激光振镜老化测试装置及系统的制作方法

1.本技术涉及激光振镜老化测试设备领域，具体而言，涉及一种激光振镜老化测试装置及系统。


背景技术：

2.老化是激光器产品筛选的一道工序，筛选出那些寿命可能较短的产品，保证剩下的产品都具有满意的可接受的可靠性。激光振镜也叫做激光扫描器，是由x-y光学扫描头，电子驱动放大器和光学反射镜片组成。激光振镜的工作原理是将激光束入射到两反射镜片(扫描镜)上，用计算机控制反射镜片的反射角度，这两个反射镜片可分别沿x、y轴扫描，从而达到激光束的偏转的目的。激光振镜的生产过程中，同样需要进行长时间的老化测试，在老化测试过程中，需要对激光能量进行回收。
3.现有技术中，通过吸光装置完成上述目的，即将激光输出头固定于吸光装置上，激光发射至吸光装置，通过吸光装置进行回收激光能量。然而现有的吸光装置大多具有一定弊端，例如，首先，高功率、激光光斑小的能量密度太大、长时间老化时可能损坏吸光装置，因此，对于不同的场镜焦距以及不同尺寸的场镜，需要保证激光在吸光装置之上的光斑具有一定尺寸，不能太小，然而现有的吸光装置大多针对某一种焦距的场镜设置，假若激光光斑过小，则只能更换不同的吸光装置来实现调整激光光斑的目的。


技术实现要素：

4.本技术旨在提供一种激光振镜老化测试装置及系统。激光振镜老化测试装置能够灵活调整激光发射部件发射至吸收部件之上的光斑大小，能够适应多种场镜焦距的激光测试使用。
5.本技术的实施例是这样实现的：
6.一方面，本技术提出了一种激光振镜老化测试装置，包括：发射部件，用于发射激光；吸收部件，用于吸收激光能量；吸收室，所述吸收部件设置于所述吸收室内，所述吸收室用于阻挡激光溢出；调节外罩，所述调节外罩可滑动地套设于所述吸收室的外周面，所述调节外罩能够相对所述吸收室沿第一方向滑动，所述调节外罩设置有入射口，所述发射部件发射的激光经所述入射口射向所述吸收部件，所述发射部件和所述吸收部件沿所述第一方向相对设置。
7.在上述方案中，激光经所述入射口发射至所述吸收部件上，通过所述吸收部件实现吸收激光能量的目的。而通过移动所述调节外罩，调整所述调节外罩相对所述吸收室的位置，使得所述发射部件相对所述吸收部件的位置亦发生改变，进而激光落于所述吸收部件之上的光斑大小也能因此调节。相比于现有技术中，本技术的激光振镜老化测试装置可适应不同焦距不同尺寸的发射部件，降低了生产成本。
8.根据本技术的一些实施例，所述激光振镜老化测试装置还包括锁定件，所述锁定件用于将所述调节外罩锁定于所述吸收室的外周面。
9.在上述方案中，所述调节外罩的调节只能在老化测试之前完成，在老化测试过程中，所述调节外罩需要保持锁定，通过所述锁定件实现锁定所述调节外罩的目的。
10.根据本技术的一些实施例，所述锁定件包括限位销轴，所述吸收室上沿第一方向间隔设置有多个第一限位孔，所述调节外罩上对应设置有第二限位孔，所述限位销轴经由所述第二限位孔插设于所述多个第一限位孔中的一个所述第一限位孔。
11.在上述方案中，通过将限位销轴插入所述第一限位孔以及对应的第二限位孔之中，使得所述调节外罩无法相对所述吸收室位移。
12.根据本技术的一些实施例，所述调节外罩的内表面和所述吸收室的外周面中一者设置有导轨，另一者设置有滑槽，所述导轨与所述滑槽滑动配合。
13.在上述方案中，所述导轨与所述滑槽配合，降低了移动所述调节外罩时的阻力，使得调整所述调节外罩更为方便。
14.根据本技术的一些实施例，所述调节外罩和所述吸收室沿所述第一方向的横截面轮廓为多边形。
15.在上述方案中，如此设置，当所述调节外罩套设于所述吸收室上时，所述调节外罩无法相对所述吸收室在垂直于所述第一方向的平面旋转，提高了所述调节外罩的稳定性，并且方便安装定位。
16.根据本技术的一些实施例，所述吸收部件包括：反射锥，所述反射锥呈圆锥状结构，所述反射锥的尖端朝向所述发射部件，所述反射锥的锥面采用反光材料制成，所述发射部件发射的激光射于所述反射锥的锥面；散热板，围绕所述反射锥的大端周向设置，所述反射锥反射的激光射于所述散热板；所述反射锥和所述散热板内均设置有冷却水通道，用于通入冷却水。
