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显示面板的制作方法

2022-11-30 15:02:21 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种显示面板,其特征在于,包括多个薄膜晶体管和多个发光器件,所述显示面板的膜层结构包括:基底,以及设置于所述基底上的所述薄膜晶体管的源极、漏极和所述发光器件的第一电极;其中,所述源极、所述漏极和所述第一电极同层制备,所述薄膜晶体管为顶栅型。2.如权利要求1所述的显示面板,其特征在于,还包括:遮光件,与所述薄膜晶体管的半导体层重叠设置,所述遮光件与所述第一电极同层制备。3.如权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述薄膜晶体管还包括:第一绝缘层,设置于所述源极和所述漏极上;半导体层,设置于所述第一绝缘层上;栅极绝缘层,设置于所述半导体层上;栅极,设置于所述栅极绝缘层上。4.如权利要求3所述的显示面板,其特征在于,所述薄膜晶体管还包括:第一通孔和第二通孔,分别贯穿所述第一绝缘层,所述半导体层通过第一通孔连接所述源极,且通过所述第二通孔连接所述漏极。5.如权利要求3所述的显示面板,其特征在于,还包括:多个开口,所述开口对应所述发光器件设置,所述开口贯穿所述第一绝缘层和所述栅极绝缘层,以露出所述第一电极远离所述基底的表面。6.如权利要求5所述的显示面板,其特征在于,还包括:第二绝缘层,设置于所述栅极上,所述开口还贯穿所述第二绝缘层。7.如权利要求6所述的显示面板,其特征在于,还包括:支撑柱,设置于所述第二绝缘层上,所述第二绝缘层为像素定义层。8.如权利要求3所述的显示面板,其特征在于,所述半导体层为氧化物半导体。9.如权利要求3所述的显示面板,其特征在于,所述第一电极为所述发光器件的阳极,所述第一电极与至少与一所述薄膜晶体管的所述源极或所述漏极电连接。10.如权利要求3所述的显示面板,其特征在于,所述源极、所述漏极和所述第一电极均为氧化铟锡、银和氧化铟锡的叠层结构。

技术总结
本申请实施例公开了一种显示面板,显示面板包括多个薄膜晶体管和多个发光器件,显示面板的膜层结构包括:基底,以及设置于基底上的薄膜晶体管的源极、漏极和发光器件的第一电极;其中,源极、漏极和第一电极同层制备,薄膜晶体管为顶栅型。本申请在顶栅型薄膜晶体管中,采用源极、漏极和第一电极同层制备,从而可以显示面板的膜层数量减小,减小了制程工艺步骤和光罩数量。骤和光罩数量。骤和光罩数量。


技术研发人员:陈哲
受保护的技术使用者:广州华星光电半导体显示技术有限公司
技术研发日:2022.08.17
技术公布日:2022/11/29
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