光学装置、曝光装置、平板显示器的制造方法及器件制造方法与流程

技术特征：
1.一种光学装置，其特征在于，包括：多个激光光源；输出模块，具有光调变器；以及时间分割器，配置于所述多个激光光源与所述输出模块之间，在时间上分割自所述多个激光光源射出的激光。2.一种光学装置，其特征在于，包括：多个激光光源；多个输出模块，各自具有光调变器；以及时间分割器，配置于所述多个激光光源与所述多个输出模块之间，在时间上分割自所述多个激光光源射出的激光。3.一种光学装置，其特征在于，包括：多个激光光源；多个输出模块，各自具有光调变器；时间分割器，配置于所述多个激光光源与所述多个输出模块之间，在时间上分割自所述多个激光光源射出的激光；以及副分割器，配置于所述多个激光光源与所述时间分割器之间、或者所述时间分割器与所述多个输出模块之间。4.一种光学装置，其特征在于，包括：激光光源；输出模块；以及时间分割器，配置于所述激光光源与所述输出模块之间，在时间上分割自所述激光光源射出的激光，且所述时间分割器使用多个反射面来分割所述激光。5.一种光学装置，其特征在于，包括：激光光源；多个输出模块；以及时间分割器，配置于所述激光光源与所述多个输出模块之间，在时间上分割自所述激光光源射出的激光，且所述时间分割器使用多个反射面来分割所述激光。6.根据权利要求4或5所述的光学装置，包括多个所述激光光源。7.一种光学装置，其特征在于，包括：激光光源；输出模块，具有光调变器；以及声光元件，配置于所述光源与所述输出模块之间。8.一种光学装置，其特征在于，包括：激光光源；多个输出模块，各自具有光调变器；以及声光元件，配置于所述激光光源与所述输出模块之间。9.根据权利要求7或8所述的光学装置，包括多个所述激光光源。
10.一种光学装置，其特征在于，包括：激光光源，射出脉冲光；输出模块，具有光调变器；时间分割器，配置于所述激光光源与所述输出模块之间，在时间上分割所述脉冲光；以及控制器，基于所述脉冲光的频率来控制所述时间分割器对所述脉冲光的分割。11.一种光学装置，其特征在于，包括：激光光源，射出脉冲光；多个输出模块，各自具有光调变器；时间分割器，配置于所述激光光源与所述多个输出模块之间，在时间上分割所述脉冲光；以及控制器，基于所述脉冲光的频率来控制所述时间分割器对所述脉冲光的分割。12.根据权利要求10或11所述的光学装置，包括多个所述激光光源。13.一种曝光装置，其特征在于，包括：根据权利要求1至12中任一项所述的光学装置；以及基板支撑部，支撑利用由所述光调变器引导的光进行曝光的基板。14.一种曝光装置，在基板上曝光规定图案，其特征在于，包括：光源；空间光调变器，基于记述所述规定图案的图案数据对来自所述光源的所述光进行空间调变；投影光学系，将进行了所述空间调变的所述光的投影像投影至所述基板；以及光路切换机，切换自所述光源依次振荡出的光的光路，依序引导至设置有多个的所述空间调变器，且所述光路切换机包括第1切换机及第2切换机，所述第1切换机将所述光路切换至第一光路与第二光路中的任一者，所述第2切换机将引导至所述第一光路的所述光切换至多个空间光调变器中第一群组的空间光调变器、将引导至所述第二光路的所述光切换至多个空间光调变器中第二群组的空间调变器地分别引导所述光。15.根据权利要求14所述的曝光装置，其中所述第1切换机包括：第一区域，将自所述光源在第一期间内振荡出的所述光引导至所述第一光路；以及第二区域，将自所述光源在与所述第一期间不同的第二期间内振荡出的所述光引导至所述第二光路。16.根据权利要求15所述的曝光装置，其中所述第一区域反射所述光，所述第二区域透过所述光。17.根据权利要求15所述的曝光装置，其中所述第一区域相对于所述光倾斜第一角度地设置，反射所述光并将所述光引导至所述第一光路，所述第二区域相对于所述光倾斜与所述第一角度不同的第二角度地设置，反射所述光并将所述光引导至所述第二光路。18.根据权利要求14至17中任一项所述的曝光装置，其中所述第2切换机具有第一反射面及第二反射面，所述第一反射面使所述光向所述第一群组的空间光调变器反射，所述第二反射面使所述光向所述第二群组的空间光调变器反射引导。
