1.本实用新型属于废气处理技术领域，特别涉及废气缓冲装置及废气处理系统。
背景技术：
2.半导体废液经过处理后会产生的精馏废气，精馏废气一般经过深冷回收设施、废气处理设施处置达标后排放。精馏产生的废气浓度值是波动的，废气浓度的不稳定会对废气处理系统稳定运行产生影响，可能导致排气筒排气瞬间超标。因而深冷回收设施前需要加缓冲装置，混合收集到的不同浓度、风量的多股废气。普通缓冲罐只能起到混合各股废气作用，对废气浓度值的波动缓冲效果较小。
技术实现要素：
3.针对上述现有技术的不足，本实用新型提供了废气缓冲装置及废气处理系统，目的是为了解决现有精馏废气处理系统中，普通缓冲罐只能起到混合各股废气作用，对废气浓度值的波动缓冲效果较小的技术问题。
4.本实用新型提供的废气缓冲装置，具体技术方案如下：
5.废气缓冲装置，包括缓冲室，所述缓冲室的入口通过混合室连接有多个废气输入管道，所述缓冲室的出口连接有深度冷凝吸附器，所述缓冲室中填充有分子筛单元，所述分子筛单元包括多个呈阵列排布的分子筛块。
6.在某些实施方式中，所述分子筛单元的前端设有第一挡板，所述第一挡板与所述缓冲室内壁底部形成第一通气口，所述分子筛单元的后端设有第二挡板，所述第二挡板与所述缓冲室内壁顶部形成第二通气口。
7.在某些实施方式中，所述分子筛块为蜂窝状，所述分子筛的材料为改性无机二氧化硅。
8.本实用新型还提供了另一个技术方案，即废气处理系统，包括与上述方案中的废气缓冲装置相连接的废气处理装置，所述废气处理装置包括串联洗涤塔组、除雾调湿器和并联吸附箱组，所述串联洗涤塔组与所述深度冷凝吸附器连接，所述串联洗涤塔组与所述除雾调湿器连接，所述除雾调湿器还连接所述并联吸附箱组。
9.在某些实施方式中，所述并联吸附箱通过风机与烟囱相连。
10.在某些实施方式中，还包括气气换热器，所述气气换热器的换热介质为氮气，所述气气换热器将蒸汽经过换热处理通入所述并联吸附箱组，所述并联吸附箱组与所述混合室连通。
11.本实用新型具有以下有益效果：本实用新型提供的废气缓冲装置，半导体废液经过处理后的精馏废气通过废气输入管道经过混合室混合后进入缓冲室，经过分子筛单元的作用，降低废气浓度瞬间波动峰值，使缓冲罐出口废气浓度趋于稳定，有利于后段废气回收处理装置稳定运行。本实用新型提供的具有上述废气缓冲装置的废气处理系统，废气处理运行稳定，最终排气筒排放废气稳定达标的效果。
附图说明
12.图1是本实用新型实施例1中废气缓冲装置的结构示意图；
13.图2是本实用新型实施例2中废气处理系统的结构示意图。
具体实施方式
14.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。
15.实施例1
16.如图1所示，本实施例提供的废气缓冲装置，具体技术方案如下：
17.废气缓冲装置1，包括缓冲室13，缓冲室13的入口通过混合室12连接有多个废气输入管道11，缓冲室13的出口连接有深度冷凝吸附器14，缓冲室13中填充有分子筛单元131，分子筛单元131包括多个呈阵列排布的分子筛块。精馏废气通过废气输入管道11在混合是中进行混合，一并输入缓冲室13，废气经过分子筛单元131，吸收储存热能，降低温度，达到降低废气浓度瞬间波动峰值，使缓冲罐出口废气浓度趋于稳定。深度冷凝吸附器14用于预先冷凝回收精馏冷凝器不能冷凝下来的废气。分子筛单元131在吸附废气到一定容量程度后，会在气流动力作用下缓慢释放吸附的废气voc分子，达到吸附和释放的动态平衡。当进入的废气voc浓度过高时，由于特定的孔径分布范围，分子筛可以继续捕捉吸收废气voc，再缓慢释放，从而达到缓冲和降低废气浓度瞬间波动峰值的作用。
18.本实施例中，分子筛单元131的前端设有第一挡板132，第一挡板132与缓冲室13内壁底部形成第一通气口133，分子筛单元131的后端设有第二挡板134，第二挡板134与缓冲室13内壁顶部形成第二通气口135。第一通气口133和第二通气口135用于将废气引导均能流经分子筛单元131。
19.本实施例中，分子筛块为蜂窝状，分子筛的材料为改性无机二氧化硅。蜂窝状的分子筛块，气体阻力小，利于废气流动。改性无机二氧化硅，耐温高，不燃，安全性高，并起到阻火器的作用，无机硅材料化学性质稳定，使用寿命长。
