甲基丙烯酸、马来酸单甲酯、马来酸单乙酯、邻苯二甲酸2-(甲基)丙烯酰氧基乙酯、邻苯二甲酸3-(甲基)丙烯酰氧基-2-丙酯、邻苯二甲酸3-(甲基)丙烯酰氧基-2-丙酯、环己烷-3-烯-1,2-二羧酸2-(甲基)丙烯酰氧基乙酯、琥珀酸2-(甲基)丙烯酰氧基乙酯、环己烷-1,2-羧酸2-(甲基)丙烯酰氧基乙酯、马来酸2-(甲基)丙烯酰氧基乙酯、ω-羧基-聚己内酯单丙烯酸酯、丙烯酸二聚物、2-(甲基)丙烯酰氧基乙基磷酸酯、3-(甲基)丙烯酰氧基丙基磷酸酯、2-(甲基)丙烯酰氧基-3-丙基磷酸酯、ω-(甲基)丙烯酰基聚乙烯氧乙烯磷酸酯、ω-(甲基)丙烯酰基聚丙烯氧乙烯磷酸酯、苯乙烯磺酸、n-(2-磺乙基)丙烯酰胺、n-(2-磺乙基)甲基丙烯酰胺等，但不限于此。[0085]成分(f)作为第3具体例中的成分(f)，可以使用在第1感光性树脂的具体例中作为成分(f)例示的那些。将上述成分(e)设为100质量％时，成分(f)的存在比率(质量％)优选为1.0～800质量％，特别优选为10～600质量％。[0086]成分(g)作为第3具体例中的成分(g)，可以使用在第1感光性树脂的具体例中作为成分(e)例示的那些。将上述成分(f)设为100质量％时，成分(g)的存在比率(质量％)优选为0.1～20质量％，特别优选为0.5～10质量％。[0087]成分(h)作为第3具体例中的成分(h)，可以使用在第1感光性树脂的具体例中作为成分(h)例示的那些。当将上述成分(e)设为100质量％时，成分(h)的存在比率(质量％)优选为1～1500质量％，特别优选为10～1000质量％。[0088]其他成分在第3感光性树脂层中，作为其他成分，可以根据需要使用交联剂、有机或无机粒子、硅烷偶联剂、颜料、染料、热聚合抑制剂、表面活性剂、消泡剂、抗氧化剂、密合性赋予剂、增塑剂、溶剂、表面张力调节剂、稳定剂、链转移剂、阻燃剂、抗菌剂、防腐剂等。[0089]《保护层》本发明的图案形成用层叠膜可以包含除了支撑层、糊层、非水溶性高分子层和感光性树脂层以外的其他层。作为这样的其它层的代表例，例如可举出：保护层。[0090]该保护层主要具有保护本发明的图案形成用层叠膜的功能，例如，在将该保护层配置于感光性树脂层的表面的情况下，能够防止感光性树脂层因外部的冲击、压力等而造成的损伤、且防止因湿气、气体、光等而造成的劣化。本发明的图案形成用层叠膜的重叠和卷绕成卷状并保存是容易的。[0091]在本发明中，作为保护层，可以使用由各种材料构成的保护层。例如，可以使用由各种树脂材料构成的保护层，另外，可以使用由天然材料构成的保护层。保护层的具体材质没有限制，例如可以使用与支撑层同样的材质。保护层的厚度没有特别限定，优选为1～50μm。[0092]在将感光剂层表面配置有保护层的本发明的图案形成用层叠膜应用于例如丝网印刷版的情况下，与构成本发明的图案形成用层叠膜的其他层相比，先剥离该保护层。因此，该保护层与感光剂层之间的层间粘接力优选低于其他层间粘接力(x)～(z)(即，低于层间粘接力(y))。因此，可以对单面或双面实施离型处理。[0093]另外，可以是透明或不透明的。例如可举出：纸、离型纸、聚对苯二甲酸乙二醇酯等聚酯、聚甲基戊烯、聚丙烯、聚乙烯等聚烯烃、聚氟乙烯、聚氯乙烯等含卤素的乙烯基聚合物、尼龙等聚酰胺、玻璃纸等纤维素、聚苯乙烯、丙烯酸系树脂、聚酰亚胺等膜。另外，在不丧失层叠膜功能的情况下，即可对单面或双面实施离型处理、消光处理、易粘接处理。