多层喷淋装置的制作方法

1.本发明涉及半导体湿制程设备技术领域，特别是一种多层喷淋装置。


背景技术：

2.在半导体湿制程中常常使用很多化学药品，而某些化学药品具有强腐蚀性与挥发性；在半导体湿制程设备中常常需要将工艺介质喷淋至基板，如何使喷淋装置既耐化学药品腐蚀又能具有很好的刚性以及安装便捷性，成为湿制程工艺设备的关键要素。
3.现有技术虽使用非金属且耐化学腐蚀管材用于承载化学药品，但是遇多种化学药品且单一装置供液时，仍存在多种非金属管材外漏且需要金属材质作为支撑载体；然而在半导体湿制程中某些化学药品具有强腐蚀性与强挥发性，容易将未有效防护的金属材质腐蚀或者在防护密封失效的情况下导致金属材质腐蚀情况的发生。因此在不宜存在金属材质的半导体湿制程工艺设备中，现有技术存在被化学药品腐蚀的风险。


技术实现要素：

4.本发明为了有效的解决上述背景技术中的问题，提出了一种多层喷淋装置。
5.具体技术方案如下：
6.一种多层喷淋装置，包括至少一层外层非金属管材、至少一层中间层金属管材和至少一层内层非金属管材，其中，外层非金属管材、中间层金属管材和内层非金属管材依次同心套装在一起。
7.优选地，所述中间层金属管材紧贴于所述外层非金属管材。
8.优选地，所述中间层金属管材与内层非金属管材之间留有间隙。
9.优选地，所述外层非金属管材和内层非金属管材的两端之间焊接有堵头。
10.优选地，所述堵头的前端插入到中间层金属管材与内层非金属管材之间的间隙中，堵头的后端与内层非金属管材和外层非金属管材焊接。
11.优选地，所述外层非金属管材上焊接有非金属焊接块。
12.与现有技术相比，本发明的有益效果是：本装置既耐化学药品腐蚀又能具有很好的刚性，通过最外层非金属管材实现耐化学药品腐蚀功能，通过中间层金属管材实现喷淋装置具有足够的刚性，通过最内层非金属管材实现化学药品的承载。
附图说明
13.图1是本发明的结构示意图；
14.图2是图1中a处的放大图；
15.图3是图1中b处的放大图。
具体实施方式
16.为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在
……
之上”、“在
……
上方”、“在
……
上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在
……
上方”可以包括“在
……
上方”和“在
……
下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位旋转90度或处于其他方位，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。
17.下面结合附图及较佳实施例详细说明本发明的具体实施方式。
18.如图1所示，本发明采用多层同心套装结构，以图示三层为例：一种多层喷淋装置，包括外层非金属管材1、一层中间层金属管材2和一层内层非金属管材3，通过最外层非金属管材实现耐化学药品腐蚀功能；通过中间层金属管材实现喷淋装置具有足够的刚性；通过最内层非金属管材实现化学药品的承载。可根据实际需要继续在三层基础之上增加金属管材或非金属管材层数用于不同功能的防护。本发明可通过改变非金属管材材质或非金属零部件焊接材质使其具备某种特定功能，例如：喷淋装置中非金属管材材质或非金属焊接零部件材质采用导电或防静电非金属材料可使喷淋装置具备导电或防静电功能；
19.如图2和图3所示，所述中间层金属管材紧贴于所述外层非金属管材，中间层金属管材与内层非金属管材之间留有间隙4。所述外层非金属管材和内层非金属管材的两端之间焊接有堵头5，焊接堵头且堵头带止口插入中层内壁因此造成间隙。所述堵头的前端插入到中间层金属管材与内层非金属管材之间的间隙中，堵头的后端与内层非金属管材和外层非金属管材焊接。
20.所述外层非金属管材上焊接有非金属焊接块6。用于整个喷淋装置的与其它装配安装使用。
21.以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。


技术特征：
1.一种多层喷淋装置，其特征在于：包括至少一层外层非金属管材、至少一层中间层金属管材和至少一层内层非金属管材，其中，外层非金属管材、中间层金属管材和内层非金属管材依次同心套装在一起。2.根据权利要求1所述的多层喷淋装置，其特征在于，所述中间层金属管材紧贴于所述外层非金属管材。3.根据权利要求1所述的多层喷淋装置，其特征在于，所述中间层金属管材与内层非金属管材之间留有间隙。4.根据权利要求3所述的多层喷淋装置，其特征在于，所述外层非金属管材和内层非金属管材的两端之间焊接有堵头。5.根据权利要求4所述的多层喷淋装置，其特征在于，所述堵头的前端插入到中间层金属管材与内层非金属管材之间的间隙中，堵头的后端与内层非金属管材和外层非金属管材焊接。6.根据权利要求1所述的多层喷淋装置，其特征在于，所述外层非金属管材上焊接有非金属焊接块。

技术总结
本发明涉及半导体湿制程设备技术领域，特别是一种多层喷淋装置，包括至少一层外层非金属管材、至少一层中间层金属管材和至少一层内层非金属管材，其中，外层非金属管材、中间层金属管材和内层非金属管材依次同心套装在一起。本装置既耐化学药品腐蚀又能具有很好的刚性，通过最外层非金属管材实现耐化学药品腐蚀功能，通过中间层金属管材实现喷淋装置具有足够的刚性，通过最内层非金属管材实现化学药品的承载。承载。承载。


技术研发人员：李足花 王淑梅 刘翠 蒋嘉
受保护的技术使用者：盛华基材（天津）科技有限公司
技术研发日：2022.09.02
技术公布日：2022/11/11