一种气体多级恒流稀释预处理装置及预处理方法

1.本发明涉及气体稀释处理技术领域，尤其涉及一种气体多级恒流稀释预处理装置及预处理方法。


背景技术：

2.工业现场尤其是冶金、化工行业，过程气中通常含有多种危险气体成分，且不同气体组分浓度相差很大，但考虑到工业过程安全性，必须对所有危险气体组分浓度进行高精度监测。而目前工业现场多采用传统多级过滤抽取式取样方式，对具有强腐蚀性、强吸附性的h2s、nh3等烟气组分而言，样气经长距离伴热输送会导致烟气成分失真、管线易堵塞和腐蚀、测量延时、维护量大等问题。因此，基于冶金、化工等行业中关键工艺过程危险气体监测的特点，需要提出一种气体多级恒流稀释预处理装置及预处理方法。


技术实现要素：

3.本发明的目的在于提供一种气体多级恒流稀释预处理装置及预处理方法，可在减小取样管线堵塞和腐蚀的基础上，实现多种浓度梯度工业过程危险气体的高保真、高灵敏度同步在线测量，从而确保预处理装置及监测设备长期稳定运行，降低设备维护成本。
4.本技术实施例一方面提出一种气体多级恒流稀释预处理装置，包括依次通过管路连接的若干个稀释模块，首个稀释模块连接待测气气源和标气气源，每个所述稀释模块均设有进气口、出气口和零气端口，每个所述稀释模块的出气口均连接有取样管，每个所述取样管均连接分析仪，首个稀释模块的进气口与首个稀释模块之间连接过滤装置，所述零气气源通过零气管路分别连接于每个稀释模块的所述零气端口；在每个所述稀释模块内，零气端口与出气口之间连接有文丘里管，进气口与文丘里管的上游管路之间连接音速小孔，依次连接的若干个稀释模块的稀释倍数自首个稀释模块起依次递增。
5.本发明采用多级恒流稀释的预处理装置对气体进行预处理，可在减小取样管线堵塞和腐蚀的基础上实现多种浓度梯度工业过程危险气体高保真、高灵敏度同步在线测量，从而确保预处理装置及监测设备长期稳定运行，降低设备维护成本。
6.本发明的气体多级恒流稀释预处理装置，可稀释不同浓度梯度的样气，单点取样经过多级处理，在不同级数下进行测量，极大减小样气对取样管线的腐蚀和堵塞，降低设备复杂程度，提高装置运行安全性。
7.本发明的气体多级恒流稀释预处理装置中，采用文丘里式取样管，利用其负压效应产生自动抽吸作用进行取样，无需使用电力抽气或加热，取样方式简单。
8.本发明的气体多级恒流稀释预处理装置中，通过音速小孔限制样气的流量，可以以较低的取样流量实现多组分气体的同步测量。
9.在一些实施例中，所述稀释模块设有三个，分别为一级稀释模块、二级稀释模块和三级稀释模块；一级稀释模块的进气口通过总管路分别连接待测气气管和标气气管，待测气气管连接待测气气源，待测气气管上连接有待测气控制阀和待测气流量计，标气气管上
连接有标气控制阀和标气流量计；一级稀释模块和二级稀释模块之间连接第一样气连接管，第一样气连接管上连接有第一样气取样管和二级入口流量计；二级稀释模块和三级稀释模块之间连接第二样气连接管，第二样气连接管上连接有第二样气取样管和三级入口流量计；三级稀释模块连接有第三样气取样管。稀释模块常用的个数为三个，通过在待测气气管、标气气管上设置控制阀，用于实现对待测气和标气的通断和流量的控制，通过设置待测气流量计、标气流量计、二级入口流量计、三级入口流量计，用于实现对标气和各段样气的流量的监控。
10.在一些实施例中，所述待测气气管上连接有待测气放散管路，第一样气连接管上连接有一级放散管路，第二样气连接管上连接有二级放散管路，每个放散管路上均连接放散阀。通过设置放散管路和放散阀，当管路的压力超过安全值时，可排放一定量的气体，可提高设备的安全性。
11.在一些实施例中，所述零气管路包括零气总管路、第一零气管路、第二零气管路和第三零气管路，第一零气管路、第二零气管路和第三零气管路分别为零气总管路的三个支路，第一零气管路连接于总管路和一级稀释模块之间，第二零气管路连接于总管路和二级稀释模块之间，第三零气管路连接于总管路和三级稀释模块之间，第一零气管路、第二零气管路和第三零气管路上分别连接有稳压阀，零气总管路上设有控制零气通断的零气控制阀。通过在零气管路上设置稳压阀，使得零气输出的压力稳定可靠，通过设置零气控制阀来实现对零气的通断和流量的控制。