[0094]《未感光的丝网印刷版(第1未感光的丝网印刷版)＞本发明的第1未感光的丝网印刷版的特征在于，包含上述图案形成用层叠膜和层叠于上述图案形成用层叠膜的所述感光性树脂层侧的丝网。[0095]图1表示本发明的第1未感光的丝网印刷版8的优选的具体例。图1所示的本发明的优选的未感光的丝网印刷版8包含图案形成用层叠膜1(具体而言，由支撑层2、糊层3、非水溶性高分子层4和感光性树脂层5依次构成的图案形成用层叠膜1)和层叠于该图案形成用层叠膜1的上述感光性树脂层5侧的丝网6。在此，丝网6与通常的一般的丝网印刷版同样地粘贴在框架材料7上。[0096]《未感光的丝网印刷版(第1未感光的丝网印刷版)的制造方法＞本发明的未感光的丝网印刷版(第1未感光的丝网印刷版)的制造方法的特征在于，包括下述工序(a)。工序(a)：在上述图案形成用层叠膜的上述感光性树脂层侧接合丝网的工序。根据该丝网印刷版的制造方法，例如可制造图1所示的未感光的丝网印刷版8。[0097]在工序(a)中，在图案形成用层叠膜1的感光性树脂层5侧接合丝网6时，优选例如可举出如下方法：(1)在丝网6上预先涂布感光性材料(优选与形成感光性树脂层5的感光性树脂相同或类似的感光性材料)或水，从而在此接合图案形成用层叠膜1的感光性树脂层5的方法；(2)在丝网6上重叠图案形成用层叠膜1的感光性树脂层5，然后在该重叠部上涂布与形成感光性树脂层的感光性树脂相同或类似的感光性材料或水的方法。[0098]《未感光的丝网印刷版(第2未感光的丝网印刷版)＞本发明的第2未感光的丝网印刷版的另一优选方式(第2未感光的丝网印刷版)的特征在于，包含：层叠膜，其是从图案形成用层叠膜中除去了上述支撑层和糊层而得到的层叠膜；以及丝网，其层叠于上述层叠膜的上述感光性树脂层侧。[0099]图2表示本发明的第2未感光的丝网印刷版9的优选的具体例。图2所示的本发明的优选的未感光的丝网印刷版9包含从图1所示的未感光的丝网印刷版8的图案形成用层叠膜1中除去了支撑层2和糊层3的层叠膜1′、以及层叠在上述的层叠膜1′的上述感光性树脂层5侧的丝网6。[0100]《未感光的丝网印刷版(第2未感光的丝网印刷版)的制造方法＞本发明的未感光的丝网印刷版(第2未感光的丝网印刷版)的制造方法的特征在于，包括下述工序(a)和工序(b)。工序(a)：在上述图案形成用层叠膜的上述感光性树脂层侧接合丝网的工序工序(b)：从上述图案形成用层叠膜的非水溶性高分子层上剥离上述支撑层和糊层的工序图2表示通过这样的制造方法得到的未感光的丝网印刷版9的优选的具体例。[0101]《丝网印刷版的制造方法》本发明的丝网印刷版的制造方法的特征在于，包括下述工序(a)～工序(f)：工序(a)：在上述图案形成用层叠膜的上述感光性树脂层侧接合丝网的工序，工序(b)：从上述图案形成用层叠膜的非水溶性高分子层上剥离上述支撑层和糊层的工序，工序(c)：在上述非水溶性高分子层的表面上配置图案掩模的工序，工序(d)：在上述感光性树脂层上形成潜像的工序，工序(e)：剥离上述非水溶性高分子层的工序，工序(f)：对形成了上述潜像的感光性树脂层进行显影的工序。[0102]图3是表示本发明的丝网印刷版的制造方法的示意图，图3a表示在上述图案形成用层叠膜1的上述感光性树脂层5侧接合丝网6的工序(a)的概要，图3b表示从上述图案形成用层叠膜1的非水溶性高分子层4上剥离上述支撑层2和糊层3的工序(b)的概要，图3c表示在上述非水溶性高分子层4的表面上配置图案掩模10的工序(c)的概要，图3d表示对上述感光性树脂层5照射来自上述图案掩模10面的能量线，在感光性树脂上形成潜像α的工序(d)的概要，图3e表示剥离上述非水溶性高分子层4的工序(e)的概要，图3f表示实施对形成了上述潜像α的感光性树脂层5进行显影的工序(f)而得到的丝网印刷版11的概要。