19.根据权利要求14至17中任一项所述的曝光装置，其中所述第2切换机具有第一切换机及第二切换机，所述第一切换机将所述光引导至所述第一群组的空间光调变器，所述第二切换机将所述光引导至所述第二群组的空间光调变器。20.根据权利要求14至19中任一项所述的曝光装置，包括数据发送部，向所述空间光调变器发送所述图案数据，且所述空间光调变器具有在与曝光中所述基板移动的第一方向交叉的第二方向上排列设置有多个的第一空间光调变器及第二空间光调变器，所述数据发送部将所述图案数据分割成向所述第一空间光调变器发送的第一图案数据及向所述第二空间光调变器发送的第二图案数据，并使所述第一图案数据与所述第二图案数据的有关于所述第一方向的位置相对地位移。21.根据权利要求14至19中任一项所述的曝光装置，包括数据发送部，向所述空间光调变器发送所述图案数据，且所述空间光调变器具有第一空间光调变器及第二空间光调变器，所述数据发送部将所述图案数据分割成向所述第一空间光调变器发送的第一图案数据及向所述第二空间光调变器发送的第二图案数据，并使所述第一图案数据与所述第二图案数据的位置相对地位移。22.根据权利要求14至21中任一项所述的曝光装置，其中所述第2切换机为多边形镜。23.一种曝光装置，其特征在于，对于向第一方向移动中的基板，经由在与所述第一方向交叉的第二方向上排列配置的第一空间光调变器及所述第二光调变器曝光规定图案，所述曝光装置包括：光源；数据发送部，将基于所述规定图案记述的图案数据发送至所述第一空间光调变器及所述第二空间光调变器；第一投影光学系，将基于第一图案数据，由所述第一空间调变器对来自所述光源的所述光进行了空间调变的所述光的投影像投影至所述基板，所述第一图案数据是所述图案数据的一部分且由所述发送部发送；第二空间光调变器，来自所述光源的所述光基于第二图案数据进行空间调变，所述第二图案数据是所述图案数据的另一部分且由所述发送部发送；第二投影光学系，将进行了所述第二空间调变的所述光的投影像投影至所述基板；以及光路切换机，切换自所述光源依次振荡出的光的光路，并按照所述第一空间调变器、所述第二空间调变器的顺序进行引导，且所述数据发送部将所述图案数据分割成所述第一图案数据及所述第二空间数据，使所述第一图案数据与所述第二图案数据的有关于所述第一方向的位置相对地位移。24.根据权利要求14至23中任一项所述的曝光装置，包括振荡器，所述振荡器发出使所述光源、所述空间光调变器、及所述光路切换机中的至少两个同步的主时钟。25.根据权利要求14至24中任一项所述的曝光装置，还包括合成器，所述合成器对自多个所述光源分别发出的所述光进行合成，且所述光路切换机切换由所述合成器合成的所述光的所述光路。
26.一种平板显示器的制造方法，其特征在于，包括：使用根据权利要求13至25中任一项所述的曝光装置对所述基板进行曝光；以及对经曝光的所述基板进行显影。27.一种器件制造方法，其特征在于，包括：使用根据权利要求13至25中任一项所述的曝光装置对所述基板进行曝光；以及对经曝光的所述基板进行显影。

技术总结
本发明的光学装置包括：多个激光光源(20)；具有光调变器的输出模块(30)；以及配置于所述多个激光光源与所述输出模块之间，在时间上分割自所述多个激光光源射出的激光的时间分割器(50)。间分割器(50)。间分割器(50)。


技术研发人员：水野恭志 加藤正纪
受保护的技术使用者：株式会社尼康
技术研发日：2021.01.08
技术公布日：2022/9/7