一种工装及物理气相沉积设备的制作方法

技术特征：
1.一种工装，其特征在于，包括：工装单元(1)，包括拨轮(11)和传动机构，所述拨轮(11)上设有多个安装件，所述传动机构与所述拨轮(11)转动连接，所述传动机构用于带动所述安装件自转；底盘(2)，所述底盘(2)上设有多个所述工装单元(1)，所述拨轮(11)与所述底盘(2)转动连接。2.根据权利要求1所述的工装，其特征在于，所述传动机构包括磁性件(13)，所述磁性件(13)设于所述拨轮(11)的中心处，所述安装件以所述拨轮(11)的中轴线为中心周向均匀的分布在所述磁性件(13)的外侧，所述安装件与所述磁性件(13)相邻的部分能够被所述磁性件(13)吸引。3.根据权利要求2所述的工装，其特征在于，所述拨轮(11)的上表面设有第二通孔(111)和第二安装孔(112)，所述第二通孔(111)设于所述拨轮(11)的中心处，所述第二安装孔(112)以所述拨轮(11)的中轴线为中心周向均匀的分布，所述安装件的下端伸入所述第二安装孔(112)内。4.根据权利要求3所述的工装，其特征在于，所述工装单元(1)还包括：轴座(15)，所述轴座(15)的下端与所述底盘(2)连接，所述轴座(15)的上端与所述第二通孔(111)转动连接，所述轴座(15)的上端设有用于安装所述磁性件(13)的第三安装孔(1511)。5.根据权利要求1所述的工装，其特征在于，所述拨轮(11)的外周面均匀分布多个轮齿。6.根据权利要求3所述的工装，其特征在于，所述第二安装孔(112)和所述第二通孔(111)连通。7.根据权利要求2-6任一项所述的工装，其特征在于，所述安装件包括多个装配芯杆(14)和套管(12)，所述套管(12)设于所述装配芯杆(14)的上方，所述装配芯杆(14)与所述套管(12)一一对应连接，所述装配芯杆(14)下端与所述拨轮(11)转动连接。8.根据权利要求7所述的工装，其特征在于，所述装配芯杆(14)包括由上至下依次连接的第一顶部(141)、第一中部(142)和第一底部(143)，所述第一中部(142)的直径大于所述第一顶部(141)和第一底部(143)的直径，所述第一顶部(141)与所述套管(12)的下端连接，所述第一中部(142)的上表面与所述套管(12)的下端面抵接，所述第一底部(143)与所述拨轮(11)转动连接，所述第一中部(142)的下表面与所述拨轮(11)的上表面抵接。9.根据权利要求7所述的工装，其特征在于，所述工装单元(1)还包括：支撑盘(16)，设于所述拨轮(11)的上方，所述支撑盘(16)上设有供所述套管(12)的上端穿出的第一通孔(161)；支撑杆(17)，所述支撑杆(17)的上端与所述支撑盘(16)连接，所述支撑杆(17)的下端与所述拨轮(11)连接。10.根据权利要求2-6任一项所述的工装，其特征在于，所述安装件包括多个安装芯杆(14’)，所述安装芯杆(14’)包括杆体和限位环(147)，所述限位环(147)套设于所述杆体，所述杆体的下端与所述拨轮(11)转动连接，所述限位环(147)的下表面与所述拨轮(11)的上表面抵接，所述杆体的上端用于套设待镀膜产品。11.根据权利要求10所述的工装，其特征在于，所述杆体包括第一杆体(144)、第二杆体
(145)和第三杆体(146)，所述第一杆体(144)的直径小于所述第三杆体(146)的直径，所述第二杆体(145)呈锥形，所述第一杆体(144)的下端与所述第二杆体(145)的小端连接，所述第二杆体(145)的大端与所述第三杆体(146)的上端连接，所述限位环(147)套设于所述第三杆体(146)。12.根据权利要求4所述的工装，其特征在于，所述底盘(2)包括：外环(21)，所述外环(21)周向方向上设有多个均匀分布的第一安装孔(211)，所述轴座(15)的下端与所述第一安装孔(211)连接；内环(22)，设于所述外环(21)的内侧，所述内环(22)上设有连接部；横梁(23)，所述横梁(23)的一端与所述内环(22)连接，所述横梁(23)的另一端与所述外环(21)连接。13.一种物理气相沉积设备，包括腔室和工装，所述工装设于所述腔室内，其特征在于，所述工装为权利要求1至12任意一项所述的工装。

技术总结
本发明公开了一种工装，包括工装单元和底盘，工装单元包括拨轮和传动机构，拨轮上设有多个安装件，传动机构与拨轮转动连接，传动机构用于带动安装件自转；底盘上设有多个工装单元。本发明中通过设置多个安装件，能够实现产品的安装，能够有效提高产品安装数量，提高单次镀膜产品数量，减小生产成本；通过设置传动机构，能够带动安装件自转，底盘安装到物理气相沉积设备后能够实现围绕物理气相沉积设备中心的公转、围绕工装中心的自转、围绕拨轮中心固定角度自转和安装件自转，能够使产品的涂层均匀性显著提升。层均匀性显著提升。层均匀性显著提升。


技术研发人员：江毅敏 叶成志 林瑞良 郑鹏 黄宁 王春祥 吴高潮 林亮亮 刘超 陈岱新
受保护的技术使用者：厦门钨业股份有限公司
技术研发日：2022.08.01
技术公布日：2022/11/11