12.在一些实施例中，所述一级稀释模块、二级稀释模块和三级稀释模块均设有负压监测口，在每个负压监测口处均连接有负压表。通过设置负压表来实时监测每个稀释模块的抽气力度。
13.在一些实施例中，所述待测气流量计、标气流量计、二级入口流量计和三级入口流量计均为玻璃浮子流量计。玻璃浮子流量计易于安装，结构坚固，易于维护。
14.在一些实施例中，所述过滤装置的过滤精度为2μm。可实现零气和待测气在进入稀释模块前的除尘过滤，防止堵塞设备以及检测数据不准确的问题发生。
15.在一些实施例中，所述待测气气管上在待测气气源的取样点与所述气体多级恒流稀释预处理装置之间的管路上设有伴热装置。只需在预处理装置与取样点之间的待测气气管做伴热，而预处理装置布置在取样点附近，预处理装置与分析仪之间无需伴热，样气露点远低于环境温度，可大大减少伴热距离。
16.在一些实施例中，所述待测气放散管路、所述一级放散管路与所述二级放散管路上连接有放散阀，所述第一样气取样管和所述第二样气取样管均连接截止阀。放散阀是管道输送可燃易爆气体的一种安全预警装置，当某种暂时原因使控制点的压力超过设定值(气泡爆裂压力)时，即排放一定量的气体的阀。而截止阀结构简单，制造和维修比较方便，工作行程小，启闭时间短，密封性好，密封面间磨擦力小，寿命较长。
17.本技术实施例另一方面提出一种气体多级恒流稀释预处理方法，利用上述的气体多级恒流稀释预处理装置，包括如下步骤：
18.s1，根据待测气中不同数量级浓度的目标气体来设计每级稀释模块的稀释倍数；
19.s2，将所述待测气通入一级稀释模块进行第一次稀释，打开所述一级稀释模块的取样管的截止阀，进行取样，将第一次稀释后的第一样气一部分输送至分析仪，另一部分输
二级放散管路；22-气源外接管路；23-三级稀释模块；24-零气控制阀；25-第三样气取样管；26-蒸汽外接管路；27-温度计；28-进气口；29-出气口；30-零气端口；31-负压监测口；32-过滤装置；33-文丘里管；34-音速小孔。
具体实施方式
40.下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
41.下面参考附图描述本发明实施例的气体多级恒流稀释预处理装置。
42.如图1～6所示，本技术实施例一方面提出一种气体多级恒流稀释预处理装置，包括依次通过管路连接的若干个稀释模块，首个稀释模块连接待测气气源16和标气气源，每个稀释模块均设有进气口28、出气口29和零气端口30，每个稀释模块的出气口29均连接有取样管，每个取样管均连接分析仪，分析仪用于对样气进行测量。如图3～5所示，首个稀释模块的进气口28与首个稀释模块之间连接过滤装置32，零气气源通过零气管路分别连接于每个稀释模块的零气端口30，依次连接的若干个稀释模块的稀释倍数自首个稀释模块起依次递增，且不同稀释模块的稀释倍数不属于同一数量级。
43.如图7所示，在每个稀释模块内，零气端口30与出气口29之间连接有文丘里管33，进气口28与文丘里管33的上游管路之间连接音速小孔34。图7的箭头表示气体的流向，烟气通过音速小孔34进入到文丘里管33的上游管路中，与零气汇合后稀释，稀释后的样气从文丘里管33的下游管路喷出。
44.在一些具体的实施例中，稀释模块设有三个，分别为一级稀释模块11、二级稀释模块17和三级稀释模块23。
45.一级稀释模块11的进气口28通过总管路分别连接待测气气管1和标气气管6，待测气气管1连接待测气气源16，待测气气管1上连接有待测气控制阀2和待测气流量计3，标气气管6上连接有标气控制阀8和标气流量计7。总管路上通过四通卡套接头连接标气气管6和待测气放散管路4，待测气放散管路4上连接有放散阀5。
46.一级稀释模块11设有负压监测口31，负压监测口31处连接有负压表10，用于实时监测一级稀释模块11的抽气力度。
47.一级稀释模块11和二级稀释模块17之间连接第一样气连接管12，第一样气连接管12上通过三通连接件连接有第一样气取样管13，用于将一级稀释模块11稀释的样气取样，第一样气取样管13连接分析仪。
48.第一样气连接管12上还通过另一个三通连接件连接有一级放散管路15，一级放散管路15上连接有放散阀5。
