一种主被动并联的防微振装置的制作方法

1.本实用新型涉及隔振装置技术领域，具体是一种主被动并联的防微振装置。


背景技术：

2.目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。
3.由外部环境振动及设备内部反作用力引起的微振动是制约超精密仪器测量精度与超精密加工装备制造精度的关键因素之一，高性能精密隔微振技术成为精密工程、超精密制造等领域的一项核心关键技术，对该技术的研究具有重要的实际意义与应用价值。振动控制部分是隔振平台的核心，针对中高频振动，多采用被动隔振，被动隔振结构简单、工作可靠、不依赖电源，可以有效地隔绝中高频振动干扰。针对低频甚至或超低频振动，多采用主动隔振，气动主动隔振自适应性好，通过作动器输出反向力抵消低频振动，具有优越的低频或超低频隔振性能。但精密仪器所处的环境是复杂的，不仅仅是单一的低频振动或高频振动，往往是低频振动和高频振动同时存在，而传统的气动隔振装置很难满足这种复杂环境振动的隔振要求，适用范围较窄。


技术实现要素：

4.实用新型的目的在于提供一种主被动并联的防微振装置，以解决上述背景技术中存在的问题。
5.本实用新型的技术方案是这样实现的：
6.一种主被动并联的防微振装置，包括顶板和支腿，所述支腿为四根，所述支腿顶部连接有被动隔振装置，所述被动隔振装置顶部分别与顶板底部的四个角处连接，所述支腿上端之间连接有上横梁，所述上横梁顶部中间位置安装有空气弹簧，所述空气弹簧顶部与顶板底部连接，所述支腿下端连接有下横梁，所述下横梁为两根分别连接在左侧、右侧两个支腿之间，所述下横梁与后侧的两个支腿之间连接有支撑板，所述上横梁上分别安装有速度传感器和位移传感器，所述支撑板上安装有控制器。
7.进一步地，所述被动隔振装置由四根圆柱形橡胶棒竖立组成矩形形状。
8.进一步地，所述顶板由不锈钢板制成矩形结构。
9.进一步地，所述支腿由方形钢管制成，所述支腿内部还浇筑有混凝土。
10.进一步地，所述上横梁、下横梁均由方形钢管制成。
11.进一步地，所述支撑板由不锈钢板制成矩形结构。
12.本实用新型的有益效果为：
13.本实用新型通过四根橡胶棒组成的被动隔振装置实现承重和高频隔振，并通过空气弹簧实现低频隔振，系统固有频率能现实小于0.5hz，对0.5hz~150hz的振动干扰具有较好的隔振效果，适用范围较广。
附图说明
14.图1为本实用新型的结构示意图。
15.图中1-顶板，2-支腿，3-被动隔振装置，4-空气弹簧，5-上横梁，6-下横梁，7-支撑板，8-速度传感器，9-位移传感器，10-控制器。
具体实施方式
16.下面将结合实施例对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述地实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
17.如图1所示，一种主被动并联的防微振装置，包括顶板1和支腿2，所述支腿2为四根，所述支腿2顶部连接有被动隔振装置3，所述被动隔振装置3顶部分别与顶板1底部的四个角处连接，所述支腿2上端之间连接有上横梁5，所述上横梁5顶部中间位置安装有空气弹簧4，所述空气弹簧4顶部与顶板1底部连接，所述支腿2下端连接有下横梁6，所述下横梁6为两根分别连接在左侧、右侧两个支腿2之间，所述下横梁6与后侧的两个支腿2之间连接有支撑板7，所述上横梁5上分别安装有速度传感器8和位移传感器9，所述支撑板7上安装有控制器10。
18.所述被动隔振装置3由四根圆柱形橡胶棒竖立组成矩形形状。
19.所述顶板1由不锈钢板制成矩形结构。
20.所述支腿2由方形钢管制成，所述支腿2内部还浇筑有混凝土。
21.所述上横梁5、下横梁6均由方形钢管制成。
22.所述支撑板7由不锈钢板制成矩形结构。
23.工作时，精密仪器安装在顶板1上，通过顶板1、支腿2和被动隔振装置3实现承重和高频隔振，并通过速度传感器8和位移传感器9采集振动信号，并将采集的信号输送给控制器10，由控制器10控制空气弹簧4驱动，实现低频隔振。
24.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种主被动并联的防微振装置，包括顶板和支腿，其特征在于，所述支腿为四根，所述支腿顶部连接有被动隔振装置，所述被动隔振装置顶部分别与顶板底部的四个角处连接，所述支腿上端之间连接有上横梁，所述上横梁顶部中间位置安装有空气弹簧，所述空气弹簧顶部与顶板底部连接，所述支腿下端连接有下横梁，所述下横梁为两根分别连接在左侧、右侧两个支腿之间，所述下横梁与后侧的两个支腿之间连接有支撑板，所述上横梁上分别安装有速度传感器和位移传感器，所述支撑板上安装有控制器，所述被动隔振装置由四根圆柱形橡胶棒竖立组成矩形形状。2.根据权利要求1所述的一种主被动并联的防微振装置，其特征在于，所述顶板由不锈钢板制成矩形结构。3.根据权利要求1所述的一种主被动并联的防微振装置，其特征在于，所述支腿由方形钢管制成，所述支腿内部还浇筑有混凝土。4.根据权利要求1所述的一种主被动并联的防微振装置，其特征在于，所述上横梁、下横梁均由方形钢管制成。5.根据权利要求1所述的一种主被动并联的防微振装置，其特征在于，所述支撑板由不锈钢板制成矩形结构。

技术总结
本实用新型提供了一种主被动并联的防微振装置，包括顶板和支腿，所述支腿为四根，所述支腿顶部连接有被动隔振装置，所述被动隔振装置顶部分别与顶板底部的四个角处连接，所述支腿上端之间连接有上横梁，所述上横梁顶部中间位置安装有空气弹簧，所述空气弹簧顶部与顶板底部连接，所述支腿下端连接有下横梁，所述下横梁为两根分别连接在左侧、右侧两个支腿之间，所述下横梁与后侧的两个支腿之间连接有支撑板，所述上横梁上分别安装有速度传感器和位移传感器，所述支撑板上安装有控制器。本实用新型系统固有频率能现实小于0.5Hz，对0.5Hz~150Hz的振动干扰具有较好的隔振效果，适用范围较广。围较广。围较广。


技术研发人员：赵小江 于超 尹波
受保护的技术使用者：大连地拓电子工程技术有限公司
技术研发日：2022.05.07
技术公布日：2022/8/15