17.在上述方案中，激光发射至所述发射锥之上，经过所述反射锥的锥面反射，激光反射至所述散热板之上，由于所述反射锥和所述散热板之中均设置有冷却水，使得激光的能量转化为冷却水的热能，实现回收激光能量的目的。
18.根据本技术的一些实施例，所述吸收室的外周面设置限位台，以阻止所述调节外罩沿所述第一方向朝向所述吸收室移动。
19.在上述方案中，倘若所述锁定件的锁定效果失效，所述调节外罩可能会朝所述反射锥移动，造成激光光斑过小，产生安全隐患，而所述限位台起到安全防护作用，避免所述发射部件与所述反射锥的距离过近。
20.根据本技术的一些实施例，所述入射口处设置有用于密封所述发射部件与所述入射口之间的间隙的光阑。
21.在上述方案中，所述光阑一方面可以避免激光溢出，另一方面增加了本装置的适应性，使得所述入射口能够适应不同尺寸的发射部件。
22.根据本技术的一些实施例，所述激光振镜老化测试装置还包括温度开关，所述温度开关设置于吸收室，所述温度开关电性连接于所述发射部件，用于根据所述吸收室的温度控制所述发射部件的开或关。
23.在上述方案中，所述吸收部件工作时，通过冷却水对所述反射锥和所述散热板进行降温，避免温度过高，冷却水通常通过冷水机输入所述反射锥和所述散热板的冷却水通道之中，假若冷水机发生故障，将会产生极大的安全隐患，通过所述温度开关能够在冷水机
故障时及时关闭所述发射部件，提高了本装置的安全性。
24.另一方面，本技术还提出了一种激光振镜老化测试系统，包括前述的激光振镜老化测试装置。
附图说明
25.为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
26.图1为根据本技术一些实施例提供的激光振镜老化测试装置立体结构图；
27.图2为根据本技术一些实施例提供的激光振镜老化测试装置侧面结构图；
28.图3为根据本技术一些实施例提供的激光振镜老化测试装置内部结构图；
29.图4为根据本技术一些实施例提供的发射部件和调节外罩配合示意图；
30.图5为根据本技术一些实施例提供的第一限位孔和第二限位孔配合示意图。
31.图标：10-吸收室；20-调节外罩；30-反射锥；40-发射部件；101-冷却水通道；102-温度开关；103-第一限位孔；104-底座；105-限位台；201-光阑；202-第二限位孔；203-限位销轴；401-激光输出头；402-振镜；403-场镜。
具体实施方式
32.为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
33.因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
34.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
35.在本技术的描述中，需要说明的是，若出现术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，本技术的描述中若出现术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
36.此外，本技术的描述中若出现术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
37.在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，若出现术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
38.针对现有技术中存在的问题，如图1、图2、图3和图4所示，本技术提出的一种激光振镜老化测试装置，包括：发射部件40，用于发射激光；吸收部件，用于吸收激光能量；吸收室10，吸收部件设置于吸收室10内，吸收室10用于阻挡激光溢出；调节外罩20，调节外罩20可滑动地套设于吸收室10的外周面，调节外罩20能够相对吸收室10沿第一方向滑动，调节外罩20设置有入射口，发射部件40发射的激光经入射口射向吸收部件，发射部件40和吸收部件沿第一方向相对设置。