49.第一样气连接管12上还连接有二级入口流量计14，二级入口流量计14设于第一样气取样管13和一级放散管路15之间。
50.二级稀释模块17设有负压监测口31，负压监测口31处连接有负压表10，用于实时监测二级稀释模块17的抽气力度。
51.二级稀释模块17和三级稀释模块23之间连接第二样气连接管18，第二样气连接管18上通过三通连接件连接有第二样气取样管19，用于将二级稀释模块17稀释的样气取样，第二样气取样管19连接分析仪。
52.第二样气连接管18上还通过另一个三通连接件连接有二级放散管路21，二级放散管路21上连接有放散阀5。
53.第二样气连接管18上还连接有三级入口流量计20，三级入口流量计20设于第二样气取样管19和二级放散管路21之间。
54.三级稀释模块23设有负压监测口31，负压监测口31处连接有负压表10，用于实时监测三级稀释模块23的抽气力度。
55.三级稀释模块23的出气口连接有第三样气取样管25，用于将三级稀释模块23稀释的样气取样，第三样气取样管25连接分析仪。
56.零气管路包括零气总管路、第一零气管路、第二零气管路和第三零气管路，第一零气管路、第二零气管路和第三零气管路分别为零气总管路的三个支路，第一零气管路连接于总管路和一级稀释模块11之间，第二零气管路连接于总管路和二级稀释模块17之间，第三零气管路连接于总管路和三级稀释模块23之间，第一零气管路、第二零气管路和第三零气管路上分别连接有稳压阀9。零气总管路上设有控制零气通断的零气控制阀24。
57.在一些具体的实施例中，待测气流量计3、标气流量计7、二级入口流量计14和三级入口流量计20均为玻璃浮子流量计。
58.在一些具体的实施例中，待测气流量计3、标气流量计7、二级入口流量计14和三级入口流量计20均配备有相应的流量调节阀，可实现对流量的监测与调节。
59.在一些具体的实施例中，过滤装置32的过滤精度为2μm。
60.在一些具体的实施例中，待测气气管1上在待测气气源16的取样点与所述气体多级恒流稀释预处理装置之间的管路上设有伴热装置。
61.具体的，伴热装置可以是在管路外包覆有夹套，夹套内通入加热后的加热介质进行循环，也可以采用加热丝缠绕在管路外，或者其他起到相同效果的装置，属于现有技术，在此不做赘述。
62.在一些具体的实施例中，各稀释模块设有蒸汽加热装置，可利用蒸汽对稀释模块加热，保证在运行过程中，不会因为低温凝结现象造成稀释模块堵塞。各稀释模块内还设有温度计27，用于对稀释模块内的温度进行监控。
63.在一些具体的实施例中，待测气控制阀2、标气控制阀8、零气控制阀24均为手动球阀。
64.本发明预处理装置连接有气源外接管路22和蒸汽外接管路26，其中气源外接管路22用于连接标气气源和零气气源，蒸汽外接管路26用于连接蒸汽热源，为各稀释模块加热。气源外接管路22和蒸汽外接管路26上均设有控制阀。
65.本气体多级恒流稀释预处理装置可实现如下功能：
66.零气控制：每个零气支管都设有稳压阀9，通过调节稳压阀9控制洁净压缩空气的压力，耗气量为60l/min，为稀释取样提供稳定压力。
67.流量控制：包含流量计及流量调节阀，通过监测和调节各级入口流量来保证各级稀释模块的充足稳定供气，通过监测和调节标气的流量来保证对各级稀释模块的标定提供充足稳定供气。
68.负压监测：包含多个机械式的负压表10，实时监测各级稀释模块的抽气力度。
69.稀释模块：包含若干个稀释模块，其中一级稀释模块11含有2μm级别的滤芯。通过
文丘里取样管及音速小孔的配合，达到对待测气进行恒定倍数的稀释。
70.标定：对若干个稀释模块进行稀释比标定。
71.加热：利用蒸汽对稀释模块加热，保证在运行过程中，不会因为低温凝结现象造成稀释模块堵塞；
72.手动阀组：包含若干个手动球阀及截止阀，实现对系统不同状态的控制。
73.本发明利用多级恒流稀释取样预处理装置，基于文丘里和音速小孔恒流稀释原理，利用干燥洁净空气稀释目标气体，逐级对不同浓度组分的待测气体进行取样。
74.利用本发明的预处理装置进行稀释法取样，最大需气量仅为400ml/min，减少取样量，增加安全系数，同时极大减小样气对管壁和仪器设备的腐蚀效应。
