一种高色散高衍射效率的折射反射混合型光栅的制作方法

技术特征：
1.一种高色散高衍射效率的折射反射混合型光栅，其特征在于：包括金属基底、填充介质和子光栅，所述的金属基底上周期性的开设有直角三角形沟槽，且其中一条直角边所在的平面位于金属基底的上表面，所述直角三角形沟槽内设有所述填充介质，所述填充介质的上表面周期性的设有所述子光栅，所述直角三角形沟槽的周期、直角三角形沟槽的斜面与光栅平面的夹角、填充介质的折射率和光栅工作波段的中心波长满足由反射定律、折射定律和光栅衍射方程得出的定量关系式。2.根据权利要求1所述的一种高色散高衍射效率的折射反射混合型光栅，其特征在于：所述直角三角形沟槽的周期满足：其中p表示直角三角形沟槽的周期，m表示衍射光的衍射级数，λ
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表示光栅工作波段的中心波长，n1表示填充介质的折射率，θ1表示直角三角形沟槽的斜面与光栅平面的夹角。3.根据权利要求2所述的一种高色散高衍射效率的折射反射混合型光栅，其特征在于：所述直角三角形沟槽的深度满足：h＝ptan(θ1)，其中h表示直角三角形沟槽的深度。4.根据权利要求2所述的一种高色散高衍射效率的折射反射混合型光栅，其特征在于：所述子光栅的周期和厚度均小于λ
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/2。5.根据权利要求1所述的一种高色散高衍射效率的折射反射混合型光栅，其特征在于：所述金属基底的材料包括银、金、铝或铜的任意一种。6.根据权利要求1所述的一种高色散高衍射效率的折射反射混合型光栅，其特征在于：所述填充介质的材料包括二氧化硅、氟化钙或三氧化二铝的任意一种。7.根据权利要求1所述的一种高色散高衍射效率的折射反射混合型光栅，其特征在于：所述子光栅的材料包括二氧化硅、氟化钙或三氧化二铝的任意一种。

技术总结
本发明公开了一种高色散高衍射效率的折射反射混合型光栅，包括带周期性直角三角形沟槽的金属基底、直角三角形沟槽的填充介质和设置于填充介质上表面的子光栅；直角三角形沟槽的周期、直角三角形沟槽的斜面与光栅平面的夹角、填充介质的折射率和光栅工作波段的中心波长满足由反射定律、折射定律和光栅衍射方程得出的定量关系式，本发明的折射反射混合型光栅可以在衍射角大于75度的条件下同时实现高于90％的衍射效率和高于2毫弧度/纳米的角色散本领。本领。本领。


技术研发人员：董建杰 匡翠方 刘文杰 沈小明 邱毅伟
受保护的技术使用者：之江实验室
技术研发日：2022.08.22
技术公布日：2022/10/27