在该工序(f)中，用水(例如中性水)清洗形成了潜像α的感光性树脂层5，进行显影处理，包括除去感光性树脂层5的未固化区域(即，没有形成潜像α的区域)。然后，通过干燥显影处理物，能够得到具有规定的开孔图案的丝网印刷版11。[0103]本发明的图案形成用层叠膜1具有非水溶性高分子层3，在该非水溶性高分子层3的表面上配置图案掩模10，然后经由该图案掩模10进行能量线的照射和潜像α的形成。通过该非水溶性高分子层3，防止感光性树脂层由于吸湿和构成成分迁移而变粘，因此在非水溶性高分子层3的表面容易确定掩模图案10的位置。[0104]根据本发明的丝网印刷版，由于成品印刷版的表面可被加工成平坦的，因此印刷再现性良好，与被印刷物的密合也良好，因此能够抑制油墨绕到印刷版的背面，能够减少擦拭印刷版的次数。[0105]《感光性抗蚀剂基材》本发明的感光性抗蚀剂基材的特征在于，包含：上述图案形成用层叠膜和层叠于上述图案形成用层叠膜的上述感光性树脂层侧的基材。[0106]作为层叠在感光性树脂层侧的基材，可以使用由各种材料构成的基材。例如可举出：木、石、织物、纸、陶瓷、玻璃、醋酸纤维素、聚酯、聚烯烃、聚酰亚胺、环氧树脂之类的合成树脂、玻璃纤维强化树脂、铝、铜、镍、铁、锌、镁、钴之类的金属、硅、砷化镓锗等半导体材料、氮化硅、氧化硅等绝缘材料。[0107]本发明的该感光性抗蚀剂基材是可用中性水显影的感光性树脂，因此不使用有机溶剂或碱性水溶液作为显影液，在这一点上比以往的感光性抗蚀剂基材更有利于环境方面和作业方面。[0108]除了丝网以外，通过在金属或玻璃等基材上接合该图案形成用层叠膜，可以得到感光性抗蚀剂基材。与以往的含有有机溶剂型树脂不同，由于溶剂使用中性水，因此环境污染低。由于显影可以不使用有机溶剂和碱性水而可以使用中性水，因此从环境方面、作业方面、显影液的保管和处理等方面考虑都是有利的。另外，根据基材的不同，存在因有机溶剂或碱而变色、变形等的基材，通过可用中性水显影，基材的选择范围较广。实施例[0109]《实施例1》图案形成用层叠膜的制作准备厚度75μm的聚对苯二甲酸乙二醇酯膜作为支撑层，在其上通过棒涂机涂布乙烯-乙酸乙烯酯系乳液型粘合剂，在100℃下加热干燥3分钟，由此形成厚度10μm的糊层。进而在其上通过层压机贴合厚度6μm的聚对苯二甲酸乙二醇酯膜作为由非水溶性高分子构成的层。接着，通过棒涂机涂布含有上述成分(a)和成分(b)(f)(g)(h)的感光性树脂1，在40℃下加热干燥30分钟，由此形成厚度20μm的感光性树脂层，由此得到图案形成用层叠膜。[0110]《实施例2》形成实施例1的感光性树脂层后，在其上贴合厚度25μm的聚乙烯膜作为保护层，除此以外，与实施例1同样操作，制作图案形成用层叠膜。[0111]《实施例3》糊层使用丙烯酸系粘合剂，由c)非水溶性高分子构成的层使用厚度12μm的聚烯烃膜，除此以外，与实施例1同样操作，制作图案形成用层叠膜。[0112]《比较例1》图案形成用层叠膜的制作准备厚度75μm的聚对苯二甲酸乙二醇酯膜作为支撑层，在其上通过棒涂机涂布聚乙烯醇(クラレ株式会社制的クラレポバール95-88)的5.0质量％的水溶液，在40℃下加热干燥30分钟，由此形成厚度5μm的由水溶性高分子构成的层。进而在其上通过棒涂机涂布含有上述成分(a)和成分(b)(f)(g)(h)的感光性树脂1，在40℃下加热干燥30分钟，由此形成厚度20μm的感光性树脂层，由此得到图案形成用层叠膜。