75.本发明的预处理装置采用单点取样、多级处理的方式，在不同级数下进行样气的测量，结构简单，现场施工维护工作量小。
76.本发明利用文丘里负压效应产生的自动抽吸作用进行取样，无需使用电力抽气或加热的方式，防爆措施简单。
77.本发明通过设置音速小孔来限制烟气的流量，可以以较低的取样流量实现多组分气体的同步测量，对原有系统影响小。
78.本技术实施例另一方面提出一种气体多级恒流稀释预处理方法，利用上述的气体多级恒流稀释预处理装置，包括如下步骤：
79.s1，待测气由多种气体混合，且每种气体的浓度不属于同一数量级，每级稀释模块稀释对应数量级浓度的气体，因此需要经过多级稀释，且每一级稀释后的样气单独送入分析仪进行测量。结合多种气体测量精度及量程需求，确定每一级稀释模块11的稀释比设计值。
80.在待测气的取样点处设置三通连接件，分出一路样气(即待测气气管1)通入本发明的预处理装置中，在待测气气管1上连接一个针型阀。待测气通过针型阀后输送至本发明的预处理装置中，再依次经过待测气控制阀2及待测气流量计3后进入四通卡套接头，然后进入一级稀释模块11进行第一次稀释。零气经过除尘过滤后通入一级稀释模块11，产生负压，与吸入后待测气混合形成稀释后的第一样气。打开一级稀释模块11的取样管的截止阀，进行取样，第一样气一部分送入分析仪测量，剩余部分进入下一级稀释模块稀释，此部分流量约为1l/min。
81.s2，将第一样气通入二级稀释模块17进行第二次稀释，打开二级稀释模块17的取样管的截止阀，进行取样，将第二次稀释后的第二样气一部分输送至分析仪，剩余部分输送至三级稀释模块23，以此类推。
82.本发明的预处理装置在使用前需要先对各级稀释模块进行稀释倍数的标定，并根据需要来调整稀释倍数。稀释模块的稀释倍数标定过程：
83.q1，关闭待测气控制阀2，打开标气控制阀8，接入第一标气，控制流量在1l/min左右。打开待测气放散管路4的放散阀5，一级稀释模块11正常工作。零气经过除尘过滤后通入一级稀释模块11，产生负压，吸入后与第一标气混合形成稀释后的第一混合气。测量第一混合气的浓度，与通入一级稀释模块11前的第一标气的浓度作对比，得出一级稀释模块11的稀释倍数k1。
84.q2，更换第二标气，一级稀释模块11正常工作，控制二级入口流量为1l/min左右，
打开一级放散管路15的放散阀5，二级稀释模块17正常工作。零气经过除尘过滤后通入二级稀释模块17，产生负压，与吸入后第二标气混合形成稀释后的第二混合气。测量第二混合气的浓度，与第二标气的浓度作对比，得出二级稀释模块17的稀释倍数k2。同样方法测量出三级稀释模块23稀释倍数k3至n级稀释模块稀释倍数kn。
85.本案所提及的稀释模块具体为气体稀释仪。
86.本发明采用多级恒流稀释取样方式后，既可降低烟气露点，减少伴热管线，适应不同浓度梯度，还能够极大减小样气对取样管线的腐蚀和堵塞；同时，后续样气常温输送，可降低设备复杂程度，提高装置运行安全性。
87.利用本发明的预处理装置进行稀释法取样，取样流量约为传统直接抽取方法的百分之一，可以避开相关可燃气体的爆炸极限，确保气体取样及监测过程安全可靠。
88.以下通过具体的实施例对本发明进行进一步阐述。
89.实施例1
90.如图1所示，一种气体多级恒流稀释预处理装置，包括依次通过管路连接的一级稀释模块11、二级稀释模块17和三级稀释模块23。每个稀释模块均设有进气口28、出气口29、零气端口30和负压监测口31，如图6所示，以二级稀释模块17为例，进气口28用于输入一级稀释模块输送来的待稀释气体，出气口29用于输出二级稀释模块17的稀释后的混合气体，零气端口30用于输入零气，负压监测口31用于连接负压表10。
91.每个稀释模块的出气口均连接有取样管，每个取样管均连接分析仪，分析仪用于对样气进行测量。零气气源通过零气管路分别连接于每个稀释模块的零气端口30，用于稀释待测气。一级稀释模块11、二级稀释模块17和三级稀释模块23的稀释倍数依次递增，且不同稀释模块的稀释倍数不属于同一数量级，即数量级依次递增。
92.一级稀释模块11连接待测气气源16和标气气源，一级稀释模块11的进气口28与一级稀释模块11之间连接过滤装置32，如图3～5所示，过滤装置32中滤芯的过滤精度为2μm。
