一种烘干槽装置以及硅片清洗系统的制作方法

1.本技术涉及太阳能光伏器件制造领域，具体而言，涉及一种烘干槽装置以及硅片清洗系统。


背景技术：

2.现有技术中，硅片清洗系统中的烘干槽在使用以后，需要对其进行清洗，但是，现有的清洗方式存在清洗不彻底的问题，容易对后续进行烘干的硅片造成污染，从而降低硅片良率。


技术实现要素：

3.本技术的目的在于提供一种烘干槽装置以及硅片清洗系统，能够改善烘干槽清洗不彻底的问题，从而保证硅片良率。
4.本技术的实施例是这样实现的：
5.第一方面，本技术实施例提供一种烘干槽装置，包括烘干槽、保护件以及冲水管道；烘干槽的槽内设有风机、热风通道以及排水通道；保护件与烘干槽连接，保护件能够遮盖或漏出风机，且保护件能够打开或封闭热风通道的出风口；冲水管道用于对烘干槽进行冲洗。
6.上述技术方案中，配置保护件与烘干槽连接，并且保护件能够遮盖或漏出风机并能够打开或封闭热风通道的出风口，使得便于通过配置冲水管道的方式对烘干槽进行清洗。冲水管道在对烘干槽的槽壁以及角落进行全方位冲洗时，保护件能够对风机以及热风通道中的电路进行保护，从而实现对烘干槽安全、高效的清洗。
7.在一些可选的实施方案中，保护件包括第一保护件和第二保护件，第一保护件与烘干槽连接，用于遮盖或漏出风机；第二保护件与烘干槽连接，用于打开或封闭热风通道的出风口。
8.上述技术方案中，保护件设置为第一保护件和第二保护件，分别通过第一保护件和第二保护件对风机和热风通道进行保护，该保护方式便于对风机和热风通道进行单独控制，使得对保护件的控制操作具有较好的便利性。
9.在一些可选的实施方案中，第一保护件为保护罩，和/或第二保护件为保护板。
10.上述技术方案中，第一保护件设置为保护罩，第二保护件设置为保护板，这种针对风机和热风通道的出风口外形不同进行设置的形式，使得在通过冲水管道对烘干槽进行冲洗时，保护件对风机和热风通道中的电路具有更好的保护效果。
11.在一些可选的实施方案中，第一保护件和第二保护件分别通过紧固件与烘干槽可拆卸连接。
12.上述技术方案中，第一保护件和第二保护件分别通过紧固件与烘干槽可拆卸连接，这种连接形式便于进行保护件的拆装。
13.在一些可选的实施方案中，排水通道设置有控制阀，控制阀用于控制排水通道的
开闭。
14.上述技术方案中，排水通道设置有控制阀，使得烘干槽打开风机和热风通道对硅片进行烘干操作时，能够保证烘干槽有较好的气密性，进而保证烘干效果。
15.在一些可选的实施方案中，排水通道的入口处设置有滤网。
16.上述技术方案中，在排水通道的入口处设置有滤网，滤网能够防止硅片和硅渣进入排水通道，避免造成排水通道的阻塞。
17.在一些可选的实施方案中，烘干槽设置有两组热风通道，两组热风通道的出风口分布在烘干槽相对的两个侧壁并相对设置。
18.上述技术方案中，烘干槽设置两组热风通道，用于提供充足的热量，从而保证烘干效果；此外，两组热风通道的出风口分布在烘干槽相对的两个侧壁并相对设置，该设置形式便于进行两组热风通道的布局。
19.在一些可选的实施方案中，两组热风通道的出风口的相对设置方向为第一方向，烘干槽的底部设置有两组风机，两组风机沿第一方向并排分布。
20.上述技术方案中，烘干槽设置两组风机，便于将热风通道提供的热量较好地扩散到整个烘干槽，从而保证烘干效果；两组风机沿第一方向并排分布，该设置形式便于进行两组风机的布局。
21.在一些可选的实施方案中，热风通道的出风口的相对设置方向为第一方向，烘干槽设置有两组排水通道，在第一方向上，两组排水通道的入口位于烘干槽底部的两端。
22.上述技术方案中，烘干槽设置两组排水通道，在冲水管道在对烘干槽进行冲洗时，便于将水快速地排除烘干槽；在第一方向上，两组排水通道的入口位于烘干槽底部的两端，该设置形式便于进行两组排水通道的布局。
23.第二方面，本技术实施例提供一种硅片清洗系统，包括第一方面实施例提供的烘干槽装置。
24.上述技术方案中，包含该烘干槽装置的硅片清洗系统，能够在硅片烘干阶段，保证硅片的洁净度，从而保证硅片在整个清洗阶段的良率。
附图说明
25.为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
26.图1为本技术实施例提供的一种烘干槽装置的俯视图；
27.图2为本技术实施例提供的一种烘干槽装置的主视图视角下的剖视图。
28.图标：10-烘干槽装置；100-烘干槽；110-风机；120-热风通道；130-排水通道；131-控制阀；132-滤网；200-保护件；210-第一保护件；220-第二保护件；300-冲水管道；
29.a-第一方向。
具体实施方式
30.为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例
中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
31.因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