[0113]《比较例2》作为由水溶性高分子构成的层，使用含有氟化合物的树脂(未添加株式会社ムラカミ制的sp-2050uc重氮树脂)，除此以外，与比较例1同样操作，制作图案形成用层叠膜。[0114]《比较例3》准备厚度75μm的聚对苯二甲酸乙二醇酯膜作为支撑层，在其上通过棒涂机涂布含有上述成分(a)和成分(b)(f)(g)(h)的感光性树脂1，在40℃下加热干燥30分钟，由此形成厚度20μm的感光性树脂层，由此得到图案形成用膜。[0115]《评价方法1》在固定于铝框的聚酯纤维制网上，使用不锈钢制桶涂布含有上述成分(a)和成分(b)(f)(g)(h)的感光性树脂1，贴合上述制作的图案形成用层叠膜的感光性树脂层侧。在临贴合实施例2制作的图案形成用层叠膜之前，剥离保护层后贴合感光性树脂层侧。在40℃下干燥30分钟后，剥离支撑层。对于实施例1、2、3制作的图案形成用层叠膜而言，在剥离支撑层的同时也剥离糊层。[0116]接着，重叠图案掩模，抽真空，使用3kw的金属卤化物灯作为光源，在光源与印刷版表面的距离1m、照射时间2分钟的条件下，曝光感光性树脂层。接着，去除图案掩模后，使用自来水显影树脂层。由此得到丝网印刷版。在实施例1、2、3中，在显影前除去非水溶性高分子层之后进行显影。[0117]表面粘性1根据重叠图案掩模时的图案掩模的对位的容易度，按a～c评价。a：能够使图案掩模顺畅地移动，容易进行对位。b：无法顺利地移动图案掩模，难以进行对位。c：图案掩模粘在表面上，无法进行对位。[0118]表面粘性2通过真空曝光后的图案掩模的剥离容易度，按a～c评价。a：剥离图案掩模时没有阻力，能够容易地剥离。b：剥离图案掩模时有阻力，不能顺利地剥离。c：图案掩模粘在表面上，表面的一部分破损。[0119]表面状态根据显影后的丝网印刷版的表面状态，按○～×评价。○：感光性树脂层的表面没有任何残留。×：感光性树脂层的表面残留其他成分。[0120]评价结果示于表1。[0121][0122]《实施例4》图案形成用层叠膜的制作准备厚度75μm的聚对苯二甲酸乙二醇酯膜作为支撑层，在其上通过棒涂机涂布有机硅系粘合剂，在100℃下加热干燥3分钟，由此形成厚度5μm的糊层。进而在其上通过层压机贴合厚度12μm的聚烯烃膜作为由非水溶性高分子构成的层。接着，通过棒涂机涂布含有上述成分(e)和成分(f)(g)(h)的感光性树脂2，在40℃下加热干燥30分钟，由此形成厚度30μm的感光性树脂层，由此得到图案形成用层叠膜。[0123]《实施例5》糊层使用乙烯-乙酸乙烯酯系乳液型粘合剂，除此以外，与实施例4同样操作，制作图案形成用层叠膜。[0124]《实施例6》糊层使用氨基甲酸酯系粘合剂，除此以外，与实施例4同样操作，制作图案形成用层叠膜。[0125]《实施例7》糊层使用丙烯酸系粘合剂，除此以外，与实施例4同样操作，制作图案形成用层叠膜。[0126]《比较例4》图案形成用层叠膜的制作作为由非水溶性高分子构成的层，使用对厚度25μm的聚酯膜的单面实施了有机硅离型处理的离型膜，除此以外，与实施例4同样操作，制作图案形成用层叠膜。将离型膜的有机硅离型处理面贴合于感光性树脂层侧。[0127]《比较例5》作为支撑层，使用对厚度75μm的聚酯膜的单面实施了有机硅离型处理的离型膜，除此以外，与实施例5同样操作，制作图案形成用层叠膜。将离型膜的有机硅离型处理面贴合于糊层侧。[0128]《比较例6》作为由非水溶性高分子构成的层，使用对厚度25μm的聚酯膜的单面实施了电晕放电处理的易粘接膜，除此以外，与实施例6同样操作，制作图案形成用层叠膜。