93.一级稀释模块11的进气口28通过总管路分别连接待测气气管1和标气气管6，待测气气管1连接待测气气源16，待测气气管1上依次连接有针型阀、待测气控制阀2和待测气流量计3，针型阀设于靠近待测气气源16的位置。
94.标气气管6上连接有标气控制阀8和标气流量计7。总管路上通过四通卡套接头连接标气气管6和待测气放散管路4，待测气放散管路4上连接有放散阀5。标气流量计7设于靠近四通卡套接头的位置。
95.如图7所示，在每个稀释模块内，零气端口30与出气口29之间连接有文丘里管33，进气口28与文丘里管33的上游管路之间连接音速小孔34。图7的箭头表示气体的流向，烟气通过音速小孔34进入到文丘里管33的上游管路中，与零气汇合后稀释，稀释后的样气从文丘里管33的下游管路喷出。
96.一级稀释模块11的负压监测口31处连接有负压表10。一级稀释模块11和二级稀释模块17之间连接第一样气连接管12，第一样气连接管12上通过三通连接件连接有第一样气取样管13，用于将一级稀释模块11稀释的样气取样，第一样气取样管13连接分析仪。
97.第一样气连接管12上还通过另一个三通连接件连接有一级放散管路15，一级放散管路15上连接有放散阀5。第一样气连接管12上还连接有二级入口流量计14，二级入口流量计14设于第一样气取样管13和一级放散管路15之间。
98.二级稀释模块17的负压监测口31处连接有负压表10。二级稀释模块17和三级稀释模块23之间连接第二样气连接管18，第二样气连接管18上通过三通连接件连接有第二样气取样管19，用于将二级稀释模块17稀释的样气取样，第二样气取样管19连接分析仪。
99.第二样气连接管18上还通过另一个三通连接件连接有二级放散管路21，二级放散管路21上连接有放散阀5。第二样气连接管18上还连接有三级入口流量计20，三级入口流量计20设于第二样气取样管19和二级放散管路21之间。
100.三级稀释模块23的负压监测口31处连接有负压表10。三级稀释模块23的出气口连接有第三样气取样管25，用于将三级稀释模块23稀释的样气取样，第三样气取样管25连接分析仪。
101.零气管路包括零气总管路、第一零气管路、第二零气管路和第三零气管路，第一零气管路、第二零气管路和第三零气管路分别为零气总管路的三个支路，第一零气管路连接于总管路和一级稀释模块11之间，第二零气管路连接于总管路和二级稀释模块17之间，第三零气管路连接于总管路和三级稀释模块23之间，第一零气管路、第二零气管路和第三零气管路上分别连接有稳压阀9。零气总管路上设有控制零气通断的零气控制阀24。
102.其中，待测气流量计3、标气流量计7、二级入口流量计14和三级入口流量计20均为玻璃浮子流量计。待测气流量计3、标气流量计7、二级入口流量计14和三级入口流量计20均配备有相应的流量调节阀，可实现对流量的监测与调节。
103.待测气气管1上在待测气气源16的取样点与气体多级恒流稀释预处理装置之间的管路上设有伴热装置，具体为采用加热丝缠绕在管路外的方式对管路进行伴热。
104.各稀释模块设有蒸汽加热装置，可利用蒸汽对稀释模块加热，保证在运行过程中，不会因为低温凝结现象造成稀释模块堵塞。
105.待测气控制阀2、标气控制阀8、零气控制阀24均为手动球阀。
106.各主要零部件在预处理装置的机柜内的排布方式，如图2所示。三个稀释模块位于机柜内的最右侧，待测气流量计3、标气流量计7、二级入口流量计14和三级入口流量计20位于机柜内的下方。三个稀释模块的负压表10位于机柜内的上方。三个稳压阀9位于机柜的左上角。气源外接管路22连接于机柜的左侧，蒸汽外接管路26连接于机柜的右下方。结构布置紧凑合理。布置方式不限于图2所示，可根据实际情况进行设计。
107.利用上述的气体多级恒流稀释预处理装置进行的预处理方法，待测气为混合气体，气体成分包括co:1.80％，h2:53.61％，co2:43.82％，n2:0.24％，ch4:0.07％，h2s:0.21％，cos:0.003％，ar:0.10％，h2o:0.14％。待测气内同时含有3种待测的目标气体：ch4:0.07％，co:1.80％，co2:43.82％。三种待测的目标气体的浓度不属于同一数量级。