32.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
33.在本技术的描述中，需要说明的是，术语“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
34.在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
35.现有技术中，硅片清洗系统中的烘干槽在使用以后，槽内容易附着灰尘、硅粉等细小颗粒，特别是烘干槽的角落，故需要对其进行清洗。但是，由于烘干槽内安装有各个功能件，使得烘干槽内存在许多异形结构区域，导致使用吸尘器对烘干槽进行清理时，存在很多清理死角，从而影响清理效果，导致容易在进行后续烘干的硅片表面形成点状脏污，从而对清洗干净的硅片造成二次污染，导致硅片良率降低。
36.发明人研究发现，通过对烘干槽内存在的电路结构进行保护，可以实现烘干槽的水洗功能，从而改善烘干槽清洗不干净的问题，进而保证硅片良率。
37.第一方面，参阅图1～图2，本技术实施例提供一种烘干槽装置10，包括烘干槽100、保护件200以及冲水管道300；烘干槽100的槽内设有风机110、热风通道120以及排水通道130；保护件200与烘干槽100连接，保护件200能够遮盖或漏出风机110，且保护件200能够打开或封闭热风通道120的出风口；冲水管道300用于对烘干槽100进行冲洗。
38.本技术中，配置保护件200与烘干槽100连接，并且保护件200能够遮盖或漏出风机110并能够打开或封闭热风通道120的出风口，使得便于通过配置冲水管道300的方式对烘干槽100进行清洗。冲水管道300在对烘干槽100的槽壁以及角落进行全方位冲洗时，保护件200能够对风机110以及热风通道120中的电路进行保护，从而实现对烘干槽100安全、高效的清洗。
39.需要进行说明的是，在通过冲水管道300对烘干槽100进行清洗时，保护件200在遮盖风机110的同时封闭热风通道120的出风口；在使用烘干槽100对硅片进行烘干时，保护件200在漏出风机110的同时打开热风通道120的出风口。
40.需要注意的是，考虑到保护件200的强度以及使用寿命，可以对保护件200的材质进行调整。
41.作为一种示例，保护件200为不锈钢材质的保护件200。
42.需要注意的是，为了提高清洗效果，可以对冲水管道300的结构进行调整。
43.作为一种示例，冲水管道300的出水口设置有高压水枪。
44.该实施方式中，冲水管道300增设高压水枪，使得用于清洗的水流具有较大的压强，从而提高对烘干槽100的清洗效果。
45.作为一种示例，保护件200包括第一保护件210和第二保护件220，第一保护件210与烘干槽100连接，用于遮盖或漏出风机110；第二保护件220与烘干槽100连接，用于打开或封闭热风通道120的出风口。
46.该实施方式中，保护件200设置为第一保护件210和第二保护件220，分别通过第一保护件210和第二保护件220对风机110和热风通道120进行保护，该保护方式便于对风机110和热风通道120进行单独控制，使得对保护件200的控制操作具有较好的便利性。
47.作为一种示例，第一保护件210为保护罩，和/或第二保护件220为保护板。
48.该实施方式中，第一保护件210设置为保护罩，第二保护件220设置为保护板，这种针对风机110和热风通道120的出风口外形不同进行设置的形式，使得在通过冲水管道300对烘干槽100进行冲洗时，保护件200对风机110和热风通道120中的电路具有更好的保护效果。
49.需要注意的是，在垂直于风机110的高度方向上，第一保护件210的截面形状不做具体限定，截面形状可以为正方形、长方形和圆形中的任一种。
50.作为一种示例，在垂直于风机110的高度方向上，第一保护件210的截面形状为圆形。
51.该实施方式中，将第一保护件210的截面形状设置为圆形，使得第一保护件210与风机110的外形契合度更高，一方面能够提高对风机110的保护效果，另一方面能够避免二者外形不匹配造成的资源浪费。
52.作为一种示例，第一保护件210的直径为220～280mm，例如但不限于直径为220mm、230mm、240mm、250mm、260mm、270mm和280mm中的任意一者点值或任意二者之间的范围值。
53.需要注意的是，在垂直于热风通道120的出风口的轴向方向上，第二保护件220的截面形状不做具体限定，截面形状可以为正方形、长方形和圆形中的任一种。
54.作为一种示例，在垂直于热风通道120的出风口的轴向方向上，第二保护件220的截面形状为长方形。
55.该实施方式中，将第二保护件220的截面形状设置为圆形，使得第二保护件220与热风通道120的出风口的外形契合度更高，一方面能够提高对热风通道120的保护效果，另一方面能够避免二者外形不匹配造成的资源浪费。
