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一种高温键合材料加工的烘干装置的制作方法

2022-11-12 18:10:36 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型涉及高温键合材料加工技术领域,具体为一种高温键合材料加工的烘干装置。


背景技术:

2.键合是将两片表面清洁、原子级平整的同质或异质半导体材料经表面清洗和活化处理,在一定条件下直接结合,通过范德华力、分子力甚至原子力使晶片键合成为一体的技术,键合材料在加工冷却后,表面会带有大量的冷却液,需要使用烘干装置对其进行烘干。
3.现有的高温键合材料加工的烘干装置,在对高温键合材料进行烘干时,使用多个热风出风口对高温键合材料进行烘干,这种烘干方式在对热风出风口进行检修时,需要花费较多的时间,不便于工作人员进行检修。
4.因此要对上述问题进行改进。


技术实现要素:

5.本实用新型的目的在于提供一种高温键合材料加工的烘干装置,以解决上述背景技术提出的现有的高温键合材料加工的烘干装置,在对高温键合材料进行烘干时,使用多个热风出风口对高温键合材料进行烘干,这种烘干方式在对热风出风口进行检修时,需要花费较多的时间,不便于工作人员进行检修的问题。
6.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种高温键合材料加工的烘干装置,包括:机体、管道、插杆和第三连接块,所述机体顶部安装有热风机,所述机体一侧设置有收卷辊;
7.所述管道一端与热风机相连接,所述管道另一端连接有出风口,所述出风口一侧连接有转轴,所述转轴一端与第一连接块活动连接
8.优选的,所述第一连接块顶部与机体相连接,所述机体内部固定连接有第二连接块,所述第二连接块内部连接有滚轮,所述滚轮一侧连接有连接杆。
9.优选的,所述机体内部通过连接板安装有电机,所述电机输出端连接有凸轮,所述连接杆内部连接有圆杆,所述圆杆一端与出风口相固定。
10.优选的,所述插杆外侧与机体贯穿连接,所述插杆外侧套接有第一弹簧,所述第一弹簧一端连接有顶块。
11.优选的,所述机体靠近顶块的一侧连接有卡杆,所述卡杆一侧连接有卡块。
12.优选的,所述卡块一侧固定连接有外壳,所述外壳顶部连接有海绵,所述卡块内部开设有与卡杆相匹配的卡槽,所述卡块外形为矩形。
13.优选的,所述第三连接块顶部与机体相连接,所述第三连接块内部连接有第二弹簧,所述第二弹簧一端连接有斜口块。
14.优选的,所述斜口块外侧固定连接有拨杆,所述斜口块顶部设置有凸块,所述凸块一侧固定连接有集液箱,所述集液箱顶部与机体相连接。
15.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该高温键合材料加工的烘干装置,当键合线进入机体内部时,启动热风机与电机的电源,热风机通过管道将热风传递到出风口,电机带动凸轮进行转动,凸轮转动时,推动其侧面的连接杆,连接杆带动出风口进行转动,电机与凸轮分布有两组,对连接杆进行往复推动,使出风口能够往复摆动,对键合线进行烘干,如此通过上述操作,可在使用烘干装置对高温键合材料进行烘干时,减少出风口的使用,节约了检修的时间。
16.1、该高温键合材料加工的烘干装置,当键合线进入机体内部时,启动热风机与电机的电源,热风机通过管道将热风传递到出风口,电机带动凸轮进行转动,凸轮转动时,推动其侧面的连接杆,连接杆带动出风口进行转动,电机与凸轮分布有两组,对连接杆进行往复推动,使出风口能够往复摆动,对键合线进行烘干,如此通过上述操作,可在使用烘干装置对高温键合材料进行烘干时,减少出风口的使用,节约了检修的时间;
17.2、该高温键合材料加工的烘干装置,使用时拉动插杆,插杆带动顶块进行移动,顶块对第一弹簧进行挤压收缩,使卡杆逐渐脱离与卡块的接触,此时可取出外壳,对其一侧的海绵进行更换,如此通过上述操作可使用海绵对键合线表面残留的少量水分进行吸收,便于拆卸的结构可方便将无法使用的海绵进行更换,提高烘干装置加工高温键合材料的效率;
18.3、该高温键合材料加工的烘干装置,使用时拉动拨杆,拨杆带动斜口块进行移动,斜口块移动挤压第二弹簧进行收缩,使斜口块脱离与凸块的接触,此时可取出集液箱,对集液箱内部的冷却液进行处理,如此通过上述操作,可使用集液箱对高温键合材料滴落到烘干装置内的冷却液进行收集,然后取出集液箱对冷却液进行处理。
附图说明
19.图1为本实用新型主视示意图;
20.图2为本实用新型后视示意图;