39.在本技术中，第一方向为附图中沿z轴的方向。
40.在对激光振镜402进行老化测试时，首先通过发射部件40发射激光，激光经入射口沿第一方向发射至吸收部件上，之后通过吸收部件实现吸收激光能量的目的。并且，沿第一方向移动发射部件40，便能够调整激光射在吸收部件之上的光斑大小。
41.在本装置中，可以通过移动调节外罩20实现调整发射部件40的位置的目的。具体而言，调节外罩20相对吸收室10沿第一方向移动时，发射部件40相对吸收部件的位置亦发生改变，进而激光落于吸收部件之上的光斑大小也能因此调节。
42.公知，激光具有对人体和工作环境都能构成危害的高能量，因此，在激光测试过程中，必须做好激光防护工作，本装置中，吸收室10和调节外罩20形成的腔室结构能够避免在老化测试过程中激光溢出，而在移动调节外罩20的过程中，发射部件40相对于调节外罩20的位置不变，调节外罩20也始终保持套设于吸收室10的外周面上，使得吸收室10和调节外罩20的防护效果不会被影响，保证了本装置的安全性。
43.更进一步的，相比于现有技术中，本技术的激光振镜402老化测试装置可适应不同焦距不同尺寸的发射部件40，一机多用，降低了生产成本。
44.如图1所示，再有，在本技术中，吸收室10上可以设置多个底座104，底座104用于使吸收室10悬空设置，使得吸收室10的底部悬空，增加散热效果。
45.在本技术中，发射部件40可以设置于具有调节功能的支撑座，方便调整发射部件40相对于调节外罩的位置，使得调节外罩20移动时，发射部件40同步地移动。
46.根据本技术的一些实施例，可选地，激光振镜402老化测试装置还包括锁定件，锁定件用于将调节外罩20锁定于吸收室10的外周面。
47.调节外罩20的调节需在老化测试之前完成，在老化测试过程中，调节外罩20需要保持锁定，通过锁定件实现锁定调节外罩20的目的。
48.如图5所示，根据本技术的一些实施例，锁定件包括限位销轴203，吸收室10上沿第一方向间隔设置有多个第一限位孔103，调节外罩20上对应设置有第二限位孔202，限位销轴203经由所述第二限位孔202插设于所述多个第一限位孔103中的一个所述第一限位孔103。
49.通过将限位销轴203插入第二限位孔202以及对应的第一限位孔103之中，实现固定调节外罩20的目的。更进一步地，限位销轴203可以为台阶销。台阶销的外周面上设置有限位的肩部，将台阶销的肩部设置于调节外罩20外，使得台阶销自外向内插入第一限位孔
103，能够避免台阶销过度插入。并且，为避免限位销轴203脱出，第一限位孔103或第二限位孔202的内壁可以设置柔性垫层，使得限位销轴203与设置有垫层的限位孔过盈配合。
50.进一步地，锁定件还可以为其他杆状固定件，例如螺栓等，螺栓的杆部可以直接插入第二限位孔202和对应的限位孔中，由于螺栓的杆部上的螺纹的作用，使得螺栓不易从限位孔之中脱出，也可以在第一限位孔103或第二限位孔202的内壁设置螺纹，使得螺栓能够通过螺纹固定于调节外罩20上。
51.根据本技术的一些实施例，可选地，调节外罩20的内表面和吸收室10的外周面中一者设置有导轨，另一者设置有滑槽，导轨与滑槽滑动配合。
52.导轨与滑槽配合，降低了移动调节外罩20时的阻力，使得调整调节外罩20更为方便。为避免因设置导轨和滑槽导致调节外罩20和吸收室10之间间隙过大，调节外罩20或吸收室10的内壁可以沿第一方向设置条形凹槽，导轨和滑槽配合时，可以处于条形凹槽之中。
53.根据本技术的一些实施例，可选地，调节外罩20和吸收室10沿第一方向的横截面轮廓为多边形。
54.这样设置的好处在于，当调节外罩20套设于吸收室10上时，由于结构的限制，调节外罩20无法相对吸收室10在垂直于第一方向的平面旋转，提高了调节外罩20的稳定性，并且在将调节外罩20安装于吸收室10之上时，方便安装定位。
