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一种适用于吸料实验的极限拉晶工艺的制作方法

2022-11-23 10:41:00 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种适用于吸料实验的极限拉晶工艺,包括:拉制单晶过程中,当坩埚内部剩料小于预定值时,调整主加热器的加热功率,同时调整坩埚转速,控制单晶尾部的直径;当满足第一预设条件时,停止拉晶。2.根据权利要求1所述的一种适用于吸料实验的极限拉晶工艺,其特征在于:在调整加热功率前,还需判断此时所述坩埚内的剩料重量,根据不同的剩料重量来调整所述主加热器的加热功率以及坩埚转速。3.根据权利要求2所述的一种适用于吸料实验的极限拉晶工艺,其特征在于:所述预定值为60kg,当所述坩埚内的剩料小于60kg时,所述主加热器的加热功率增加0-10kw/h,所述坩埚转速降低为2-14rpm。4.根据权利要求3所述的一种适用于吸料实验的极限拉晶工艺,其特征在于:控制所述单晶尾部的直径在150-270mm之间。5.根据权利要求1-4任一所述的一种适用于吸料实验的极限拉晶工艺,其特征在于:所述第一预设条件为将导流筒从零位提升30mm后,能在观察窗中看到硅液与所述坩埚交界处;当能够观察到硅液与所述坩埚交界处时,停止拉晶,若未能观察到硅液与所述坩埚交界处,则继续拉晶。6.一种适用于吸料实验的极限拉晶工艺,包括:拉制单晶过程中,当坩埚内部剩料小于预定值时,调整主加热器的加热功率,同时调整坩埚转速,控制单晶尾部的直径;当满足第二预设条件时,停止拉晶。7.根据权利要求6所述的一种适用于吸料实验的极限拉晶工艺,其特征在于:在调整加热功率前,还需判断此时所述坩埚内的剩料重量,根据不同的剩料重量来调整所述主加热器的加热功率以及坩埚转速。8.根据权利要求7所述的一种适用于吸料实验的极限拉晶工艺,其特征在于:所述预定值为60kg,当所述坩埚内的剩料小于60kg时,所述主加热器的加热功率增加0-10kw/h,所述坩埚转速降低为2-12rpm。9.根据权利要求8所述的一种适用于吸料实验的极限拉晶工艺,其特征在于:控制所述单晶尾部的直径在270-350mm之间。10.根据权利要求6-9任一所述的一种适用于吸料实验的极限拉晶工艺,其特征在于:所述第二预设条件为在观察窗中能够看到硅液与所述坩埚交界处;当能够观察到硅液与所述坩埚交界处时,停止拉晶;若未能观察到硅液与所述坩埚交界处,则继续拉晶。

技术总结
本发明提供一种适用于吸料实验的极限拉晶工艺,包括:拉制单晶过程中,当坩埚内部剩料较少时,调整主加热器的加热功率,同时调整坩埚转速,控制单晶尾部的直径;当满足预设条件时,停止拉晶。本发明的有益效果是降低坩埚的转速以及对主加热器进行一定的温补,避免加热功率低和坩埚转速过快导致坩埚内的硅液结晶,针对不同的剩料重量来调整主加热器的加热功率以及坩埚的转速,能够更加准确的控制单晶的直径,使单位小时内重量变化较现有技术增加,拉到吸料要求剩料所需时间较现有技术减小,减少工时浪费,降低综合成本。降低综合成本。降低综合成本。


技术研发人员:项龙 赵子龙 刘振宇 吴树飞 王林 王建平
受保护的技术使用者:内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司
技术研发日:2021.05.21
技术公布日:2022/11/22
再多了解一些

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