108.预处理方法包括如下步骤：
109.s1，根据待测气中不同数量级浓度的目标气体，结合三种目标气体的测量精度及量程需求，来设计每级稀释模块的稀释倍数。稀释倍数分别为：一级稀释模块11为25倍，用于稀释ch4；二级稀释模块17为625倍，用于稀释co；三级稀释模块23为15625倍，用于稀释co2，即每一级均相差25倍。
110.s2，待测气通过针型阀后输送至本发明的预处理装置中，再依次经过待测气控制阀2及待测气流量计3后进入四通卡套接头，然后进入一级稀释模块11进行第一次稀释。零气经过除尘过滤后通入一级稀释模块11，产生负压，与吸入后待测气混合形成稀释后的第
一样气。打开一级稀释模块11的取样管的截止阀，进行取样，第一样气一部分送入分析仪测量，得出ch4的在线监测的数据，剩余部分进入下一级稀释模块稀释，此部分流量约为1l/min。
111.需要说明的是，虽然第一样气中除了ch4也包括其他气体，但由于其他气体的浓度范围超出了分析仪所能够监测到的浓度范围，导致无法监测，而只能监测到ch4的浓度数据。
112.s3，将第一样气通入二级稀释模块17进行第二次稀释，打开二级稀释模块17的取样管的截止阀，进行取样，将第二次稀释后的第二样气一部分输送至分析仪，得出co的在线监测的数据，剩余部分输送至三级稀释模块23。
113.需要说明的是，虽然第二样气中除了co也包括其他气体，但由于其他气体的浓度范围超出了分析仪所能够监测到的浓度范围，导致无法监测，而只能监测到co的浓度数据。
114.s4，将第二样气通入三级稀释模块23进行第三次稀释，打开三级稀释模块23的取样管的截止阀，进行取样，将第三次稀释后的第三样气输送至分析仪，得出co2的在线监测的数据。
115.需要说明的是，虽然第三样气中除了co2也包括其他气体，但由于其他气体的浓度范围超出了分析仪所能够监测到的浓度范围，导致无法监测，而只能监测到co2的浓度数据。
116.经过测量后的样气可统一通入气体处理装置进行净化处理。
117.本发明的预处理装置在使用前需要先对各级稀释模块进行稀释倍数的标定，并根据需要来调整稀释倍数。稀释模块的稀释倍数标定过程为：
118.q1，关闭待测气控制阀2，打开标气控制阀8，接入第一标气，控制流量在1l/min左右。打开待测气放散管路4的放散阀5，一级稀释模块11正常工作。零气经过除尘过滤后通入一级稀释模块11，产生负压，吸入后与第一标气混合形成稀释后的第一混合气。测量第一混合气的浓度，与通入一级稀释模块11前的第一标气的浓度作对比，得出一级稀释模块11的稀释倍数k1。
119.q2，更换第二标气，一级稀释模块11正常工作，控制二级入口流量为1l/min左右，打开一级放散管路15的放散阀5，二级稀释模块17正常工作。零气经过除尘过滤后通入二级稀释模块17，产生负压，与吸入后第二标气混合形成稀释后的第二混合气。测量第二混合气的浓度，与第二标气的浓度作对比，得出二级稀释模块17的稀释倍数k2。
120.q3，更换第三标气，一级稀释模块11、二级稀释模块17正常工作，控制三级入口流量为1l/min左右，打开二级放散管路21的放散阀5，三级稀释模块23正常工作。零气经过除尘过滤后通入三级稀释模块23，产生负压，与吸入后第三标气混合形成稀释后的第三混合气。测量第三混合气的浓度，与第三标气的浓度作对比，得出二级稀释模块17的稀释倍数k3。
121.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
122.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
123.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
124.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
125.在本发明中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
126.尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。