感光性树脂、负型感光性树脂组合物、经图案化的固化膜的制造方法及含有羧基的树脂与流程

技术特征：
1.感光性树脂，其中，在具有下述式(a1)所示的结构单元的含有羧基的树脂中，在所述含有羧基的树脂所具有的羧基的至少一部分上加成或缩合有具有羧酸反应性基团的(甲基)丙烯酸酯化合物，[化学式1]式(a1)中，r
1a
及r
2a
各自独立地表示-r
4a
sr
5a
、-r
6a
c(＝o)r
7a
、碳原子数为1以上20以下且可包含杂原子的烷基、或碳原子数为6以上20以下且可包含杂原子的芳基，r
4a
表示单键、碳原子数1以上10以下的亚烷基、或碳原子数6以上15以下的亚芳基，r
5a
表示碳原子数1以上10以下的烷基、或碳原子数6以上15以下的芳基，r
6a
表示单键、碳原子数1以上10以下的亚烷基、或碳原子数6以上10以下的亚芳基，r
7a
表示碳原子数1以上10以下的烷基、碳原子数1以上10以下的链烯基、或碳原子数6以上15以下的芳基，r
3a
表示包含芳香族烃基的4价有机基团，键合于r
3a
的4个羰基均与作为r
3a
的所述有机基团中的芳香族烃环键合，a表示下述式(a2)所示的2价基团，j1及j2各自独立地表示1以上6以下的整数；[化学式2]式(a2)中，环z1及环z2各自独立地表示芳香族烃环，r
8a
及r
9a
各自独立地表示氢原子、羟基、巯基、氨基、硝基、卤素原子、氰基或烷基，r
10a
及r
11a
各自独立地表示氢原子、烷基或芳基，k1及k2各自独立地表示0以上4以下的整数，m1及m2各自独立地表示0以上3以下的整数。2.如权利要求1所述的感光性树脂，其中，所述r
3a
为下述式(a1a)所示的4价有机基团，＞ar
1a-x
1-ar
2a
＜
···
(a1a)式(a1a)中，
ar
1a
及ar
2a
各自独立地表示可被供电子性基团取代的芳香族烃基，x1表示不与ar
1a
及ar
2a
一起形成π共轭体系的2价连接基团。3.如权利要求2所述的感光性树脂，其中，所述r
3a
为下述式(i)或(ii)所示的4价基团，[化学式3]4.如权利要求1所述的感光性树脂，其中，所述羧酸反应性基团为缩水甘油基。5.如权利要求1～4中任一项所述的感光性树脂，其中，所述a表示下述式(a2-1)所示的2价基团，[化学式4]式(a2-1)中，r
8a
及r
9a
各自独立地表示氢原子、羟基、巯基、氨基、硝基、卤素原子、氰基或烷基，r
10a
及r
11a
各自独立地表示氢原子、烷基或芳基，k1及k2各自独立地表示0以上4以下的整数，m1及m2各自独立地表示0以上3以下的整数。6.负型感光性树脂组合物，其包含权利要求1～5中任一项所述的感光性树脂、和光聚合引发剂。7.如权利要求6所述的负型感光性树脂组合物，其还包含光聚合性化合物。8.经图案化的固化膜的制造方法，其包括下述工序：将权利要求6或7所述的负型感光性树脂组合物涂布于基板上从而形成涂布膜的工序；以位置选择性方式对所述涂布膜进行曝光的工序；以及对曝光后的所述涂布膜进行显影的工序。9.如权利要求8所述的经图案化的固化膜的制造方法，其中，在对所述涂布膜进行曝光的工序之后、且在进行所述显影的工序之前，包括对所述曝光后的所述涂布膜进行加热的工序。10.含有羧基的树脂，其具有下述式(a1-1)所示的结构单元，[化学式5]
式(a1-1)中，r
1a
及r
2a
各自独立地表示-r
4a
sr
5a
、-r
6a
c(＝o)r
7a
、碳原子数为1以上20以下且可包含杂原子的烷基、或碳原子数为6以上20以下且可包含杂原子的芳基，r
4a
表示单键、碳原子数1以上10以下的亚烷基、或碳原子数6以上15以下的亚芳基，r
5a
表示碳原子数1以上10以下的烷基、或碳原子数6以上15以下的芳基，r
6a
表示单键、碳原子数1以上10以下的亚烷基、或碳原子数6以上10以下的亚芳基，r
7a
表示碳原子数1以上10以下的烷基、碳原子数1以上10以下的链烯基、或碳原子数6以上15以下的芳基，r
31a
表示下述式(a1a)所示的4价基团，＞ar
1a-x
1-ar
2a
＜
···
(a1a)ar
1a
及ar
2a
各自独立地表示可被供电子性基团取代的芳香族烃基，x1表示不与ar
1a
及ar
2a
一起形成π共轭体系的2价连接基团，a表示下述式(a2)所示的2价基团，j1及j2各自独立地表示1以上6以下的整数；[化学式6]式(a2)中，环z1及环z2各自独立地表示芳香族烃环，r
8a
及r
9a
各自独立地表示氢原子、羟基、巯基、氨基、硝基、卤素原子、氰基或烷基，r
10a
及r
11a
各自独立地表示氢原子、烷基或芳基，k1及k2各自独立地表示0以上4以下的整数，m1及m2各自独立地表示0以上3以下的整数。

技术总结
本发明涉及感光性树脂、负型感光性树脂组合物、经图案化的固化膜的制造方法及含有羧基的树脂。本发明的课题在于提供可在能够形成具有高折射率及高透明性的固化膜的负型感光性树脂组合物中使用的感光性树脂、包含该感光性树脂的负型感光性树脂组合物、使用该负型感光性树脂组合物的经图案化的固化膜的制造方法、和可成为该感光性树脂的中间体的含有羧基的树脂。本发明的解决手段为制成下述感光性树脂，所述感光性树脂中，在具有特定结构的结构单元的含有羧基的树脂中，在含有羧基的树脂所具有的羧基的至少一部分上加成或缩合有具有羧酸反应性基团的(甲基)丙烯酸酯化合物。羧酸反应性基团的(甲基)丙烯酸酯化合物。


技术研发人员：菅原隆太郎 盐田大
受保护的技术使用者：东京应化工业株式会社
技术研发日：2022.05.09
技术公布日：2022/11/15