20.对实施例中缓冲室13的进出口进行废气浓度测试，结果如表1所示。可见，本实施例提供的废气缓冲装置1有效减少废气浓度波动，使废气浓度平稳。
21.表1缓冲室13的进出口废气浓度
[0022] 废气最低浓度mg/m3废气最高浓度mg/m3缓冲室13进口1001400缓冲室13出口600900
[0023]
实施例2
[0024]
如图2所示，本实施例提供的废气处理系统，包括与实施例1中的废气缓冲装置1相连接的废气处理装置2，废气处理装置2包括串联洗涤塔组21、除雾调湿器22和并联吸附箱组23，串联洗涤塔组21与深度冷凝吸附器14连接，串联洗涤塔组21与除雾调湿器22连接，除雾调湿器22还连接并联吸附箱组23。串联洗涤塔组21用于对废气进行喷淋洗涤，将废气中的颗粒物进行沉降后，废气进入除雾调湿器22进行除水除湿，后通过并联吸附箱组23进行废气吸附处理，从而达到排放标准。本实施例中串联洗涤塔组21设为三级洗涤塔，并联吸附箱为两个吸附箱并联。
[0025]
在实施例中，并联吸附箱组23通过风机24与烟囱25相连。风机24为废气进入并联吸附箱提供动力，并把废气引入烟囱25进行排放。
[0026]
在实施例中，还包括气气换热器26，的换热介质为氮气，气气换热器26将蒸汽经过换热处理通入并联吸附箱组23，并联吸附箱组23与混合室12连通。气气换热器26是用来给并联吸附箱组23提供脱附用的热氮气，用蒸汽加热氮气，热量从蒸汽换热到氮气。
[0027]
综上所述，本实用新型提供的废气缓冲装置1，半导体废液经过处理后的精馏废气通过废气输入管道11经过混合室12混合后进入缓冲室13，经过分子筛单元131的作用，降低废气浓度瞬间波动峰值，使缓冲罐出口废气浓度趋于稳定，有利于后段废气回收处理装置稳定运行。本实用新型提供的具有上述废气缓冲装置1的废气处理系统，废气处理运行稳定，最终排气筒排放废气稳定达标的效果。
[0028]
上述仅本实用新型较佳可行实施例，并非是对本实用新型的限制，本实用新型也并不限于上述举例，本技术领域的技术人员，在本实用新型的实质范围内，所作出的变化、改型、添加或替换，也应属于本实用新型的保护范围。
技术特征：
1.废气缓冲装置，其特征在于，包括缓冲室，所述缓冲室的入口通过混合室连接有多个废气输入管道，所述缓冲室的出口连接有深度冷凝吸附器，所述缓冲室中填充有分子筛单元，所述分子筛单元包括多个呈阵列排布的分子筛块。2.根据权利要求1所述的废气缓冲装置，其特征在于，所述分子筛单元的前端设有第一挡板，所述第一挡板与所述缓冲室内壁底部形成第一通气口，所述分子筛单元的后端设有第二挡板，所述第二挡板与所述缓冲室内壁顶部形成第二通气口。3.根据权利要求1所述的废气缓冲装置，其特征在于，所述分子筛块为蜂窝状，所述分子筛的材料为改性无机二氧化硅。4.废气处理系统，其特征在于，包括与权利要求1-3任一项所述的废气缓冲装置相连接的废气处理装置，所述废气处理装置包括串联洗涤塔组、除雾调湿器和并联吸附箱组，所述串联洗涤塔组与所述深度冷凝吸附器连接，所述串联洗涤塔组与所述除雾调湿器连接，所述除雾调湿器还连接所述并联吸附箱组。5.根据权利要求4所述的废气处理系统，其特征在于，所述并联吸附箱通过风机与烟囱相连。6.根据权利要求4所述的废气处理系统，其特征在于，还包括气气换热器，所述气气换热器的换热介质为氮气，所述气气换热器将蒸汽经过换热处理通入所述并联吸附箱组，所述并联吸附箱组与所述混合室连通。
技术总结
本实用新型属于废气处理技术领域，特别涉及废气缓冲装置及废气处理系统。本实用新型提供的废气缓冲装置，半导体废液经过处理后的精馏废气通过废气输入管道经过混合室混合后进入缓冲室，经过分子筛单元的作用，降低废气浓度瞬间波动峰值，使缓冲罐出口废气浓度趋于稳定，有利于后段废气回收处理装置稳定运行。本实用新型提供的具有上述废气缓冲装置的废气处理系统，废气处理运行稳定，最终排气筒排放废气稳定达标的效果。废气稳定达标的效果。废气稳定达标的效果。
技术研发人员：浦泓 王毅
受保护的技术使用者：江苏三贵资源再生有限公司
技术研发日：2022.07.07
技术公布日：2022/11/10
再多了解一些
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