一种新型微小质量检测的微悬臂梁装置

技术特征：
1.一种用于微小质量检测的微悬臂梁装置，其特征在于，包括悬臂梁装置（202）、悬臂梁固定基板（201）、电极板固定基板（301）、垫片（302)、电极距离调节用垫片（303）、电极板（306），悬臂梁装置（202）的固定端通过弹簧压片（203）固定在悬臂梁固定基板（201）上；电极板固定基板（301）上设有垫片（302)，垫片（302)上设有电极距离调节用垫片（303），电极板（306）置于电极距离调节用垫片（303）上，并用弹簧压片（304）固定在电极板固定基板（301）上；电极板（306）上溅射金属电极（305），并进行tsv贯穿通孔将金属电极引到电极板（306）的下表面，电极距离调节用垫片（303）为u形，不与电极板（306）上的金属电极相接触；将电极板（306）相对于电极板固定基板（301）、垫片（302)、电极距离调节用垫片（303）向外延伸一部分自由端，该自由端和悬臂梁装置（202）的微悬臂梁配合设置且置于微悬臂梁上方，一个电极从金属电极（305）引出，另一个在悬臂梁装置上加工电极引出，采用阻抗分析仪或微电容测试电路进行电容测量。2.根据权利要求1所述的一种用于微小质量检测的微悬臂梁装置，其特征在于，电极板固定基板（301）与悬臂梁固定基板（201）相同厚度。3.根据权利要求1所述的一种用于微小质量检测的微悬臂梁装置，其特征在于，电极距离调节用垫片（303）采用矽钢精密间隙垫片，厚度大于等于5um。4.根据权利要求1所述的一种用于微小质量检测的微悬臂梁装置，其特征在于，电极板（306）的材料为玻璃或单晶硅。5.根据权利要求1所述的一种用于微小质量检测的微悬臂梁装置，其特征在于，悬臂梁装置内部含有微通道，悬臂梁装置上的微悬臂梁是采用单晶硅材料加工形成，所述悬臂梁内部的微通道用于放置待检测的微小质量物体，采用son工艺加工制作而成；同时微通道的形状可以根据实际需求来改变。6.根据权利要求1所述的一种用于微小质量检测的微悬臂梁装置，其特征在于，当微悬臂梁末端放入待检测物体时，受力产生形变，金属电极（305）与悬臂梁装置上加工电极之间的距离发生变化，金属电极（305）与悬臂梁装置上加工电极的引线连接到微小电容检测电路（3），微小电容检测电路（3）检测电容变化；计算机系统是将微小电容检测电路的采集到的电容数据进行处理，把电容的变化与被检测物体质量对应起来，最终得出和显示被检测物体的质量。

技术总结
本发明公开了一种用于微小质量检测的微悬臂梁装置，包括悬臂梁装置、悬臂梁固定基板、电极板固定基板、垫片、电极距离调节用垫片、电极板，悬臂梁装置通过弹簧压片固定在悬臂梁固定基板上；电极板固定基板上设有垫片，垫片上设有电极距离调节用垫片，电极板置于电极距离调节用垫片上，并用弹簧压片固定在电极板固定基板上；本发明的一种微小质量检测的微悬臂梁装置，含有由单晶硅组成的微悬臂梁、电极板装置、含有微小电容检测电路。微小质量物体作用于悬臂梁内部的微通道，引起悬臂梁产生形变，通过检测悬臂梁和电极板之间的电容变化，从而计算出微小质量物体的质量。计算出微小质量物体的质量。计算出微小质量物体的质量。


技术研发人员：郝秀春 李鑫 张玉磊
受保护的技术使用者：江苏大学
技术研发日：2022.08.26
技术公布日：2022/11/18