55.如图3所示，根据本技术的一些实施例，可选地，吸收部件包括：反射锥30，反射锥30呈圆锥状结构，反射锥30的尖端朝向发射部件40，反射锥30的锥面采用反光材料制成，发射部件40发射的激光射于反射锥30的锥面；散热板，围绕反射锥30的大端周向设置，反射锥30反射的激光射于散热板；反射锥30和散热板内均设置有冷却水通道101，用于通入冷却水。
56.由于反射锥30为圆锥状结构，通过合理设置反射锥30的锥度，朝反射锥30的尖端射向反射锥30时，激光被分散反射至围绕反射锥30的大端设置的散热板之上，因而，通过反射锥30能够降低照射至单个散热板之上的激光能量，方便分散吸收。再有，由于反射锥30和散热板之中均设置有冷却水通道101，将冷却水通入冷却水通道101之中，使得激光的能量转化为冷却水的热能，实现回收激光能量的目的。
57.可选地，反射锥30采用金属铜制成，反射锥30的锥面设有镀金层。
58.可选地，反射锥30和用于设置反射锥30的表壁一体成型。避免反射锥30发生移动，并且，增加了反射锥30的表面积，使得反射锥30可以更多冷却水通道101，提高冷却效果。
59.如图4所示，根据本技术的一些实施例，可选地，吸收室10的外周面设置限位台105，以阻止调节外罩20沿第一方向朝向吸收室10移动。
60.倘若锁定件的锁定效果失效，调节外罩20可能会朝反射锥30移动，造成激光光斑过小，再有，反射锥30还可能与设置于调节外罩20之上的零部件发生碰撞，产生安全隐患。因此，通过在吸收室10的外周面设置限位台105，限制调节外罩20向吸收室10的距离，避免发射部件40与反射锥30的距离过近。具体而言，设置限位台105时，应当使限位台105与发射部件40的距离大于离发射部件40最远的第一限位孔103与发射部件40的距离。本技术中，限位台105可以可拆卸地设置于吸收室10之上，方便后续调整，例如可以通过螺栓连接等。
61.如图1所示，根据本技术的一些实施例，可选地，入射口处设置有用于密封发射部件40与所述入射口之间的间隙的光阑201。
62.在吸收室10中，激光可能形成反射方向不定的漫反射，进而导致激光可能自入射口溢出，对人体与环境中的物体形成安全隐患，光阑201可以对漫反射的激光进行阻挡，避免激光溢出，同时，通过光阑201使得入射口能够适应不同尺寸的发射部件40，具体而言，通过光阑201能够密封场镜403与入射口之间的间隙，增加了本装置的适应性，提高了本装置的安全性。
63.本技术中，发射部件40可以包括：激光输出头401，设置于调节外罩20，用于发出激光束；振镜402，用于将激光输出头401发出的激光束反射至场镜403；场镜403，用于使激光束在指定位置聚焦。即通过光阑201使得本装置能够不同尺寸的场镜403。
64.根据本技术的一些实施例，可选地，激光振镜402老化测试装置还包括温度开关102，温度开关102设置于吸收室10，温度开关102电性连接于发射部件40，用于根据吸收室10的温度控制发射部件40的开或关。
65.如前述，在吸收部件工作时，通过冷却水对反射锥30和散热板进行降温，吸收激光的能量，避免温度过高，而冷却水通常通过冷水机输入反射锥30和散热板的冷却水通道101之中，假若冷水机发生故障或未启动，将会产生极大的安全隐患，通过温度开关102能够在冷水机故障时及时关闭发射部件40，具体而言，温度开关102可以为常闭型的温度开关102，当温度大于设定的阈值时，温度开关102的触点断开，通过将温度开关102接入到激光输出头401的安全互锁电路中，当安全互锁处于断开时，激光输出头401停止工作，上述将温度开关102与激光输出头401电性连接的电路图为现有技术中公开的内容，此处便不在赘述。
66.另一方面，本技术还提出了一种激光振镜老化测试系统，包括前述的激光振镜老化测试装置。
67.以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，对于本领域的技术人员来说，本技术可以有各种更改和变化。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。