一种光学部件的测量方法、系统、装置及设备

技术特征：
1.一种光学部件的测量方法，其特征在于，包括：向所述光学部件输入模拟正弦信号；获取所述光学部件在所述模拟正弦信号作用下的频率与阻抗的关系；基于所述频率与阻抗的关系，确定所述光学部件的谐振频率及所述光学部件等效电路的电学参数；基于所述电学参数，确定所述光学部件的品质因子。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取所述光学部件在所述模拟正弦信号作用下的频率与阻抗的关系，包括：获取所述光学部件在所述模拟正弦信号作用下的频率与电流的关系；基于所述光学部件在所述模拟正弦信号作用下的频率与电流的关系，确定所述频率与阻抗的关系。3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述频率与阻抗的关系，确定所述光学部件的谐振频率及所述光学部件等效电路的电学参数，包括：基于所述频率与阻抗的关系，得出频率-阻抗特性曲线图；基于所述频率-阻抗特性曲线图，确定所述光学部件的谐振频率。4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述频率与阻抗的关系，确定所述光学部件的谐振频率及所述光学部件等效电路的电学参数，包括：将所述频率与阻抗的关系导入仿真模型，确定所述光学部件等效电路的电学参数。5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述电学参数，确定所述光学部件的品质因子，包括：基于如下公式确定所述光学部件的品质因子；其中，q为所述光学部件的品质因子，l为所述等效电路的等效电感，c为所述等效电路的等效电容，r为所述等效电路的等效电阻。6.一种光学部件的测量系统，其特征在于，包括：测试设备及光学部件，所述测试设备与所述光学部件的两端连接；其中，所述测试设备，用于向所述光学部件输入模拟正弦信号；获取所述光学部件在所述模拟正弦信号作用下的频率与阻抗的关系；基于所述频率与阻抗的关系，确定所述光学部件的谐振频率及所述光学部件等效电路的电学参数；基于所述电学参数，确定所述光学部件的品质因子。7.如权利要求6所述的系统，其特征在于，所述测试设备，包括：人机交互模块，用于设置所述测试设备的扫频范围、频率步进及有效电压值；显示模块，用于显示所述模拟正弦信号作用下的频率与阻抗的关系；频率合成模块，用于合成和输出所述模拟正弦信号；处理模块，用于基于所述频率与阻抗的关系，确定所述光学部件的谐振频率及所述光学部件等效电路的电学参数；基于所述电学参数，确定所述光学部件的品质因子；其中，所述人机交互模块、所述显示模块、所述频率合成模块及所述处理模块之间通过
总线连接，以实现信息交流。8.如权利要求7所述的系统，其特征在于，所述频率合成模块，包括：直接数字式频率合成器和数模转换器；其中，所述直接数字式频率合成器用于产生数字正弦信号，所述数模转换器用于将所述数字正弦信号转换为模拟正弦信号；基于如下公式确定所述直接数字式频率合成器合成的数字正弦信号的频率及所述频率的分辨率；率的分辨率；其中，fout为所述数字正弦信号的频率，f为所述分辨率，fclk为所述现场可编程逻辑门阵列器件的时钟频率，n为所述直接数字式频率合成器中相位累加寄存器的位数，m为所述直接数字式频率合成器的相位控制字。9.一种光学部件的测量装置，其特征在于，包括：输入单元，用于向所述光学部件输入模拟正弦信号；获取单元，用于获取所述光学部件在所述模拟正弦信号作用下的频率与阻抗的关系；处理单元，用于基于所述频率与阻抗的关系，确定所述光学部件的谐振频率及所述光学部件等效电路的电学参数；计算单元，用于基于所述电学参数，确定所述光学部件的品质因子。10.一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1-5任一所述的方法步骤。

技术总结
本发明公开了一种光学部件的测量方法，包括：向所述光学部件输入模拟正弦信号；获取所述光学部件在所述模拟正弦信号作用下的频率与阻抗的关系；基于所述频率与阻抗的关系，确定所述光学部件的谐振频率及所述光学部件等效电路的电学参数；基于所述电学参数，确定所述光学部件的品质因子。述光学部件的品质因子。述光学部件的品质因子。


技术研发人员：武燕婷 熊伟 李超波
受保护的技术使用者：中国科学院微电子研究所
技术研发日：2021.02.23
技术公布日：2022/8/29