一种激光光束立体均匀度检测设备及其检测方法与流程

技术特征：
1.一种激光光束立体均匀度检测设备，其特征在于：包括激光器（1）、偏振片（2）、二分之一波片（3）、分束立方（4）、光束感应组件、探测器（7）和光学处理系统，光束依次通过偏振片（2）、二分之一波片（3）和分束立方（4），被分束立方（4）分成相互垂直的第一光束和第二光束，所述第一光束光斑照射到光束感应组件上，所述第二光束入射到探测器（7）检测端。2.根据权利要求1所述的一种激光光束立体均匀度检测设备，其特征在于：所述光束感应组件包括幕布（5）和光感应元件（6），所述幕布（5）以中点为圆心在不同圆周上设置有若干组光感应元件（6），且幕布（5）的中点设置有一组光感应元件（6）。3.根据权利要求1所述的一种激光光束立体均匀度检测设备，其特征在于：所述光束感应组件至少有一组，至少一组所述光束感应组件以中点为圆心同圆心间隔设置，所述光束感应组件包括十字架（8）和光感应元件（6），所述十字架（8）以中点为圆心在不同圆周上设置有若干组光感应元件（6），且十字架（8）的中点设置有一组光感应元件（6）。4.根据权利要求3所述的一种激光光束立体均匀度检测设备，其特征在于：至少一组光束感应组件相互偏转0-90
°
。5.根据权利要求1所述的一种激光光束立体均匀度检测设备，其特征在于：所述光学处理系统与光束感应组件通信连接，所述光学处理系统用于分析光束感应组件检测的数据，分析得到光束与靶面的垂直度，以及光斑的同心度，从而进行纠正，通过纠正后的数据点分析得到最精确的光束均匀性分布结果。6.根据权利要求1所述的一种激光光束立体均匀度检测方法，采用权利要求1-5任一项所述的激光光束立体均匀度检测设备，其特征在于：该方法包括：通过探测器（7）测量被分光后的光束参数，通过光感应元件（6）接收光斑点区域的光数据；将光束参数和光数据传输到光学处理系统中，通过光学处理系统对光数据进行分析和纠正，在分析和纠正时以光束参数作为参考数据，最终得到最精确的光束均匀性分布。7.根据权利要求6所述的一种激光光束立体均匀度检测方法，其特征在于：所述分束立方（4）分光后的第一光束和第二光束的能量比为1：1，且第一光束和第二光束的偏振方向相互垂直。8.根据权利要求6所述的一种激光光束立体均匀度检测方法，其特征在于：所述光束均匀性分布结果包括横向的光斑均匀度和纵向的光束发散角度。

技术总结
本发明提供一种激光光束立体均匀度检测设备，包括激光器、偏振片、二分之一波片、分束立方、光束感应组件、探测器和光学处理系统，光束依次通过偏振片、二分之一波片和分束立方，被分束立方分成相互垂直的第一光束和第二光束，所述第一光束光斑照射到光束感应组件上，所述第二光束入射到探测器检测端，本发明通过同圆心光束感应组件得到的立体光束数据点，纠正光束测试时的非垂直度和偏离圆心的误差，得到精密的光斑均匀度以及光束发散角度的数据，形成立体效果的检测结果。形成立体效果的检测结果。形成立体效果的检测结果。


技术研发人员：吴勇兵
受保护的技术使用者：东莞市蓝宇激光有限公司
技术研发日：2022.08.16
技术公布日：2022/11/11