一种偏心的直拉硅单晶炉及其拉晶工艺的制作方法

技术特征：
1.一种偏心的直拉硅单晶炉，其特征在于：包括炉体、坩埚、籽晶杆，坩埚安装在炉体内部，坩埚内部装有熔融硅液，坩埚偏离坩埚轴中心线自转转动；籽晶杆安装在炉体内部，籽晶杆沿着自身轴中心线自转转动，籽晶杆沿着自身轴向相对所述坩埚可升降。2.根据权利要求1所述的一种偏心的直拉硅单晶炉，其特征在于：坩埚转动的中心线与籽晶杆转动的中心线重合。3.根据权利要求1所述的一种偏心的直拉硅单晶炉，其特征在于：该直拉硅单晶炉还包括进气管和分流挡板，分流挡板为固定在罩体上的栅栏状环形板，进气管处于分流挡板上方。4.根据权利要求1所述的一种偏心的直拉硅单晶炉，其特征在于：坩埚安装在第一电机的输出轴上，并通过支撑架将坩埚底部稳定固定在第一电机的输出轴上，第一电机的输出轴中心线与坩埚轴中心线不重合。5.根据权利要求1所述的一种偏心的直拉硅单晶炉，其特征在于：该直拉硅单晶炉还包括罩体、升降装置，籽晶杆位于罩体内，籽晶杆通过连接绳连接升降装置。6.根据权利要求5所述的一种偏心的直拉硅单晶炉，其特征在于：升降装置包括螺柱、齿轮、第二电机，螺柱有多根并且都啮合在齿轮的周侧，多根螺柱在同一个水平面的投影处于一个圆上，多根螺柱中一根螺柱的上端安装在第三电机的输出轴上，其它螺柱的上端都直接固定在炉体内侧顶部，第三电机的底座固定在炉体内侧顶部，第三电机转动时，带动齿轮转动，齿轮在转动过程中上升或者下降，齿轮在上升或者下降过程中带动第三电机上升或者下降，第三电机的输出轴连接籽晶杆，从而实现籽晶杆沿着自身轴中心线自转转动，且可以实现沿着自身轴向相对所述坩埚上升或者下降。7.一种利用权利要求1偏心的直拉硅单晶炉进行拉晶的工艺，其特征在于：籽晶杆带着硅棒缓慢上升的同时，熔融硅液中的籽晶或硅片下部在结晶，籽晶杆每缓慢上升1-2厘米后，籽晶杆在1-2秒钟时间内下降2-3厘米，然后再在1-2秒钟时间内上升2-3厘米，然后再在1-2秒钟时间内缓慢上升1-2厘米进而使刚刚完成结晶的硅棒底部重结晶，减少原生缺陷。8.一根据权利要求7种偏心的直拉硅单晶炉进行拉晶的工艺，其特征在于：坩埚偏离坩埚轴中心线自转转动同时，熔融硅液中的籽晶或硅片下部在结晶，由于坩埚转动的中心线偏离坩埚轴中心线，进而使杂质处于距离坩埚转动的中心线最远的坩埚壁处，减少了熔融硅液中的籽晶或硅片下部对应位置的杂质。

技术总结
本发明涉及太阳能电池生产领域，一种偏心的直拉硅单晶炉，包括炉体、坩埚、籽晶杆，坩埚安装在炉体内部，坩埚内部装有熔融硅液，坩埚偏离坩埚轴中心线自转转动；籽晶杆安装在炉体内部，籽晶杆沿着自身轴中心线自转转动，籽晶杆沿着自身轴向相对所述坩埚可升降。本发明坩埚偏离坩埚轴中心线自转相当于增大了坩埚口径，因此对杂质的分离效果大于不偏心的坩埚。因此对杂质的分离效果大于不偏心的坩埚。因此对杂质的分离效果大于不偏心的坩埚。


技术研发人员：张波 赵彩霞 杨旭彪 杨飞飞 梁玲 吕涛
受保护的技术使用者：山西潞安太阳能科技有限责任公司
技术研发日：2022.08.02
技术公布日：2022/11/11