21.图3为本实用新型左视示意图;
22.图4为本实用新型俯视示意图;
23.图5为本实用新型外壳结构示意图;
24.图6为本实用新型a放大示意图。
25.图中:1、机体;2、热风机;3、收卷辊;4、管道;5、出风口;6、转轴;7、第一连接块;8、第二连接块;9、滚轮;10、连接杆;11、电机;12、凸轮;13、插杆;14、第一弹簧;15、顶块;16、卡杆;17、卡块;18、外壳;19、海绵;20、第三连接块;21、第二弹簧;22、拨杆;23、斜口块;24、凸块;25、集液箱;26、圆杆。
具体实施方式
26.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
27.请参阅图1-4,本实用新型提供一种技术方案:一种高温键合材料加工的烘干装
置,包括:机体1、管道4、插杆13和第三连接块20,机体1顶部安装有热风机2,机体1一侧设置有收卷辊3;
28.管道4一端与热风机2相连接,管道4另一端连接有出风口5,出风口5一侧连接有转轴6,转轴6一端与第一连接块7活动连接;第一连接块7顶部与机体1相连接,机体1内部固定连接有第二连接块8,第二连接块8内部连接有滚轮9,滚轮9一侧连接有连接杆10;机体1内部通过连接板安装有电机11,电机11输出端连接有凸轮12,连接杆10内部连接有圆杆26,圆杆26一端与出风口5相固定,出风口5、转轴6与第一连接块7构成转动结构,该高温键合材料加工的烘干装置,当键合线进入机体1内部时,启动热风机2与电机11的电源,热风机2通过管道4将热风传递到出风口5,电机11带动凸轮12进行转动,凸轮12转动时,推动其侧面的连接杆10,连接杆10带动出风口5进行转动,电机11与凸轮12分布有两组,对连接杆10进行往复推动,使出风口5能够往复摆动,对键合线进行烘干,如此通过上述操作,可在使用烘干装置对高温键合材料进行烘干时,减少出风口5的使用,节约了检修的时间。
29.插杆13外侧与机体1贯穿连接,插杆13外侧套接有第一弹簧14,第一弹簧14一端连接有顶块15;机体1靠近顶块15的一侧连接有卡杆16,卡杆16一侧连接有卡块17;卡块17一侧固定连接有外壳18,外壳18顶部连接有海绵19,卡块17内部开设有与卡杆16相匹配的卡槽,卡块17外形为矩形,机体1、第一弹簧14和顶块15构成弹性伸缩结构,卡杆16与卡块17构成卡合结构,该高温键合材料加工的烘干装置,使用时拉动插杆13,插杆13带动顶块15进行移动,顶块15对第一弹簧14进行挤压收缩,使卡杆16逐渐脱离与卡块17的接触,此时可取出外壳18,对其一侧的海绵19进行更换,如此通过上述操作可使用海绵19对键合线表面残留的少量水分进行吸收,便于拆卸的结构可方便将无法使用的海绵19进行更换,提高烘干装置加工高温键合材料的效率。
30.第三连接块20顶部与机体1相连接,第三连接块20内部连接有第二弹簧21,第二弹簧21一端连接有斜口块23;斜口块23外侧固定连接有拨杆22,斜口块23顶部设置有凸块24,凸块24一侧固定连接有集液箱25,集液箱25顶部与机体1相连接,第三连接块20、第二弹簧21和斜口块23构成弹性伸缩结构,斜口块23与凸块24构成卡合结构,该高温键合材料加工的烘干装置,使用时拉动拨杆22,拨杆22带动斜口块23进行移动,斜口块23移动挤压第二弹簧21进行收缩,使斜口块23脱离与凸块24的接触,此时可取出集液箱25,对集液箱25内部的冷却液进行处理,如此通过上述操作,可使用集液箱25对高温键合材料滴落到烘干装置内的冷却液进行收集,然后取出集液箱25对冷却液进行处理。
31.综上所述,在使用该高温键合材料加工的烘干装置时,当键合线进入机体1内部时,启动热风机2与电机11的电源,热风机2通过管道4将热风传递到出风口5,电机11带动凸轮12进行转动,凸轮12转动时,推动其侧面的连接杆10,连接杆10带动出风口5进行转动,电机11与凸轮12分布有两组,对连接杆10进行往复推动,使出风口5能够往复摆动,对键合线进行烘干,在键合材料的出口处,海绵19对键合材料表面残留的冷却液进行清理,然后通过收卷辊3对高温键合材料进行收卷,本说明中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。
32.尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应
包含在本实用新型的保护范围之内。
再多了解一些

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