一种化学气相沉积设备的导气管及其制备方法与流程

技术特征：
1.一种化学气相沉积设备的导气管，其特征在于，包括管径相同的首管(1)、尾管(3)、n根中部连接管(2)和n 1组加强翅片(4)，n为大于等于2的整数，所述首管(1)、所述尾管(3)、所述中部连接管(2)和所述加强翅片(4)均为硅材料，所述首管(1)为l型圆筒状结构，所述尾管(3)和所述中部连接管(2)为直圆筒状结构，各所述中部连接管(2)头尾相连，位于首部所述中部连接管(2)的首端与所述首管(1)连接，位于尾部的所述中部连接管(2)的尾端与所述尾管(3)相连，各个所述首管(1)、所述尾管(3)和所述中部连接管(2)的接合部位对应位置分别设有一组所述加强翅片(4)，所述加强翅片(4)的首尾两端分别位于对应所述接合部位的两侧，所述首管(1)、所述尾管(3)和所述中部连接管(2)的接合部位设有粘接材料，所述加强翅片(4)与所述首管(1)/尾管(3)/中部连接管(2)的贴合部位设有所述粘接材料。2.根据权利要求1所述的化学气相沉积设备的导气管，其特征在于，所述粘接材料的膨胀系数为2.3~2.7
×
10-6
/℃。3.根据权利要求1或2所述的化学气相沉积设备的导气管，其特征在于，所述首管(1)的尾端和所述中部连接管(2)的尾端均设有连接凸台(5)，所述中部连接管(2)的首端和所述尾管(3)的首端均设有连接凹槽(6)，所述连接凸台(5)适于插入所述连接凹槽(6)中形成套接。4.根据权利要求1或2所述的化学气相沉积设备的导气管，其特征在于，所述加强翅片(4)呈圆弧状长片结构，所述加强翅片(4)的内径与所述中部连接管(2)的外径相等。5.根据权利要求4所述的化学气相沉积设备的导气管，其特征在于，一组中所述加强翅片(4)的数量为两个，一组中的两个所述加强翅片(4)沿所述中部连接管(2)的轴线对称设置，所述加强翅片(4)的弧度介于π
⁄
6至5π
⁄
6之间。6.根据权利要求1或2所述的化学气相沉积设备的导气管，其特征在于，所述首管(1)包括垂直段(11)、接头段(12)和平行段(13)，所述垂直段(11)和所述平行段(13)为直圆筒状结构，所述接头段(12)为立方体结构，所述垂直段(11)的尾端与所述接头段(12)相连，所述平行段(13)的首端与所述接头段(12)相连，所述垂直段(11)和所述平行段(13)相互垂直，所述垂直段(11)、所述接头段(12)和所述平行段(13)的内部连通。7.一种如权利要求1-6任一所述的化学气相沉积设备的导气管的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：s1、在首管(1)、尾管(3)、中部连接管(2)需要接合的部位涂上粘接剂，按照设定顺序排列组合；s2、将组合后的管体静置，待粘接剂的溶剂挥发后，形成初步粘接；s3、将初步粘接的管体用治具垫起，将加强翅片(4)涂布粘接剂并贴合在各管体的接合部位；s4、等待加强翅片(4)贴合处的溶剂挥发，形成初步粘接；s5、将初步粘接的导气管放入高温炉中熔接，粘接剂烧结融化，与硅基材形成粘合，导气管冷却后各粘接面形成粘接材料。8.根据权利要求7所述的化学气相沉积设备的导气管的制备方法，其特征在于，所述粘接剂包括玻璃粉、二氧化硅溶胶溶液、增稠剂和溶剂，所述玻璃粉、二氧化硅溶胶溶液和增稠剂的质量比为30~50:1~2:1。9.根据权利要求8所述的化学气相沉积设备的导气管的制备方法，其特征在于，所述玻
璃粉的始融温度大于750℃，熔点为850~900℃，纯度大于99.9%，目数大于1500目。10.根据权利要求9所述的化学气相沉积设备的导气管的制备方法，其特征在于，所述步骤s5中，熔接温度为950~1100℃，熔接时间为1~4h。

技术总结
本发明提供了一种化学气相沉积设备的导气管及其制备方法，导气管包括管径相同的首管、尾管、n根中部连接管和n 1组加强翅片，n为大于等于2的整数，首管、尾管、中部连接管和翅片均为硅材料，首管、中部连接管、尾管依次连接，各个首管、尾管和中部连接管的接合部位对应位置分别设有一组加强翅片，加强翅片的首尾两端分别位于对应接合部位的两侧，管件的接合部位以及加强翅片与管体的贴合部位设有粘接材料。本发明导气管具有结构强度高、管腔同轴度高、密封性好、使用寿命长等优点。使用寿命长等优点。使用寿命长等优点。


技术研发人员：范荣 李士昌
受保护的技术使用者：盛吉盛精密技术（宁波）有限公司
技术研发日：2022.10.27
技术公布日：2022/11/25