将易粘接膜的电晕处理面贴合于糊层侧。[0129]《比较例7》感光性树脂层使用上述含有成分(a)和成分(b)(h)的感光性树脂3，除此以外，与实施例7同样操作，制作图案形成用层叠膜。[0130]《评价方法2》在固定于铝框的聚酯纤维制网上，使用不锈钢制桶涂布用于各图案形成用膜的感光性树脂，贴合上述制作的图案形成用层叠薄膜的感光性树脂层侧。在40℃下干燥30分钟，得到试验板。在25℃、50％环境下保管24小时后，在支撑层上贴附透明胶带，以向上拉拽的方式剥离时，确认在界面1～3的哪个区域发生剥离。界面1：支撑层/糊层界面2：糊层/非水溶性高分子层界面3：非水溶性高分子层/感光性树脂层○：在界面2处剥离，在非水溶性高分子层上没有残留糊层。×：在界面2以外的区域剥离。[0131]评价结果示于下表2。[0132][0133]《实施例8》图案形成用层叠膜的制作准备厚度75μm的聚对苯二甲酸乙二醇酯膜作为支撑层，在其上通过棒涂机涂布有机硅系粘合剂，在100℃下加热干燥3分钟，由此形成厚度3μm的糊层。进而在其上通过层压机贴合厚度12μm、雾度值0.3％的聚烯烃膜作为由非水溶性高分子构成的层。[0134]接着，通过棒涂机涂布含有上述成分(a)和成分(b)(f)(g)的感光性树脂4，在40℃下加热干燥30分钟，由此形成厚度15μm的感光性树脂层，由此得到图案形成用层叠膜。[0135]进而，在固定于铝框的不锈钢纤维制网上，使用不锈钢制桶涂布用于各图案形成用膜的感光性树脂，贴合上述制作的图案形成用层叠薄膜的感光性树脂层侧。在40℃下干燥30分钟，剥离支撑层和糊层。[0136]接着，将图案掩模重叠在非水溶性高分子层上，抽真空，使用3kw的金属卤化物灯作为光源，在光源与版表面的距离为1m、照射时间分别为2分钟、3分钟、4分钟、5分钟的条件下，曝光感光性树脂层。接着，去除图案掩模，然后使用自来水显影树脂层。由此得到丝网印刷版。[0137]《实施例9》非水溶性高分子层使用厚度50μm、雾度值1.0％的高透明聚对苯二甲酸乙二醇酯膜，除此以外，与实施例8同样操作，得到丝网印刷版。[0138]《实施例10》感光性树脂层使用含有上述成分(a)和成分(c)、(d)的感光性树脂5，除此以外，与实施例8同样操作，得到丝网印刷版。[0139]《比较例8》非水溶性高分子层使用厚度30μm、雾度值6％的聚烯烃膜，除此以外，与实施例8同样操作，得到丝网印刷版。[0140]《比较例9》非水溶性高分子层使用厚度25μm、雾度值5.7％的通用聚对苯二甲酸乙二醇酯膜，除此以外，与实施例8同样操作，制作图案形成用层叠膜。[0141]《比较例10》非水溶性高分子层使用厚度125μm、雾度值1.5％的聚烯烃膜，除此以外，与实施例10同样操作，制作图案形成用层叠薄膜。[0142]《评价方法3》用100倍放大镜确认得到的丝网印刷版的图案，确定灵敏度和分辨率。灵敏度：将阶段式曝光表(steptablet)7级以上的最短曝光时间设为灵敏度。分辨率：将以上述确定的灵敏度分辨的l/s的最窄宽度(μm)作为分辨率。评价结果示于下表3。[0143]符号说明[0144]1：图案形成用层叠膜、2：支撑层、3：糊层、4：非水溶性高分子层、5感光性树脂层、6：丝网、7：框架材料、8：第1未感光的丝网印刷版、9：第2未感光的丝网印刷版、1′：层叠膜、10：图案掩模、11：丝网印刷版。当前第1页12当前第1页12
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