56.作为一种示例，第二保护件220的长度尺寸为720～780mm，例如但不限于直径为720mm、730mm、740mm、750mm、760mm、770mm和780mm中的任意一者点值或任意二者之间的范围值；第二保护件220的宽度尺寸为120～180mm，例如但不限于直径为120mm、130mm、140mm、150mm、160mm、170mm和180mm中的任意一者点值或任意二者之间的范围值。
57.作为一种示例，第一保护件210和第二保护件220分别通过紧固件与烘干槽100可拆卸连接。
58.该实施方式中，第一保护件210和第二保护件220分别通过紧固件(图中未示出)与
烘干槽100可拆卸连接，使得在进行硅片烘干以及烘干槽100清洗的两个过程中，便于进行第一保护件210和第二保护件220的拆装。
59.需要注意的是，紧固件的具体形式不做限定。
60.作为一种示例，紧固件为螺栓。
61.在其他可能的实施方式中，第一保护件210和第二保护件220还可分别设置为带有阀门的形式，即在进行硅片烘干时，打开第一保护件210和第二保护件220的阀门，在进行烘干槽100的清洗时，关闭第一保护件210和第二保护件220的阀门。
62.需要注意的是，当第一保护件210和第二保护件220分别设置为带有阀门的形式时，第一保护件210和第二保护件220与烘干槽100的连接形式不做具体限定，可以设置为固定连接的形式，也可设置为可拆卸连接的形式。
63.作为一种示例，排水通道130设置有控制阀131，控制阀131用于控制排水通道130的开闭。
64.该实施方式中，排水通道130设置有控制阀131，使得烘干槽100打开风机110和热风通道120对硅片进行烘干操作时，能够保证烘干槽100有较好的气密性，进而保证烘干效果。
65.作为一种示例，排水通道130的入口处设置有滤网132。
66.上述技术方案中，在排水通道130的入口处设置有滤网132，滤网132能够防止硅片和硅渣进入排水通道130，避免造成排水通道130的阻塞。
67.需要注意的是，考虑到滤网132的强度以及使用寿命，可以对滤网132的材质进行调整。
68.作为一种示例，滤网132为不锈钢材质的滤网132。
69.需要注意的是，热风通道120的具体数量不做限定，并且其出风口的设置位置也不做具体限定，可以理解的是，只要能够提供足够的热量用于硅片烘干即可。
70.作为一种示例，烘干槽100设置有两组热风通道120，两组热风通道120的出风口分布在烘干槽100相对的两个侧壁并相对设置。
71.该实施方式中，烘干槽100设置两组热风通道120，用于提供充足的热量，从而保证烘干效果；此外，两组热风通道120的出风口分布在烘干槽100相对的两个侧壁并相对设置，该设置形式便于进行两组热风通道120的布局。
72.需要注意的是，烘干槽100的立体构型不做具体限定。
73.作为一种示例，烘干槽100的立体构型为长方体。
74.在此基础上，考虑到烘干效果，可以对两组热风通道120的出风口的相对设置方向进行限定。
75.作为一种示例，两组热风通道120的出风口的相对设置方向为烘干槽100的长度方向。
76.需要注意的是，风机110的具体数量不做限定，并且风机110的设置位置也不做具体限定，可以理解的是，只要能够将热风通道120提供的热量较好地扩散到整个烘干槽100即可。
77.作为一种示例，两组热风通道120的出风口的相对设置方向为第一方向a，烘干槽100的底部设置有两组风机110，两组风机110沿第一方向a并排分布。
78.该实施方式中，烘干槽100设置两组风机110，便于将热风通道120提供的热量较好地扩散到整个烘干槽100，从而保证烘干效果；两组风机110沿第一方向a并排分布，该设置形式便于进行两组风机110的布局。
79.需要注意的是，排水通道130的具体数量不做限定，并且排水通道130的设置位置也不做具体限定，可以理解的是，只要能够将烘干槽100的清洗用水尽快地排除槽内即可。
80.作为一种示例，热风通道120的出风口的相对设置方向为第一方向a，烘干槽100设置有两组排水通道130，在第一方向a上，两组排水通道130的入口位于烘干槽100底部的两端。
81.该实施方式中，烘干槽100设置两组排水通道130，在冲水管道300在对烘干槽100进行冲洗时，便于将水快速地排除烘干槽100；在第一方向a上，两组排水通道130的入口位于烘干槽100底部的两端，该设置形式便于进行两组排水通道130的布局。
82.第二方面，本技术实施例提供一种硅片清洗系统，包括第一方面实施例提供的烘干槽装置10。
83.作为一种示例，硅片清洗系统包括硅片清洗装置和烘干槽装置10，烘干槽装置10位于硅片清洗装置下游。
84.本技术中，包含该烘干槽装置10的硅片清洗系统，能够在硅片烘干阶段，保证硅片的洁净度，从而保证硅片在整个清洗阶段的良率。
85.以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，对于本领域的技术人员来说，本技术可以有各种更改和变化。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。